认识厂务系统种类
FMCS系统介绍
U12 控制柜
S12 控制柜
B12 控制柜
TC 控制柜
IDF机房（40AI，12AO，256DI，48DO）：冰机 系统、CDA系统、纯水系统、空调箱
1F西北库房（8AI，8AO，32DI，）：空调箱， 主要是OAU和AHU
1F空调房（8AI，8AO，96DI32）：空调箱，主 要是OAU、AHU和FFU
6F空调房（16AI，8AO，64DI，16DO）：空调 箱，主要是OAU和AHU
北厂I/O盘位置
计算机 交换机 CPU(s7-400)
U13
控制柜
P13
控制柜
S13
控制柜
冰机房（16AI，8AO，128DI，32DO）：冰机系 统、CDA 、PCW
中控室（48AI，24AO，16DI，32DO）：空调箱 1.5F空调房（152AI，56AO，288DI，64DO）： 空调箱
在FMCS监控系统中采用标准的电脑网络传输系统，为提供FMCS监 控系统工作站与工作站间、或数据存储服务器与工作站间的通讯功能， FMCS规划上采用的标准是以太网络为传输媒介并利用TCP/IP通讯协议 作为标准的通讯格式。这样，既可增加FMCS监控系统的扩充性与相容 性，还可以使用TCP/IP通讯协定的另一优点——就是TCP/IP通讯协定的 定址方式，可提供几乎不限个数的工作站在同一网络上连线，即提供 系统工作站的扩充能力。
2F电气房（32AI，8AO，96DI，32DO）：空调 箱，排风系统，回水箱 RFMAU房（32AI，24AO，96DI，）：空调箱， 主要是OAU和AHU及FFU
1F空调房（16AI，16AO，192DI，64DO）：空 调箱，室内温湿度 3F空调房（272AI，240AO，192DI，64DO）： 空调箱，室内温湿度
厂务系统概述简单中文介绍PPT课件
1.2 气体系统在制程中的功能
CDA 压缩干燥空
气
GN2 一般氮气
搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹 Purge/洁净冲吹
PN2 纯化氮气
Purge/空间填充/超洁净冲吹
其他B-GAS 大宗气体
制程需求/空间填充/超洁净冲吹
S-GAS 特殊气体
制程填充需求/制程需求
1.3 化学系统在制程中的功能
Chemical 化学药品
清洁清洗/制程需求
1.4 真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
吸引搬移 尘屑吸引清洁
1.5 排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气系统
Drain 排水系统
制程转换之高真空建立 制程转换之废气排除 制程使用之废DI/Chemical排放
二、厂务系统使用材质
PN2 纯化氮气
SUS 316L EP
其他B-GAS 大宗气体
SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)
S-GAS 特殊气体
SUS 316L EP/双套管/加热套
2.3 化学系统使用材质
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
其他 化学药品
溶剂类→SUS 316 BA H2SO4/NaOH→PVC/CPVC CPVC/PFA/PVDF/PTFE
膨胀水箱
冰水进
板热
冰水出
制程管线
进水
回水
机台冷却
3.2 冰水系统简略流程
大气
冷却水塔 冷却 水
冰水主机 冷媒循环
冰水 回
MAU VAU
冰水
AHU
出 其他空调箱
板热
半导体厂务系统
半导体厂务系统Standardization of sany group #QS8QHH-HHGX8Q8-GNHHJ8-HHMHGN#半导体厂务工作吴世全国家奈米元件实验室一、前言近年来，半导体晶圆厂已进展到8"晶圆的量产规模，同时，也着手规划12"晶圆的建厂与生产，准备迎接另一世代的产业规模。
於是各厂不断地扩增其产能与扩充其厂区规模，似乎稍一停顿即会从此竞争中败下阵来。
所以，推促着制程技术不断地往前迈进，从μm设计规格的64Mb（百万位元）DRAM （动态随机记忆元件）记忆体密度的此际技术起，又加速地往μm规格的256M发展；甚至μm的1Gb（十亿位元）集积度的DRAM元件设计也屡见不鲜。
亦即整个半导体产业正陷入尖端技术更迭的追逐战，在竞争中，除了更新制程设备外，最重要的是维持厂区正常运作的厂务工作之配合，而这两方面的支出乃占资本财的最大宗。
特别是多次的工安事故及环保意识抬头之後，厂务工作更是倍显其重要及殷切。
事实上，半导体厂的厂务工作为多援属性的任务，也是後勤配合与收摊（废弃物）处理的工作；平时很难察觉其重要性，但状况一出，即会令整厂鸡飞狗跳，人仰马翻，以致关厂停机的地步。
所以，藉此针对厂务工作的内容做一概略性的描述，说明其重要性并供作参考与了解。
文章分为三部份：首先为厂务工作的种类，其次是厂务工作的未来方向，最後是本文的结语。
二、厂务工作的种类目前在本实验室所代表的半导体制程的厂务工作，约可分为下列数项：1.一般气体及特殊气体的供应及监控。
2.超纯水之供应。
3.中央化学品的供应。
4.洁净室之温度，湿度的维持。
