影响扩散泵性能因素

扩散泵用油管理规定

扩散泵油管理规定
为了妥善保管和使用扩散泵油，特制定本规定。

1扩散泵油应有专用的存放区域，存放区环境要符合泵油的存储环境规定。

严禁在阳光下曝晒和露天存放，要存放在阴暗、干燥和通风场合严防水分和灰尘的混入。

2不同种类的扩散泵油应分区存放，存放区贴好对应的标签。

不得将不同种类的油品混合存放。

3油品使用前要检查油品的型号、批号、数量，做好记录。

4油品使用过程中出现异常现象要及时检查原因并做好相关记录。

5不同牌号、品种的泵油不能混用，新旧油品不能混用。

6换油时应将泵体内使用过的油品排尽，清扫泵腔排尽残油，重复清洗数次，等洗净后换入新油。

7加油用具必须有是专用设备，应干燥、清洁，不应是盛过其它油品或溶剂的容器。

8取油或装油时要防止杂物混入油中，以免影响泵的性能。

9避免油品在高温下暴露大气，以免泵油氧化，影响性能。

10如吸入化学气体及溶剂，对泵油污染影响真空后，则必须作清洗换油处理。

11扩散泵油不能用于其他用途，只能用在扩散泵上。

12换油期限：
a．当泵油真空度下跌，满足不了需要时；
b．当泵油颜色变深，呈褐色时，均应当换油。

磁控溅射镀膜技术综合介绍

一.磁控溅射电镀上世纪80年代开始，磁控溅射技术得到迅猛的发展，其应用领域得到了极大的推广。

现在磁控溅射技术已经在镀膜领域占有举足轻重的地位，在工业生产和科学领域发挥着极大的作用。

正是近来市场上各方面对高质量薄膜日益增长的需要使磁控溅射不断的发展。

在许多方面，磁控溅射薄膜的表现都比物理蒸发沉积制成的要好；而且在同样的功能下采用磁控溅射技术制得的能够比采用其他技术制得的要厚。

因此，磁控溅射技术在许多应用领域包括制造硬的、抗磨损的、低摩擦的、抗腐蚀的、装潢的以及光电学薄膜等方面具有重要是影响。

磁控溅射技术得以广泛的应用,是由该技术有别于其它镀膜方法的特点所决定的。

其特点可归纳为:可制备成靶材的各种材料均可作为薄膜材料,包括各种金属、半导体、铁磁材料,以及绝缘的氧化物、陶瓷等物质,尤其适合高熔点和低蒸汽压的材料沉积镀膜在适当条件下多元靶材共溅射方式,可沉积所需组分的混合物、化合物薄膜;在溅射的放电气中加入氧、氮或其它活性气体,可沉积形成靶材物质与气体分子的化合物薄膜;控制真空室中的气压、溅射功率,基本上可获得稳定的沉积速率,通过精确地控制溅射镀膜时间,容易获得均匀的高精度的膜厚,且重复性好;溅射粒子几乎不受重力影响,靶材与基片位置可自由安排;基片与膜的附着强度是一般蒸镀膜的10倍以上,且由于溅射粒子带有高能量,在成膜面会继续表面扩散而得到硬且致密的薄膜,同时高能量使基片只要较低的温度即可得到结晶膜;薄膜形成初期成核密度高,故可生产厚度10nm以下的极薄连续膜。

