厂务系统供能指标

厂务系统供能指标

遵循节能减排同时满足工艺机台的动能需求，特制订本厂务系统动能指标。序号动能种类指标类别指标

1 电

电压10.0 ---10.5KV

功率因数0.95--0.98

2 工艺冷却循环水101厂房PCW1供水压

力

≥0.20MPa 101厂房PCW2供水压

力

≥0.50MPa 101厂房PCW供水温度≤21℃102厂房PCW供水压力≥0.55MPa 102厂房PCW供水温度≤20℃103厂房PCW供水压力≥0.55MP a 103厂房PCW供水温度≤20℃

3 真空系统101厂房真空压力(PV)≤-0.07MPa

101厂房真空压力(HV)≤-0.03MPa

102厂房真空压力(PV)≤-0.08MPa

103厂房真空压力(PV)≤-0.08MPa

4 RO水电导率≤10µs/cm 压力≥0.2MPa 供应量35m3/h

5 2M纯水压力≥0.3MPa

供应量3m3/h（需设回流）

6 超纯水电阻率≥18.0MΩ.cm(25℃) 二氧化硅≤10μg/l

TOC ≤30ppb

压力≥0.3MPa

温度25+/-2℃

供应量50m3/h（需设回流）

7 一般生产生活用水压力≥0.3MPa 流量100m3/h

8 冷却塔补水系统压力≥0.3MPa 0.4流量≥150m3/h

9 纯水补水系统压力≥0.3MPa 流量≥150m3/h

10 低温冷冻水供水压力（二次泵出口）0.35Mpa-0.5Mpa 回水压力（一次泵进口) 0.15Mpa-0.3Mpa 供水温度6±0.5℃

回水温度≤12℃

11 中温冷冻水供水压力（二次泵出口）0.35Mpa-0.5Mpa 回水压力（一次泵进口)0.15Mpa-0.3Mpa 供水温度13±0.5℃

回水温度≤19℃

12 中温热水供水压力（二次泵出口）0.35Mpa-0.5Mpa 回水压力（一次泵进口)0.15Mpa-0.3Mpa 供水温度39±2℃

回水温度29±2℃

13 CDA 供气压力≥0.7Mpa 排气温度≤40℃

露点温度﹣40℃以下

14 101、102、103

洁净区温湿度、洁净度指标

以按照技术质量部制订的标

准为准

设备能源部

2011年12月5日