5.废水及废气的处理系统。
6.电力，照明及冷却水的配合。
7.洁净隔间，及相关系统的营缮支援工作。
8.监控，辅佐事故应变的机动工作等数项。
下述将就各项工作内容予以概略性说明：1.一般气体及特殊气体的供应及监控[1]一座半导体厂所可能使用的气体约为30种上下，其气体的规格会随制程要求而有不同；但通常可分为用量较大的一般气体(Bulk Gas)，及用量较小的特殊气体(Special Gsa)二大类。
厂务大宗气体及特殊气体系统知识
（5）牙条：吊挂、固定型钢用。
（6）型钢垫片：配合牙条、吊挂型钢用。
（7）弹簧螺帽：置于型钢槽内，锁螺丝或牙条用。
<符号认识: >
2.2一次配管
2.2一次配管（）
2.2.1
名词：
主管
副主管
一次配与二次配连接的阀
隔离阀
末端阀
·1
1：为由气体的起始流出点（）至无尘室中的
1.2特殊气体特性及系统简数类：
*易燃性气体
*毒性气体
*腐蚀性气体
*低压性/保温气体
*惰性气体
1.特殊气体特性简介
*易燃性气体:燃点低,一泄漏与其他气体相混,便易引起爆炸及燃烧
如4 , 3 , H2 ,….
*毒性气体:反应性极强,强烈危害人体功能,如, 3,….
O2：
供给制程氧化剂所需及制程中供给氧化制程用，供给O3所需之氧气供应及其它制程所需。
：
供给制程，离子溅镀热传导介质，稀释及惰性气体环境。
H2：
供给炉管设备燃烧造成湿氧环境，制程中做H2之用，制程中作为6之还原反应气体及其它制程所需。
：
供给化学品输送压力介质及制程芯片冷却。
3的供应系统
:
大宗气体( )虽然不像特殊气体( )，有的具有强烈的毒性、腐蚀性。但是我们使用大宗气体时，仍然要注意安全。2、2、、具有窒息性的危险，这些气体无臭、无色、无味，如大量泄出而相对致空气中含氧量（一般为21﹪）减少至16﹪以下时，即有头痛与恶心现象。当氧气含量少至10﹪时，将使人陷入意识不清状态，6﹪以下瞬间昏倒，无法呼吸，6分钟以内即死亡。2因泄漏或混入时，其本身之浓度只要在H2之爆炸范围(4%－75%)内（如对空气），只要一有火源，此气体乃会因相混而燃烧。2会使物质易于氧化产生燃烧，造成火灾的不幸事件。因此，身在半导体工厂工作的我们，在设计上、施工中，如何避免泄漏、如何防患，则是我们努力的工作之一。
00 厂务系统概述-打印
使用点
一/二次管 二次盘
CQC
3.6其他大宗气体/特气系统简略流程 3.6其他大宗气体/ 其他大宗气体
O2
液氧储槽 蒸发器 减压站 过滤器 纯化器 CQC
使用点
He/Ar/Kr/H2…
钢瓶/Bundle 钢瓶/Bundle Trunker 减压站 过滤器 纯化器 CQC
一/二次管 二次盘
一/二次管 二次盘
使用点
Specialty Gas
钢瓶 Cabinet 气瓶柜 管线 VMB/P 阀箱 管线 使用点
3.7高真空/排气系统简略流程 3.7高真空/ 高真空
Pumping Line
机台制程 Chamber 高真空 管路 Vacuum Pump
Exhaust
高真空 管路
Scrubber
GEX
机台出口 Damper 风管
Safety Filter 过滤器
UV Sterilizer 紫外线杀菌
Heat Exchange 热交换器
Membrane Degasifier 去除O2 去除O2
UPW Tank 纯水储槽
Cooler 冷却器
UV Oxidizer 破坏有机链
UF Unit 超限过滤膜
回水
P.O.U 使用点 超限过滤膜
H2W UF Unit
H2 Desolve Membrane
H2除溶膜 H2除溶膜
H2 M.D. H2去除膜 H2去除膜
H2 Cooler H2冷却器 H2冷却器
纯水储槽
H2 UPW Tank
回水
3.4自来水/回收水系统简略流程 3.4自来水/ 自来水
自来水
自来水外管
回收水
空气中水份
认识厂务系统种类
厂务系统有哪些Cleanroom System [洁净室系统 ]a内装修工程：(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceilinggrid、无尘涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等；b,循环空调系统：(包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.)；c,FOUNDATION：防震机座、粉尘监测智能系统 /DMS 系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc.Mechanical System [机械系统 ]中央动力， Central utility ： Mechenica(l 热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW生产上水、自来水、饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施)Specialty Gas and Bulk Gas 特[ 殊气体和大宗气体 ]a,Bulk Gas GAS YARD气站，CQC (N2/H2/O2/Ar/He天然气)【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气( CDA) --有些 FAB 还将机台用 CDA 和厂务设备用 CDA 供应系统分开，呼吸空气供应系统等；b,Specialty Gas System 部( 分特性有重迭 )：( 1)易燃性气体 (Flammable Gas)( 2)毒性气体( Toxic Gas)( 3)腐蚀性气体( Corrosive Gas)( 4)惰性气体 (Inert Gas)( 5)氧化性气体( Oxide Gas)( 6)低压 /保温气体( HeatGas)Water Treatment System 水[ 处理系统 ]a超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水(RO水)供应系统etc.b,工艺废水处理(酸、碱、含氟排水、slurry/cmp研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc.)c,办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etcExhaust System工艺排气系统] a工厂SCRUBBER酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.有些FAB还包括了紧急排烟 /事故排风系统 ]b,LOCAL SCRUBBER（一般附属于工艺设备）：依其原理大概可分成下列几类（1）电热水洗式 ; （2）燃烧水洗式（3）填充水洗式 ;（4）干式吸附式。
生产系统的种类和生产管理的方式
生产系统的种类和生产管理的方式1. 引言生产系统是企业中用于生产产品或提供服务的组织和设施的总称。
不同的生产系统种类及其管理方式对企业的生产效率和质量有着重要的影响。
本文将介绍生产系统的主要种类以及在生产管理中的不同方式。
2. 生产系统的种类生产系统可以根据不同的分类标准进行划分，常见的生产系统种类有以下几种：(1) 批量生产系统批量生产系统是指生产过程中批量生产同类产品的系统。
批量生产系统通常通过流水线生产方式来提高生产效率，并采用分工合作的方式来完成不同环节的生产任务。
这种生产系统适用于需求相对稳定且规模较大的产品。
(2) 连续生产系统连续生产系统是指以连续流方式生产产品的系统。
这种生产系统通常适用于大批量、高速度的生产过程，如炼油、化工、钢铁等。
连续生产系统采用的生产技术多为自动化和半自动化，以实现高效的连续流程。
(3) 项目生产系统项目生产系统是指为了完成某个特定项目而组织起来的生产系统。
项目生产系统主要通过临时组建的团队来完成特定项目的设计、开发和交付。
这种生产系统的特点是灵活性强、周期短、资源需求难以预测。
(4) 集成生产系统集成生产系统是指将不同企业或组织的生产能力整合在一起，形成联合生产的系统。
这种生产系统可以根据各企业的优势进行协同生产，从而实现资源的优化利用和规模的扩大。
集成生产系统可以采用虚拟企业、产业园区等形式组织。
3. 生产管理的方式在不同的生产系统中，为了提高生产效率和质量，需要采用不同的生产管理方式。
以下是常见的生产管理方式：(1) 传统生产管理传统生产管理主要依靠人工经验和直觉来进行生产安排和控制。
这种方式在小规模、低技术含量的生产环境中较为常见。
传统生产管理的优点是简单易行，但缺点是效率低下、数据不准确。
(2) 精益生产管理精益生产管理是一种基于减少浪费和提高价值流的方法论。
它通过优化生产流程，减少非价值增加的环节和资源浪费，来提高生产效率和质量。
精益生产管理通过精确的数据分析和持续改进来实现生产过程的优化。
厂务系统概述简单中文介绍
清洁清洗/制程需求
1.4 真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
吸引搬移 尘屑吸引清洁
1.5 排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气系统
Drain 排水系统
制程转换之高真空建立 制程转换之废气排除 制程使用之废DI/Chemical排放
二、厂务系统使用材质
PN2 纯化氮气
SUS 316L EP
其他B-GAS 大宗气体
SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)
S-GAS 特殊气体
SUS 316L EP/双套管/加热套
2.3 化学系统使用材质
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
其他 化学药品
溶剂类→SUS 316 BA H2SO4/NaOH→PVC/CPVC CPVC/PFA/PVDF/PTFE
厂务系统概述
目录 一、厂务系统功能 二、厂务系统使用材质 三、厂务系统流程
一、厂务系统功能
1.1 水系统在制程中的功能
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
制程机台冷却 补水/清洗/稀释
Chill Water 冰水
RW 回收水
冷却用冷源/空调用冰水 DI回收/冷凝回收/再生使用