1.磁控溅射工作原理：磁控溅射属于辉光放电范畴，利用阴极溅射原理进行镀膜。

膜层粒子来源于辉光放电中，氩离子对阴极靶材产生的阴极溅射作用。

氩离子将靶材原子溅射下来后，沉积到元件表面形成所需膜层。

磁控原理就是采用正交电磁场的特殊分布控制电场中的电子运动轨迹，使得电子在正交电磁场中变成了摆线运动，因而大大增加了与气体分子碰撞的几率。

用高能粒子(大多数是由电场加速的气体正离子)撞击固体表面(靶)，使固体原子(分子)从表面射出的现象称为溅射。

真空泵工作温度

真空泵工作温度
真空泵是一种用于抽取气体或蒸汽的设备，广泛应用于化工、制药、电子、航空航天等领域。

在真空泵的工作过程中，温度是一个非常重要的因素。

不同类型的真空泵在工作时需要不同的温度范围，否则会影响其工作效率和寿命。

我们来看一下根据工作原理分类的真空泵。

对于机械泵和根泵，它们的工作原理都是通过机械运动将气体压缩并排出。

因此，这两种泵的工作温度范围较低，一般在5℃-40℃之间。

如果温度过高，机械泵和根泵内部的润滑油会变稀，从而影响泵的密封性和抽气效率。

此外，高温还会导致泵的零部件变形或热膨胀，从而影响泵的工作效率和寿命。

对于扩散泵和分子泵，它们的工作原理是通过分子扩散或碰撞将气体排出。

因此，这两种泵的工作温度范围较高，一般在100℃-300℃之间。

如果温度过低，气体分子的运动速度会变慢，从而影响泵的抽气效率。

此外，低温还会导致泵内部的水蒸气凝结，从而影响泵的密封性和抽气效率。

除了根据工作原理分类，真空泵还可以根据用途分类。

例如，电子束焊真空泵需要在高温下工作，以保证焊接质量；真空干燥箱需要在低温下工作，以避免样品受热变质。

因此，不同用途的真空泵需要在不同的温度范围内工作，以满足不同的需求。

真空泵的工作温度是一个非常重要的因素，需要根据泵的工作原理和用途来确定。

在使用真空泵时，我们需要注意控制泵的工作温度，以保证其工作效率和寿命。

k600t油扩散泵说明书

1. 主要用途1. 1 K-600T油扩散泵是用来获得10ˉ2～10ˉ5帕高真空的主要真空获得设备,它和阀门、水冷挡板、管道、机械泵等真空元件一起组成高真空抽气系统，如采用液氮等冷却装置，并加烘烤等措施，可获得超高真空。

1. 2 高真空油扩散泵抽气系统被广泛地应用在电子工业、机械工业、冶金工业、原子能工业和空间模拟等领域。

2. 工作原理简介原理是用室温下饱和蒸汽压很低的扩散泵油或硅油经油锅加热蒸发成蒸汽，经导流管、喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，靠扩散和携带完成抽气过程的一种高真空获得设备。

图1、工作原理示意图2. 2 如图1所示在油扩散泵前级配置一个抽气量相当的机械泵,使扩散泵内达到1帕的真空状态通电加热,使泵工作液体蒸发并沿导流管定向流动经喷嘴高速喷出,被抽气体靠扩散和携带作用被蒸汽射流带到泵壁,油蒸汽冷凝后返回油锅, 气体被逐级压缩，最后被喷射级蒸汽射流携带到前级，被前级泵抽走。

3. 性能特点3. 1 抽气速率高,可以制造每秒钟数百升到数万升的各种型号泵。

3. 2 对惰性气体(氦、氖、氩)和氢气也有较大的抽气能力。

3. 3 结构简单,无机械传动部分,寿命长,容易操作和维护保养。

3. 4 极限压力低,用KS-2或KS-3扩散泵油作为工作液可低于7×10ˉ5帕,采用硅油作为工作液可得到更低的极限压力。

4. 油扩散泵的维护与保养4. 1 油扩散泵安装时应垂直放置,使泵内泵芯部件处于正常工作状态。

各橡胶密封处应密封可靠。

4. 2 油扩散泵加热前必须保证冷却水畅通,泵内处于1帕真空状态下方可加热。

4. 3 油扩散泵停止工作时,泵内应避免放入大气,以延长泵油寿命并减少泵油的吸气量,特别应防止泵刚停止工作尚未冷却就放入大气,以免泵油氧化。

4. 4 油扩散泵长期存放,量好抽成低真空,以防泵油污染和各零件腐蚀,并应吹净冷却水管和水套内的剩水。

4. 5 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的室温状态下的气体。

镀膜初级助理工程师题库

镀膜初级助理工程师题库一、填空题:1.关机时,关掉扩散泵加热，需要冷却60分种以上时间才可以关掉总电源2.我们正常镀膜过程中镜片需要镀膜的一面应该向下放置。

3、写出+XP的意思向正方向调X方向位置4.新科隆机SID1100中生产IR CUT滤色片,每层开镀时, TiO2 材料的起始光控曲线方向向上, SiO2 材料的光控曲线方向向下。

5. 新科隆机SID1100中的离子源,有3 片栅极,从上到下依次为TOP , MID , BOT ;栅极间总共有12 片陶瓷片绝缘.6.现在我们使用的镀膜机光学控制方式有反射式和透射式两种,昭和机属于透射式新科隆机属于反射式，光驰机属于反射式。

7.相同蒸发条件下，饼料的SIO2，和颗粒状的SIO2，饼料的SiO2 所需的蒸发功率要高。

8.比较下列膜料正常蒸发功率，由大到小排列：MgF2 H4 SiO2 H4 > SiO2 > MgF29.选择下列光学原理：a、光的反射原理b、光的折射原理c、光的干涉原理d、光的投射原理（1）看到水中筷子是弯曲的,利用光的 b （2）看到镜子里自已像，利用光的a （3）光学薄膜利用光的c1０.真空可以大致分为四段，分别为初真空、低真空、高真空、超高真空1１.在真空的定义范围内，高真空度范围是10-1-10-6 Pa1２.电子枪分为180°枪和270°枪，而目前韩一机器的电子枪180 度，光驰机器的电子枪180 度，昭和机器的电子枪270 度，新柯隆机器的电子枪180 度，1３.镜片放到镀膜机后，关门加热抽真空，等到真空度和温度到达，两者都满足设定要求后，机器才能开始镀膜。

