影响扩散泵性能因素

影响扩散泵性能因素及返流清除法

影响扩散泵性能的因素：

①扩散泵油蒸气的返流。

a.泵壁表面油膜和油滴的蒸发。

b.喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射。

c.一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发。

d.喷口边缘高速油蒸气流的散射。

e.室温下油沿泵壁向表面迁移。

②气体分子的反扩散。

③扩散泵油的裂化分解（油氧化没抽速）。

④清洗不干净的真空泵，污染物留在泵内并重复循环。

针对以上原因，在使用油扩散泵过程中，增加了一些装置来防止上述现象的出现，真空系统上所加的冷阱就是为了防止扩散泵油蒸气的返流。加罗茨泵和双机械泵是为了减少扩散泵出气口的压力（≤40Pa）。尽量减少气体分子的反扩散。采用合格的扩散泵油是为了防止扩散泵油的裂化分解。

清除蒸汽系统油蒸汽返流的措施

(1)加大扩散泵的启动功率来缩短机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区。

(2)通过改变系统操作工艺和用阀门来避开返流危险区(切换过渡区)。例如，可使一个按照预定速度开启的高真空阀，逐渐地开启它，保证进入扩散泵的气体流量低于它的最大排气量，并且又使机械泵抽速保证扩散泵前级压力，以使扩散泵能树立工作。这样就能避开过渡区的出现。

(3)改善操作工艺，将扩散泵的加热功率调至最佳功率，避免出现泵油爆沸现象;一般扩散泵在加热开始和关闭过程中，返流将出现峰值，所以可用泵口处的高真空阀门来控制避免返流。

(4)在扩散泵入口处加装液氢冷阱或吸附阱来捕集返流油蒸气。

(5)选用优质的扩散泵工作液。