CW 自来水
原水/一般用水
化学品 供应槽车
化学品 储槽
传送系统
供应槽
废液 回收槽
回收管线
使用点
VMB/P
分配系统 化学管路
3.10 废水收集系统简略流程
Drain Pipe
机台 排放点
收集 管线
废水 处理厂
3.11 废水处理系统简略流程
IC_FAB_厂务系统简介
F lo o r n a m e C le a n s u p p o r t ro o m
F lo o r lo a d in g 1 ,0 0 0 ㎏ / m 2 7 5 0 ㎏ /m 2 4 0 0 ㎏ /m 2 4 0 0 ㎏ /m 2 2 0 0 ㎏ /m 2
C e ilin g h e ig h t 3 .6 m
V ib r a tio n R e q u ire d 1 0 0 0 μ " /s
V ib r a tio n G oal
M e c h a n ic a l ro o m
1-2. Raised Floor :
A. Load capacity : 1,500㎏/m2 B. Concentration load : 70~80㎏/㎝2
5. Grounding : ≦ 1Ω 6. Noise : ≦ 60 NC
7. Illumination : 750 ~ 800 lux for C/R；but photo area 500 ~ 600 lux with yellow light
8. Cleanness/ Temperature/ Relative humidity :
廠房 : FAB : 3F, ( 微震規格 ≦ 125u”/s) 5F, ( 微震限制 ≦ 500u“/s), EQ地震保護必須加強.
Clean Room : Class-100T/SMIF , MUA 有水洗功能對酸 鹼離子有少許去除功能, 但對濕度控制能力較佳。 Process Gas : 由 Module 決定材料品質, 管路傳送系統可達 ppt level, 管線/管件為 Electro polished S.S. Chemicals : 由 Module 決定材料品質, 管路傳送系統可達 ppt level, 管線管件為 PVDF. Bulk Gas : PN2, PO2, PH2, PAr, PHe, purifier . (≦ 1 ppb) UPW : RS ≧ 18.25MΩ, impurity 可達 1ppb 水準.
《厂务系统概述》课件
实时监控库存状况，避免过度采购或库存 不足的情况发生。
3 设备维护
4 员工调度
记录设备维护历史，提醒维护计划，延长 设备寿命。
根据工作需求和员工技能，合理安排员工 的工作任务，提高生产效益。
厂务系统的应用场景
工厂自动化
通过自动化技术和厂务系统的 集成，实现生产线的智能化、 高效化。
仓库管理
利用厂务系统监控仓库内货物 的数量、位置和出入库记录， 提高物流效率。
联网技术，实现自动化决策和智能优 化。
厂务系统将支持移动设备访问，使生
产管理更加灵活和便捷。
3
云端化
厂务系统将越来越多地迁移到云端， 提供更高效的数据存储和共享。
总结和展望
厂务系统在工业领域发挥着重要作用，随着技术的不断发展，它将变得更加 智能和高效。
《厂务系统概述》PPT课 件
本课程将介绍厂务系统的基本概念和应用，并探讨其未来的发展趋势。
什么是厂务系统？
厂务系统是一种用于管理和优化工厂运营的信息技术系统。它集成了各种功 能模块，包括生产计划、库存管理、设备维护和员工调度等。
厂务系统的功能和特点
1 生产计划
2 库存管理
根据市场需求和资源情况，制定合理的生 产计划，提高生产效率。
员工调度
根据工作需求和员工技能，合 理安排员工的工作任务，提高 生产效益。
厂务系统的优势和不足
优势
• 提高生产效率 • 降低成本 • 提升产品质量
不足
• 系统部署和使用成本较高 • 对员工培训要求较高 • 需要与其他系统集成
未来厂务系统的发展趋势
1
智能化
厂务系统将更加智能化，通
电子工厂 晶圆厂 TFT 厂 面板厂 厂务系统概述
2.1水系统使用材质 2.1水系统使用材质
PCW 制程冷却水 UPW/DIW 超纯水 Chill Water 冰水 RW 回收水 CW 自来水
SUS 304禁油处理/高压软管 CPVC/PVDF/PFA Tube
SUS 304
SUS 304
SUS 304
2.2气体系统使用材质-(除特气外机台端都可能用Teflon软管) 2.2气体系统使用材质
厂务系统概述
0.电子厂名言 0.电子厂名言
0.电子厂名言 0.电子厂名言
唯一的不变就是永远在变 唯一确定的就是还没决定
接下来介绍的在现场都不是绝对的~ 所以~接下来介绍的在现场都不是绝对的~
1.厂务系统功能 1.厂务系统功能
1.1水系统在制程中的功能 1.1水系统在制程中的功能
PCW 制程冷却水 UPW/DIW 超纯水 Chill Water 冰水 RW 回收水 CW 自来水
Pumping Line
机台制程 Chamber 高真空 管路 Vacuum Pump
Exhaust
高真空 管路
Scrubber
GEX
机台出口 Damper 风管
风管
风机
大气
Others Exhaust
机台出口 Damper 风管 风机 Scrubber 大气