1４．目前我们镀膜机有两种厚度控制方法：晶振控制和光控控制、1５．昭和机器在没有放光控监控片下镀膜时，光控曲线直线形状16、报警程序中PFC报警，其中PFC含义：POLYCOLD17、当扩散泵指示灯闪烁时说明扩散泵还在加热中，还不能打开高阀。

扩散泵的结构示意图和工作原理

扩散泵的结构示意图和工作原理当扩散泵油被电炉加热时, 产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出因喷嘴外面有机械泵提供的真空(1~101Pa),故油蒸气流可喷出一长段距离, 构成一个向出气口方向运动的射流。

射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器，即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。

由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。

由于射流具有高流速(约200m/s),高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大(300〜500),故能有效地带走气体分子。

气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。

冷却术卡口排y3图4AA-3扩散泵的结构图I—朮冷套畀一嚥油嘴丘一导流管洱一泵壳小_曲热器油扩散泵故障处理(1)扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

(2)泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。

(3)被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

(4)泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套内的剩水吹净。

保存场地的室温应在10C〜40C之间。

(5)泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。

(6)泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。

a.泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。

b.零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80C〜100C温度下烘干或用电吹风吹干。

c.处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。

关于扩散泵返油问题通过咨询和了解，结合我公司油扩散泵实际问题，关于扩散泵返油问题，得出如下几点：咨询了爱得华售后服务中心，他们认为扩散泵返油与如下问题有关：a、冷却水；b、机器保养；c、油质等。

扩散泵返油对抽气能力会有影响，与以前抽气能力作对比是否发生变化，前管压力是否与以前一致？如果确认这些都没有问题，则可判断没有返油。

真空知识

§第1部分真空的初步知识1.1基本概念1．真空是指在给定空间内低于一个大气压力的气体状态，也就是该空间的气体分子密度低于该地区大气压的气体分子密度。

2．测量单位：帕斯卡（Pa）1Pa就是1m2面积上作用1N的压力。

1大气压=1.03×105Pa3．真空度：表示真空状态下气体的稀薄程度。

通常用压力表示单位（Pa）4．压升率：单位时间内，真空度降低的速率。

单位：Pa/h5．常用泵阀的符号表示①旋片泵：单级多级②罗茨泵：③扩散泵：④挡板阀⑤阀门（不指明类型）6．真空泵的抽气速率（简称抽速）（单位：L/S）当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。

7．极限真空度：（单位：Pa）在规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向平稳的最低压强。

8．真空泵的型号及规格表示法旋片泵表示名称：X，双级旋片泵表示名称：2X，罗茨泵表示名称：ZJ，P表示它的排气口位置是旁开。

（厂家的一种表示，不带有普遍性。

）以下两种泵后面有的数字是它的抽速。

2X-70，ZJ-600扩散泵的表示名称：K，T表示凸腔泵，其后面的数字表示为它的进气口的几何尺寸。

KT-600，KT-4001.2 设备的介绍1.2.1 30kg、100kg、120kg三种设备的介绍以100kg为例重点介绍：整套设备由控制系统（电控系统）、炉壳、加热系统、真空系统、水冷系统、充放气系统、气动系统、风冷换热系统、进出料系统等九个系统组成，以下分别介绍：1．控制系统：由电控柜、各种测量仪表、热电偶、加热电源组成。

2．炉壳是由炉体、炉门、炉腿、锁紧装置等几部分组成。

炉体：是由筒体及各个法兰接管组成，炉体是双层水冷夹套结构，中间是冷却循环水。

炉体上带有电极接口、真空系统接口、热偶座接口、风冷换热接口、热偶接口、充放气接口、水冷接口等组成。

炉门上带有观察窗，可以观察工作情况。

3．加热系统（加热室）：是由加热器（炉丝）、绝缘件、炉床、保温屏、紧固件及保温毡和加热室外框组成。

磁控溅射与真空技术

磁控溅射与真空技术溅射时打火放电1、可能靶材表面脏。

在低功率下长时间空溅，把靶材表面杂志打掉。

然后慢慢加大功率。

2、靶与地之间有导电颗粒，导致高压下放电打火。

3、电源柜有问题，建议调换电源柜再观察。

扩散泵的常见故障及原因由于真空设备长期运转及其它一些因素的影响，扩散泵的性能可能会逐渐变坏，现将使用中经常出现的一些问题如述如下;1)极限真空变低，原因：a.系统中有渗漏；b.系统太脏；c.泵油污染；d.加热功率不够；e.冷却水不足；f.过量或过冷的冷却水；g.前级压力高；检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象；h.快冷管内有水。

