【CN109765707B】一种用于硅基空间光调制器的测试芯片【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201910283625.6(22)申请日 2019.04.10

(65)同一申请的已公布的文献号

申请公布号 CN 109765707 A (43)申请公布日 2019.05.17

(73)专利权人 南京芯视元电子有限公司

地址 210012 江苏省南京市雨花台区软件

大道118号新华汇B2栋2楼208(72)发明人 陈弈星　何军　

(74)专利代理机构 南京纵横知识产权代理有限

公司 32224

代理人 耿英　董建林(51)Int.Cl.

G02F 1/13(2006.01)G02F 1/1343(2006.01)

G09G 3/00(2006.01)

(56)对比文件

CN 1862322 A ,2006.11.15,CN 101106105 A ,2008.01.16,CN 107688248 A ,2018.02.13,US 2005128173 A1,2005.06.16,CN 106873269 A ,2017.06.20,CN 106154595 A ,2016.11.23,

审查员 张城

(54)发明名称

一种用于硅基空间光调制器的测试芯片(57)摘要

本发明提出来一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，属于微显示器领域。该测试芯片的主要结构包括硅基底层、液晶配位层、液晶层和ITO玻璃层，其中硅基底上的像素电极层可以在有效显示区域划分为若干种测试区域，在每种测

试区域设计不同的像素图案和测试区，

这些测试区可以通过开发板控制点亮显示用于测试，通过监控相应的参数如有边缘场效应、衍射效率、液晶等效电容和寄生电容、电压保持率、直流残余电压，以及它们引起的闪烁现象等，根据测试结果，

为优化产品设计以及工艺设计做参考。

权利要求书1页 说明书6页 附图3页

CN 109765707 B 2019.06.28

C N 109765707

B

权　利　要　求　书1/1页CN 109765707 B

1.一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，包括依次层叠的硅基底层、第一液晶配位层、液晶层、第二液晶配位层和ITO玻璃层，其特征在于，其中，将硅基底层上的像素电极层在有效显示区域划分为若干种测试区域，每种测试区域包括至少一个测试单元，每种测试区域具有不同的测试图案或测试电路。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，其中一种测试区域中的各测试单元具有若干种不同线宽和/或排列的像素图案。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，所述像素图案形成光栅。

4.根据权利要求2所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，通过所述像素图案测试或计算出以下至少一个参数或参数关系：液晶光栅的边缘场效应、衍射效率、相位阶跃反转区、衍射效率和光栅尺寸与间距的关系。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，其中一种测试区域中的测试单元含有设定面积的像素金属层。

6.根据权利要求5所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，通过所述测试单元测试出以下至少一个参数：液晶等效电容、寄生电容、电压保持率、直流残余电压、噪声。

7.根据权利要求5所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，通过所述测试单元测试芯片灌晶后不同芯片区域的盒厚均匀度、图像对比度和噪声，或通过所述测试单元测试芯片灌晶后不同的液晶注入工艺对液晶盒子效果的影响。

8.根据权利要求5所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，该种测试区域中的测试单元分别设置在芯片的液晶注入口、芯片中心和芯片的四个角落处。

9.根据权利要求1所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，其中一种测试区域中的测试单元为实际芯片电路和测试电路。

10.根据权利要求1所述的一种用于硅基空间光调制器的测试芯片，其特征在于，每种测试区域或每种测试区域内每个测试单元同时或单独施加驱动电压测试。

2