3.8真空系统简略流程 3.8真空系统简略流程
H2 Cooler H2冷却器 H2冷却器
纯水储槽
H2 UPW Tank
回水
3.4自来水/回收水系统简略流程 3.4自来水/ 自来水
自来水
自来水外管
回收水
空气中水份
水表/隔离 阀
冷盘/空调 箱
回收管线 供应管线 回收水槽 使用点 使用点
厂务系统概述简单中文介绍
Solvent 有机排气
Acid/Ak 酸硷排气
SUS 316 BA/EP 镀锌螺旋风管 SUS 304全焊式不锈钢风管 不锈钢Teflon Coating风管
14
2.6 排水系统使用材质
Drain 一般排水
Solvent 有机排气水
Acid/Ak 酸硷排气水
PVC/PVC SCH80 SUS 304不锈钢管 PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA
SUS 304L AP/BA/316L BA SUS 316L BA/EP
PN2 纯化氮气
SUS 316L EP
其他B-GAS 大宗气体
SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)
S-GAS 特殊气体
SUS 316L EP/双套管/加热套
11
2.3 化学系统使用材质
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
Drain Pipe
机台 排放点
收集 管线
废水 处理厂
26
3.11 废水处理系统简略流程
Waste Water Treatment
废水 收集槽
PH 调整槽
曝气槽
生物 接触槽
污泥 脱水机
污泥 收集槽
沉淀槽
澄清槽
污泥饼 储槽
运弃
PH 反应槽 聚合物 凝结槽
27
英文缩写对照
28
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3.6 其他大宗气体/特气系统简略流程
O2
液氧储槽 蒸发器 减压站 过滤器 纯化器
CQC
He/Ar/Kr/H2…
钢瓶/Bundle Trunker
厂务系统(FMCS)
工厂自动化/厂务系统(FMCS)日期: 2009-11-6 15:00:48 作者: Admin 来源: 上海存在自动化控制设备有限公司浏览: 3588FMCS(Facility Management and Control System)其中文意思是厂务监控系统，它是目前半导体厂内制程中所使用的监控系统，用途是将厂区内特定的，有危害的，影响制程状态或系统资料于此的监控，并将其记录，以供问题即时处理及日后问题分析。
目前的制造业已经向信息化工厂逐渐过度，整个工厂作为一个有机的整体来协调运转就需要一个有效的监控和管理，通过监控可以知道工厂所有设备所有人员所有材料的具体情况，通过管理，可以使以上各个生产环节紧密结合，协调运转。
这样，就需要一个整体的全厂自动化系统。
上海存在自动化控制设备有限公司的FMCS系统就是针对以上这些具体需求提出的完美解决方案。
存在自动化根据客户的具体设备要求和工程规范，结合我们在工厂FMCS方面的多年实践经验，运用当今主流的计算机技术和自动控制技术而进行的方案设计和工程实施设计，而量身定造完整的FMCS系统。
此监控系统，具有友善的监控界面，采用Windows作业环境，只需要使用鼠标及简单的键盘，就可以进行操作，具安全性及可扩充性。
FMCS设计目标将设施供应系统、环境系统、废弃物处理系统等监控资料利用Ethernet、PLC或RS232等通讯协议连接至不同监控计算机，形成一整合网络监控系统，以达到如下目的：1.整合各单一网络为以整体，实现信息可互通。
2.提升整体管理绩效3.简化运转维护困难度4.降低安装、运转及扩充成本5.多台电脑可相互监看、控制6.可共享磁盘资源7.可达到相互备份效果8.监控报警电话Call出及邮件功能9.历史数据查询及曲线查询10.自动生成报表11.监控系统网络管理FMCS价值所在1.大量节省管理人员：传统的仪表控制系统是通过工厂操作管理人员楼上楼下来回奔走，对分布于工厂各处的设备进行开关和调节。
智慧厂务系统介绍设计方案
智慧厂务系统介绍设计方案智慧厂务系统是基于互联网、物联网、大数据等技术的智能化管理系统，旨在提高工厂运作效率、降低成本，并优化生产和员工管理。
下面是一个智慧厂务系统的设计方案，以供参考。
一、系统架构设计1. 前端界面：提供用户友好的操作界面，包括实时数据展示、设备监控、生产进度查看等功能。
2. 后台服务：负责数据采集、分析、存储和处理，以及与设备、人员等各个模块之间的数据交互。
3. 数据库：存储生产数据、设备状态等信息，并支持数据分析和报表生成。
二、核心功能模块1. 数据采集与监控：通过传感器、设备接口等方式，采集设备运行数据、环境数据等，在系统中进行实时监控和分析。
2. 异常预警与处理：根据设定的规则和算法，实时监测设备运行状态，当发现异常情况时，系统能够立即发出警报，并向相关人员发送通知，以便及时处理。
3. 生产计划与调度：制定生产计划，并根据实际情况进行调整，确保生产进度的顺利推进，并优化设备利用率和人力资源配置。
4. 质量控制与检测：通过数据分析和机器学习算法，对产品质量进行实时监测和预测，以及对异常情况进行处理。