2) 抽气较慢，原因：a.加热功率低；b.油量不足；c.喷帽安装位置不当或受损。

3)进口压力波动，原因：a.加热器输入功率不当；b.油脱气；c.扩散泵进口前面系统有渗漏。

4)工作腔污染大，原因：a.前级压力高；b.在高于10-1Pa压力下长期工作；c.系统操作有误。

5) 返油率过大，原因：a. 顶喷嘴帽松动，间隙过大；b. 加热功率不对；真空系统上测量规管座位置安排应遵循如下原则①不能将测量规管放在密封面较多的地方。

因为每一个密封面都不可能保证绝对不漏气，密封面集中之处，必然是容易漏气的地方，测量值可能不准。

②规管内壁各处，必须保证真空卫生。

否则会造成测量不准。

③规管应尽量接在靠近被测量的地方，以减少测量误差。

扩散泵的结构示意图和工作原理当扩散泵油被电炉加热时，产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。

因喷嘴外面有机械泵提供的真空（Pa），故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。

射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器，即靠油的蒸发喷射凝结重复循环来实现抽气。

由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。

由于射流具有高流速（约200m/s），高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大（300～500），故能有效地带走气体分子。

气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。

扩散泵的原理

油扩散泵（见图7）是一种蒸气射流泵，当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。

其工作极限真空度在10-2～10-5 Pa范围内。

应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2～10-4 Pa范围内。

性能曲线见，见图8影响扩散泵性能的因素：①扩散泵油蒸气的返流。

a. 泵壁表面油膜和油滴的蒸发。

b. 喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射。

c. 一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发。

d. 喷口边缘高速油蒸气流的散射。

e. 室温下油沿泵壁向表面迁移。

②气体分子的反扩散。

③扩散泵油的裂化分解（油氧化没抽速）。

④清洗不干净的真空泵，污染物留在泵内并重复循环。

针对以上原因，在使用油扩散泵过程中，增加了一些装置来防止上述现象的出现，真空系统上所加的冷阱就是为了防止扩散泵油蒸气的返流。

加罗茨泵和双机械泵是为了减少扩散泵出气口的压力（≤40Pa）。

尽量减少气体分子的反扩散。

采用合格的扩散泵油是为了防止扩散泵油的裂化分解。

油扩散泵性能曲线（图8）扩散泵的维护与保养及常见问题的处理：①扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

②扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。

③被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

④扩散泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。

并将冷却水套内的剩水吹净。

保存场地的室温应在10℃～40℃之间。

⑤扩散泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。

⑥扩散泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。

a. 泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。

b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80℃～100℃温度下烘干或用电吹风吹干。

油扩散泵的工作原理与结构

1．概述油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，故有如水蒸汽喷射泵相似的特点。

不同点是扩散泵工作在高真空区域，其工作压强范围为10-2～10-6pa。

广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。

2．油扩散泵的工作原理与结构图3是扩散泵的结构示意图。

当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。

其抽速特性曲线如图4所示。

3．扩散泵的性能计算(1)扩散泵的抽速S 的计算[1](4)式中ω——蒸汽射流的平均速度R(L)、R(O)——分别表示泵筒与喷咀帽的直径a——蒸汽射流与泵壁的夹角D——气体在射流中的扩散系数(2)扩散泵每级最大压缩比(P2／P1)max的计算(5)式中ω、D——意义同(4)L——蒸汽射流长度(3)蒸汽射流流谱的计算扩散泵各级蒸汽射流的工作压强范围为10-2～l0-6Pa，在这样宽的领域里，蒸汽流从连续流向滑流、过渡流、分子流过渡。

用一种理论解决上述各种流态中的问题是很困难的。

通常，在连续流领域里，可用气体动力学理论去处理，在分子流领域里，可用分子流理论去处理。

然而，处理两种流态之间的问题也是很困难的。

为此，在处理蒸汽流问题之前，必须弄清楚所要处理的蒸汽流是属于那种流态。

M．Wutz建议用特征碰撞数Z大于10作为应用气体动力学的判据[2]。

(6)式中C——油蒸汽分子的平均热运动速度(cm／s)l——蒸汽流中混合物分子的平均自由程，因射流中蒸汽分子密度n d》n g(混合物中空气分子密度)，所以l可看成是蒸汽分子的平均自由程(cm)L——蒸汽射流的长度(cm)V——蒸汽射流的平均速度(cm／s)工作蒸汽在喷咀内的流动，可用一维定常等熵流的公式去计算，而工作蒸汽在喷咀外的流动比较复杂，往往是膨胀波、微压缩波和激波共存的复杂流场。

