膜厚均匀性测试
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膜厚均匀性测试
采用真空度0.5Pa，溅射电流0.3A进行膜厚均匀性测试，测试点和盘间距如下图
（1）d=114mm，溅射时间100min，膜厚非均匀性为17.7%，平均溅射速率为43.6 Å/min
（2）d=77mm，溅射时间120min，膜厚非均匀性为19.8%，平均溅射速率为62.4 Å/min