5. 设备维护与管理：对设备进行远程监控和维护，及时发现并处理设备故障，提高设备的可用性和运行效率。
6. 人力资源管理：包括员工的考勤、培训、绩效评估等功能，以及与生产计划和设备状态的关联，实现优化人力资源的配置。
三、关键技术支持1. 物联网技术：通过各种传感器和设备接口，实现对设备和环境的实时监控和数据采集，以及设备的远程控制和调度。
2. 大数据分析与挖掘：通过对采集的数据进行分析和挖掘，发现设备故障、生产异常等问题，并进行预测和优化。
3. 人工智能技术：基于机器学习和深度学习算法，对生产数据进行建模和预测，提高生产效率和质量。
4. 云计算与边缘计算：通过云平台和边缘设备的结合，提供弹性计算和存储能力，实现大规模数据的处理和传输。
四、设计思路与优势1. 整合管理：将设备、生产计划、质量控制、员工管理等模块整合在一个系统中，实现全面的管理和协调。
工业系统概述：了解工业系统的基本概念、组成和分类。
工业系统概述：了解工业系统的基本概念、组成和分类引言工业系统是现代社会中不可或缺的一部分。
它们起着推动经济增长和社会发展的关键作用。
然而，对于大多数人来说，工业系统仍然是一个相对陌生的领域。
本文将介绍工业系统的基本概念、组成和分类，帮助大家更好地了解和认识这个重要的领域。
工业系统的基本概念工业系统的定义工业系统是一个由各种相互关联的元素组成的复杂网络。
它包括了人力资源、物资、设备、技术和环境等多个方面，用以生产和提供产品或服务。
工业系统的目标是实现高效生产和资源利用，以满足人们对产品和服务的需求。
工业系统的特点工业系统具有以下几个基本特点：1.复杂性：工业系统由多个相互关联的部分组成，这些部分之间存在着复杂的相互作用和依赖关系。
2.动态性：工业系统处于不断变化和发展之中。
它需要适应市场需求的变化、技术进步和环境变化等因素。
3.综合性：工业系统不仅仅涉及到生产过程，还包括了人力资源管理、供应链管理、营销和销售等多个领域。
4.目标导向：工业系统的目标是实现高效生产和资源利用，以满足人们对产品和服务的需求。
工业系统的组成生产要素工业系统的核心是生产要素。
生产要素包括了人力资源、物资、设备和技术等。
人力资源是工业系统的灵魂，它包括了各种各样的人才，如工人、经理、工程师和技术人员等。
物资包括了原材料、零部件和半成品等，它们是产品生产过程中必不可少的一部分。
设备是生产过程中的工具和设备，它们用于加工和生产产品。
技术是工业系统的动力，它可以提高生产效率和产品质量。
组织与管理组织和管理是工业系统中非常重要的一部分。
它包括了人力资源管理、供应链管理、生产计划和控制等方面。
人力资源管理负责招聘、培训、激励和留用员工，以确保组织拥有足够的人力资源。
供应链管理负责物资的采购、运输和存储等工作，以确保生产过程的顺利进行。
生产计划和控制负责制定生产计划、监控生产过程和控制生产成本等。
技术与工艺技术与工艺是工业系统中的重要组成部分。
《厂务系统概述》课件
定义与功能
定义
厂务系统是指负责工厂运营和维护的 综合系统，包括设施、设备、人员、 物料等方面的管理。
功能
厂务系统的主要功能是确保工厂的正 常运行，提高生产效率，降低运营成 本，优化资源配置，提升企业的整体 竞争力。
厂务系统的组成
设施管理
包括工厂的建筑、设施、设备 等硬件设施的规划、设计、维
护和更新。
医疗保健业
厂务系统在医疗保健业中用于管理医 疗设备和物资、提高医疗服务质量和 效率。
厂务系统的发展趋势
智能化
集成化
厂务系统将不断引入人工智能、机器学习 等技术，实现智能化管理和决策。
厂务系统将更加注重各子系统的集成，实 现信息共享和协同工作。
绿色化
定制化
厂务系统将更加注重环保和可持续发展， 采用节能减排技术降低能耗和排放。
REPORT
厂务系统概述
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DATE
ANALYSIS
SUMMARY
目录
CONTENTS
• 厂务系统简介 • 厂务系统的运行与管理 • 厂务系统的应用与发展 • 厂务系统的挑战与解决方案 • 厂务系统案例分析
REPORT
CATALOG
DATE
ANALYSIS
SUMMAR Y
01
厂务系统简介
备件管理
合理储备设备备件，确保 备件的质量和供应的及时 性。
安全管理
安全制度建设
安全检查与整改
制定并完善厂务系统的安全管理制度 和操作规程。
定期开展安全检查，及时发现并整改 安全隐患。
安全培训
定期对员工进行安全培训，提高员工 的安全意识和操作技能。
REPORT
CATALOG
认识厂务系统种类