K-600T油扩散泵说明书

1. 主要用途1. 1 K-600T油扩散泵是用来获得10ˉ2～10ˉ5帕高真空的主要真空获得设备,它和阀门、水冷挡板、管道、机械泵等真空元件一起组成高真空抽气系统，如采用液氮等冷却装置，并加烘烤等措施，可获得超高真空。

1. 2 高真空油扩散泵抽气系统被广泛地应用在电子工业、机械工业、冶金工业、原子能工业和空间模拟等领域。

2. 工作原理简介原理是用室温下饱和蒸汽压很低的扩散泵油或硅油经油锅加热蒸发成蒸汽，经导流管、喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，靠扩散和携带完成抽气过程的一种高真空获得设备。

图1、工作原理示意图2. 2 如图1所示在油扩散泵前级配置一个抽气量相当的机械泵,使扩散泵内达到1帕的真空状态通电加热,使泵工作液体蒸发并沿导流管定向流动经喷嘴高速喷出,被抽气体靠扩散和携带作用被蒸汽射流带到泵壁,油蒸汽冷凝后返回油锅, 气体被逐级压缩，最后被喷射级蒸汽射流携带到前级，被前级泵抽走。

3. 性能特点3. 1 抽气速率高,可以制造每秒钟数百升到数万升的各种型号泵。

3. 2 对惰性气体(氦、氖、氩)和氢气也有较大的抽气能力。

3. 3 结构简单,无机械传动部分,寿命长,容易操作和维护保养。

3. 4 极限压力低,用KS-2或KS-3扩散泵油作为工作液可低于7×10ˉ5帕,采用硅油作为工作液可得到更低的极限压力。

4. 油扩散泵的维护与保养4. 1 油扩散泵安装时应垂直放置,使泵内泵芯部件处于正常工作状态。

各橡胶密封处应密封可靠。

4. 2 油扩散泵加热前必须保证冷却水畅通,泵内处于1帕真空状态下方可加热。

4. 3 油扩散泵停止工作时,泵内应避免放入大气,以延长泵油寿命并减少泵油的吸气量,特别应防止泵刚停止工作尚未冷却就放入大气,以免泵油氧化。

4. 4 油扩散泵长期存放,量好抽成低真空,以防泵油污染和各零件腐蚀,并应吹净冷却水管和水套内的剩水。

4. 5 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的室温状态下的气体。

南理工真空镀膜技术习题集答案2015

QV 。这些气源统称为气体负载，它们将导致压强 p
的升高。在任—瞬间，容器中气体量的瞬时净增量为
V
dp pSe QL QD QP QV dt
这个方程称为真空系统的抽气方程。如能解出这个方程，即求出压强 p 为时间 t 的函数，便掌握了抽气过程的基本情况。 16. 多根管道串联而成的静态真空系统，写出其流导、抽速以及压强的方程。说明其意义。几个管道串联所得的流导的倒数为各管道流导倒数之和。
4
K—阴极（零电位）G—栅极（正电位）P—板极（负电位）一个电子源即电子发射极（阴极），一个加速并收集电子的电极（加速极），以及一个收集离子的电极（收集极）. 电离计的测量下限是由于受到收集极光电发射的限制. 12. 与电离真空计比较，BA 规结构有哪些改进？为什么能测量更低的真空压强？采用尽量减小收集极面积的办法以避免软 X 射线的照射。实际上，它只用一根细金属丝充当收集极，同时为了保证有足够的收集效率，将它置于加速栅极之内（见图 4-31），这样栅内所有离子都将被它所收集。灯丝则移置于栅外，对称安装两根(一为备分)。普通电离规收集极为圆筒形，且加速极在其内，收集极几乎全部收受栅极发出的软 X 线，B—A 规收集极改为细丝后，接受 X 线减少了约 100～1000 倍，故测量下限亦降低 100～1000 倍，即达 10-10~10-11 托。（10-8~10-9Pa) 13. 画出电磁阀的结构，说明其工作原理及其用法。 • 真空阀的操纵可以用手动方式，也可采用气动或电磁力控制方式。如图 7-14 所示为一种电磁阀，它的密封机构与盘阀相同，平时由弹簧压紧盖住，需要开启时通电于电磁线圈，铁芯连带盖盘—起被吸上即可。电磁阀便于进行联动控制。 • 例如，将它安置于机械泵与扩散泵之间，电磁线圈则与机械泵马达共用一电源。当通电启动机械泵时，电磁阀也打开；当切断机械泵电源时，阀也自动关闭。有些电磁阀上还设有放气孔自动向机械泵放大气，从而防止了机械泵回油。这种类型的阀称为限真空的因素有哪些？