认识厂务系统种类厂务系统有哪些Cleanroom System [洁净室系统 ]a内装修工程：(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceilinggrid、无尘涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等；b,循环空调系统：(包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.)；c,FOUNDATION：防震机座、粉尘监测智能系统 /DMS 系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc.Mechanical System [机械系统 ]中央动力， Central utility ： Mechenica(l 热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW生产上水、自来水、饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施)Specialty Gas and Bulk Gas 特[ 殊气体和大宗气体 ]a,Bulk Gas GAS YARD气站，CQC (N2/H2/O2/Ar/He天然气)【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气( CDA) --有些FAB 还将机台用 CDA 和厂务设备用 CDA 供应系统分开，呼吸空气供应系统等；b,Specialty Gas System 部( 分特性有重迭 )：( 1)易燃性气体 (Flammable Gas)( 2)毒性气体( T oxic Gas)( 3)腐蚀性气体( Corrosive Gas)( 4)惰性气体 (Inert Gas)( 5)氧化性气体( Oxide Gas)( 6)低压 /保温气体( HeatGas)Water Treatment System 水[ 处理系统 ]a超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水(RO水)供应系统etc.b,工艺废水处理(酸、碱、含氟排水、slurry/cmp研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc.)c,办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etcExhaust System工艺排气系统] a工厂SCRUBBER酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.有些FAB还包括了紧急排烟/事故排风系统 ]b,LOCAL SCRUBBER（一般附属于工艺设备）：依其原理大概可分成下列几类（1）电热水洗式; （2）燃烧水洗式（3）填充水洗式;（4）干式吸附式。
厂务系统(FMCS)
工厂自动化/厂务系统(FMCS)日期: 2009-11-6 15:00:48 作者: Admin 来源: 上海存在自动化控制设备有限公司浏览: 3588FMCS(Facility Management and Control System)其中文意思是厂务监控系统，它是目前半导体厂内制程中所使用的监控系统，用途是将厂区内特定的，有危害的，影响制程状态或系统资料于此的监控，并将其记录，以供问题即时处理及日后问题分析。
目前的制造业已经向信息化工厂逐渐过度，整个工厂作为一个有机的整体来协调运转就需要一个有效的监控和管理，通过监控可以知道工厂所有设备所有人员所有材料的具体情况，通过管理，可以使以上各个生产环节紧密结合，协调运转。
这样，就需要一个整体的全厂自动化系统。
上海存在自动化控制设备有限公司的FMCS系统就是针对以上这些具体需求提出的完美解决方案。
存在自动化根据客户的具体设备要求和工程规范，结合我们在工厂FMCS方面的多年实践经验，运用当今主流的计算机技术和自动控制技术而进行的方案设计和工程实施设计，而量身定造完整的FMCS系统。
此监控系统，具有友善的监控界面，采用Windows作业环境，只需要使用鼠标及简单的键盘，就可以进行操作，具安全性及可扩充性。
FMCS设计目标将设施供应系统、环境系统、废弃物处理系统等监控资料利用Ethernet、PLC或RS232等通讯协议连接至不同监控计算机，形成一整合网络监控系统，以达到如下目的：1.整合各单一网络为以整体，实现信息可互通。
2.提升整体管理绩效3.简化运转维护困难度4.降低安装、运转及扩充成本5.多台电脑可相互监看、控制6.可共享磁盘资源7.可达到相互备份效果8.监控报警电话Call出及邮件功能9.历史数据查询及曲线查询10.自动生成报表11.监控系统网络管理FMCS价值所在1.大量节省管理人员：传统的仪表控制系统是通过工厂操作管理人员楼上楼下来回奔走，对分布于工厂各处的设备进行开关和调节。
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厂务系统有哪些
Cleanroom System [ 洁净室系统]
a,内装修工程：（高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceiling grid、无尘涂装、环氧地坪等）、压差控制系统、ESD防静电等；
b,循环空调系统：（包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.）；c,FOUNDATION：防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc.