扩散泵

一、扩散泵原理示意图真空处理系统里的油扩散泵是借着高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，它用于高真空区域工作，其工作压强范围是10-2～10-6pa。

油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低。

·1、油扩散泵的概述：油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，也是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽真空的目的，所以会有水蒸汽喷射泵相似的特点。

不一样的一点是扩散泵工作在高真空区域，是获得高真空的主要设备。

其工作压强范围为10-2～10-6pa。

广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

2、油扩散泵的工作原理与结构：当油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷射出来后，它的速度越来越快，压力及密度慢慢降低，喷射流上边的被抽气体A因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处B，在B处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环利用，而被抽气体在B处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，这样就可以逐级压缩，最后被前级泵抽走。

其抽速特性曲线如图所示。

3、油扩散泵的发展历程：历史1915年，德国物理学家W.盖得发表了他研究的扩散泵报告。

1916年，美国人I.朗缪尔制成泵壁带有冷却系统的冷凝泵。

这些泵以汞蒸气为工作介质，并且可以最终获得10-5帕的真空。

1928年,英国人C.D.伯尔奇发现高沸点的石油衍生物。

1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。

这两种油在室温下的饱和蒸气压都非常低，从而取代了汞作为扩散泵的工作液。

从此油扩散泵在高真空领域的工业生产和科学试验中就逐渐普遍使用，并打下了高真空技术的基础。

1960年代开始，油扩散泵又有了新的改变。

主要的改进是：①泵的材料采用放气量微小的不锈钢。

②采用饱和蒸气压很低、热稳定性好的油如聚苯醚和硅油作泵的工作液。

③改变结构，新款的油扩散泵在泵的进气口法兰不变和不过分增大泵的外形尺寸条件下，在法兰下部突出地扩大泵腔的断面，其抽气速率可增大20～40%。

真空泵常见问题

在金属油扩散泵的锅炉中，由于高温. 金属催化作用以及油爆发式沸腾，是高分子的有裂化成低分子的碳氢化合物及轻的气体等)。这些裂化后的氢和碳氢化合物的蒸汽压很高，限制了扩散泵的极限真空。
此外，机械泵油反流到扩散泵中，也产生分裂物，使扩散泵的真空受到影响。
4.真空泵的清洁度
清洗不干净的真空泵，污染物会留在泵中并重复循环，影响泵极限真空。
4.润滑油太脏或牌号不符
抽速 1.管道通导能力下降不足 2.前级抽速不足
排除方法
1.管路.系统检漏 2.泵漏油 3.修或换前级泵 4.换润滑油
1.换大管道 2.换前级泵
扩散泵内部水冷及外形图
扩散泵及水冷示意图
运转
1.启动
1.1 接通冷却水，确认冷却水的流量是否达到规定要求。
1.2 启动前级泵，当扩散泵泵口压力 <=10Pa后，才能启动扩散泵加热电源。
1.3 泵加热40~80分钟后，就进入正常工作状态。
2.停止
2.1 先关闭高真空阀门，然后切断扩散泵电源，前级泵继续工作。
2.2 当炉体内部温度降到 <=60·的时候（用手可以接触的状态），可以停止前级真空泵。
注意事项
1. 像炉体内放气时，必须在泵油温度<=60·时进行。油温度过高，会造成泵油氧化，导致泵性能下降。
五.用扩散泵获得高真空的方法
1.选用性能好的扩散泵油 2.采用合理的烘烤技术 3增加冷阱装置，防止泵油返流
和迁移 4.减少被抽气体的反扩散
扩散泵结构示意图
滑阀泵及原理其示意图
滑阀泵故障现象及排除方法
故障现象
真空度不高
产生原因
排除方法
1.油被污染 2.密封装置漏气 3.油管接头漏气 4.排气阀片损坏 5.排气阀弹簧断裂 6.个封面漏气 7.泵内零件有幢击.卡紧.变形 8.油路阻塞

油增压泵与油扩散泵

油增压泵(一)油增压泵结构与工作原理油增压泵和扩散泵一样都做成多级的。

利用伞形喷嘴和喷射喷嘴组成泵的导流系统。

从外观上看油增压泵和油扩散泵相似，只是内部导流系统稍有差别。

( )油增压泵的抽气原理也和油扩散泵扣似。

用加热器加热油锅中的油，油受热沸腾，变成油蒸气沿导流管上升从喷口喷出，喷出的油蒸气夹带着泵入口处的气体打到泵体冷却壁上，油燕气被冷凝为油滴流回油锅内，气体则被下一级喷嘴抽走，直至送到被机械泵排到大气中。