Mechanical System [ 机械系统]
中央动力，Central utility：Mechenical（热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施）
Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊气体和大宗气体]
a,Bulk Gas：GAS YARD气站，CQC（N2/H2/O2/Ar/He/天然气）【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气（CDA）--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA 供应系统分开，呼吸空气供应系统等；
b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭)：
（1）易燃性气体(Flammable Gas)
（2）毒性气体（Toxic Gas）
（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）
（4）惰性气体(Inert Gas)
（5）氧化性气体（Oxide Gas）
（6）低压/保温气体（Heat G as)
Water Treatment System [ 水处理系统]
a,超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水（RO水）供应系统etc.
b,工艺废水处理（酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. ）
c,办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc
Exhaust System[工艺排气系统]
a,工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.[有些FAB还包括了紧急排烟/事故排风系统]
b,LOCAL SCRUBBER（一般附属于工艺设备）：依其原理大概可分成下列几类(1)电热水洗式; (2)燃烧水洗式(3) 填充水洗式;(4)干式吸附式。
Chemical Dispensing System[化学品供应系统]
包括化学品供应系统和化学品回收系统，具体使用的化学品种类根据每个FAB 产品的不同而不同:
a,Chemical Dispensing System化学品供应系统
酸性
碱性
有机溶剂
氧化腐蚀性
b,化学品回收系统：光刻胶resist、STRIPPER剥离液(EKC、SST-A2、ORP、N311、T106、PGMEA、PGME etc.)、异丙醇、硫酸废液、硫酸铜废液回收等
Vacuum System [ 真空系统]
真空系统包括工艺真空(Process Vacuum )、真空吸尘(Hose Vacuum)或者清扫用真空、设备真空Pumping-line/vent系统/Pumping-Exhaust系统。
Power Supply & Automation System [ 电力供应及自动化]
a,强电：高低压供电（包括中央变电站和各终端变电站）、ups电源供应系统（蓄电池组）、紧急柴油发电机系统、SSTS高速切换开关、VSS电容补偿系统等、各类配电盘、照明（包括tear drop泪滴型照明灯具、黄光灯）、插座；
b,弱电：各类动力、EHS方面的自控部分（包括各类弱电盘面）、FMCS厂务监控系统（包括各sub-scada系统），【监控方面还有气体监控系统（GMS）、气体侦测系统（GDS）、有的厂是GMS＋GDS＝FMCS、有的厂GMS和GDS会分开来的】、各类电气接地、静电防护系统etc.
Construction [ 建筑结构]
建筑结构相关(包含厂房维修)，主要分为建筑和结构两大块（有些FAB将EHS 相关的防火门、逃生门、紧急疏散口、挡烟垂臂、升降平台etc.也归入此类）
EHS System Control [ 环境健康安全]
EHS涉及环境保护（污染物控制【三废处理等】、有害物质控制【PFC、CFC、PFOS、ROHS指令等、WEEE等】）、健康（职业卫生）、工业安全、能源、治安保卫、ERC（ERT应急响应等）、风险管理【ISO14001、OHSAS18001、QC080000等】，EHS其它等。
硬件涉及：消火栓设备、喷淋系统、漏液检测系统、门禁系统、电话广播系统、PHS系统、紧急对讲机系统，感温电缆报警系统、vesda、烟感热感探头、闭路电视系统/CCTV监视摄像头、消防与观光电梯、地震监控系统、SCBA呼吸面具、紧急冲淋、各类灭火器、PPE个人防护用具etc.
Energy Saving[厂务节能]
涵盖所有厂务系统的节能降耗、cost saving/cost down、VE提案、能源管理等。