(二)油增压泵与油扩散泵的区别(1)油增压泵工作范围在0.133322-13.3322Pa之间，而油扩散泵的工作范围在1.33322一13.3322 Pa之间。

油增压泵在0.13332 Pa以下低真空时工作性能最好，而油扩散泵是在0.133322Pa以上高真空时工作性能最佳。

(2)油增压泵是通过油蒸气与气体分子间的粘滞作用来使气体分子向下运动的，而扩散泵抽出气体则是通过气体分子扩散到蒸气流中，被高速油燕气分子碰撞，使得气体分子具有向下运动的速度。

(3)油增压泵在低真空工作时，要求油蒸气的密度大，气流速度大，一般可达音速的三倍，这样就需要大量的油蒸气供给喷口，故装油最和加热功率均需要很大，而扩散泵在高真空范围内工作时，要求油蒸气的密度小，速度也比增压泵小，因此装油MT和加热功率均小。

例如:4500L/s的油增压泵的加热功率为25kW,装油量为20L。

而5000L/，的油扩散泵的加热功率为7kW,装油量为3-5L.(4)油增压泵所使用的油与扩散泵油也是不同的，增压泵油比扩散泵油在正常沸腾沮度下抗分解，抗氧化能力高，甚至在应用时与大气接触对其性能也没有影响。

而其常温下的饱和蒸气压比扩散泵油高，约为1.33322 x 10-3Pa。

(5)由于油的性能、加热功率、装油量与扩散泵不同，所以油增压泵的性能与扩散泵也就不同。

它的最大出口压强比扩散泵高，扩散泵的最大出口压强约为13.3322-66.6610Pa，油增压泵的最大出口压强为133.322~1333.322Pa。

如何防止电镜真空系统扩散泵油的挥发和变质

如何防止电镜真空系统扩散泵油的挥发和变质邓志刚【摘要】扩散泵工作性能如何是电镜能否获得高真空的关键，扩散泵油的保质是扩散泵工作性能的关键。

%T he performance of diffusion pump is the key to get high vacuum for electron microscopy . And the quality preservation of diffusion pump oil is crucial to the performance of diffusion pump .【期刊名称】《分析仪器》【年(卷),期】2014(000)002【总页数】2页(P110-111)【关键词】扩散泵油;维护【作者】邓志刚【作者单位】武汉理工大学材料研究与测试中心，武汉 430070【正文语种】中文电镜真空因电镜功能不同分为二级真空系统(第一级机械泵，第二级扩散泵或分子泵)和三级真空系统(第一级机械泵，第二级扩散泵或分子泵，第三级离子泵)，扩散泵工作性能如何是电镜能否获得高真空的关键。

影响扩散泵性能的因素除了加热电源电压、机械泵性能等原因外，主要是扩散泵油量的减少和油质的下降，影响油质主要原因是油的过热和氧化即碳化。

真空系统在正常工作中，扩散泵油或多或少会有所挥发和碳化，因而在长期工作之后，会造成油量的减少和油质的下降，但这与非正常挥发和碳化是不同的，后者往往可在很短时间内引起扩散泵性能的明显下降。

如果扩散泵油维护得当，尽管有少量挥发和碳化，可使其使用时间长达10年以上。

(1)有些地区，电网电压波动较大，用电高峰(白天)和用电低谷(晚上)，电网电压相差较大，如果没有稳压电源，晚上电压有时超过240V，往往造成扩散泵过热，较容易使扩散泵油碳化。

(2)冷却水流量不够和冷却水更换不勤，水质变差，易在扩散泵水路金属管内壁上结垢，使水流不够通畅，冷却效果降低，常会加速油的挥发和碳化。

扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施

No matter what you do, do not rush to return, because sowing and harvesting are not in the same season, and there is a period of time between them. We call it persistence.悉心整理助您一臂之力（页眉可删）扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施如下（同时参见表15）：(1) 如果扩散泵抽气系统不漏气，而系统的极限压力却一直达不到预想的结果，则可能是系统设计不合理，有效抽速低；或真空规电极放气和真空规本身受光电流的限制，测不出低压力。

(2)如果在长时间使用后，扩散泵或机组的抽气性能逐渐变坏，即极限真空度和抽速降低，而其它情况正常，则主要是扩散泵油逐渐氧化，质量变坏。

这时，应更换新扩散泵油。

换油步骤为：先把扩散泵卸下，取出泵芯，按要求将泵芯清洗烘干后正确装配并加新油。

(3)由于特殊原因，如真空规管炸裂，误开真空容器放气阀或未关闭高真空阀等，使扩散泵内突然漏进大气时，应立即关闭高真空阀门，停止扩散泵加热并强迫油锅冷却。

消除故障后，应作抽气试验，并根据其结果判断是否需要更换扩散泵油。

(4)扩散泵经拆装接入系统后，如果系统一切均严格按前述操作程序进行抽气的话，则应该能达到泵原极限压力；如果仔细反复调整各喷口间隙，真空度还应有所提高。

如果真空度抽不上去，则首先检查该泵所在系统的漏气率是否超过允许值；同时检查扩散泵的加热器是否烧断、供电电压是否正常、泵的冷却是否正常。

如果上述方面一切均正常，则可认为是泵芯装配方面的问题，如装歪、喷嘴间隙不对、泵芯在装配前未清洗干净、有机溶剂未烘干、泵油不够或装入了质量不好的泵油及加热功率调整不正确等。

(5)如果扩散泵的工作一直正常，而且也不是动了系统而使某处漏气，而使机组的抽气性能突然变坏，则可能是扩散泵电炉丝断了或保险丝断了，应及时检查更换。

机械、扩散、分子泵工作原理

油扩散泵工作原理油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成（见图）。

当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时,油锅可开始加热。

沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。

气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。

到前级，油蒸气被冷凝，释出气体分子，即被前级泵抽走而达到抽气目的。

泵油的蒸气压直接影响泵的真空性能。

但油扩散泵所使用的任何泵油，都是蒸气压不同的多组分的混合物。

因此，要提高油扩散泵的抽气和真空性能，泵在工作中自身还要对泵油进行分馏（一、物质的分离和提纯基本原理混合物的分离是指用物理、化学方法将混合物中各组分分开，并恢复到原状态，得到比较纯的物质。

物质的提纯则只要将杂质除去即可。

物质提纯的原则为：不增（不引入新的杂质）、不变、易分离。

实验操作要简便，不能繁杂。

用化学方法除去溶液中的杂质时，要想把被分离的物质或离子尽可能除净，需要加入过量的分离试剂，在多步分离过程中，后加的试剂应能够把前面所加入的无关物质或离子除去。

二、常用的分离和提纯方法1.过滤过滤是除去溶液中混有不溶于溶剂的杂质的方法。

过滤时应注意：（1）一贴：将滤纸折叠好放入漏斗，加少量蒸馏水润湿，使滤纸紧贴漏斗内壁。

（2）二低：滤纸边缘应略低于漏斗边缘，加入漏斗中液体的液面应略低于滤纸的边缘。

（3）三靠：向漏斗中倾倒液体时，烧杯的夹嘴应与玻璃棒接触；玻璃棒的底端应和漏斗中有三层滤纸处轻轻接触；漏斗颈的末端应与接受器的内壁相接触，例如用过滤法除去粗食盐中少量的泥沙。

2.蒸发和结晶蒸发是将溶剂气化、使溶液浓缩从而使溶质析出的方法。

结晶是溶质从溶液中析出晶体的过程，可以用来分离和提纯几种可溶性固体的混合物。

加热蒸发皿使溶液蒸发时，要用玻璃棒不断搅拌溶液，防止由于局部温度过高，造成液滴飞溅。

当蒸发皿中出现较多的固体时，即停止加热。

扩散泵保养合同

扩散泵保养合同甲方（委托方）：姓名：____________________联系地址：____________________联系电话：____________________乙方（受托方）：公司名称：____________________公司地址：____________________联系电话：____________________一、保养设备信息。

甲方拥有的扩散泵设备，设备型号为：____________________，设备编号为：____________________。

该设备目前位于：____________________。

二、保养内容。

1. 乙方将对扩散泵进行全面的清洁工作。

这就好比给它洗个舒舒服服的澡，把那些藏在角落里的灰尘、脏东西都统统赶走。

乙方要仔细清理泵体内部的各个部件，包括但不限于泵腔、喷嘴等地方。

2. 对扩散泵的关键部件进行检查。

就像医生给病人做体检一样，看看这些部件有没有磨损啦、有没有松动呀。

比如说泵的叶轮、密封件这些重要的小零件，都得好好检查一番呢。

3. 更换那些已经老化或者损坏的部件。

如果发现哪个小零件已经累坏了，像是密封不好的密封圈之类的，乙方就得给它换上新的，让扩散泵能够活力满满地重新工作。

4. 调试扩散泵，确保它在保养后能够正常运行。

这就像是给它做个康复训练，要让它达到最佳的工作状态。

乙方要调整好泵的各项参数，像抽气速度呀、极限真空度之类的，让它能够像刚出厂时一样厉害。

三、保养周期与时间安排。

1. 保养周期：本次合同约定的保养周期为______次/年。

就像我们定期去做身体检查一样，定期给扩散泵做保养，它才能一直健健康康的呢。

2. 首次保养时间：双方协商确定首次保养时间为______年______月______日。

乙方要准时到达设备所在地开始保养工作哦。

如果因为特殊情况需要调整时间，乙方得提前______天通知甲方，就像朋友之间约会如果要改时间得提前说一声一样。