真空检漏方法
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。
确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。
而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。
方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。
具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。
具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。
具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。
具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。
2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。
3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。
红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。
结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。
真空检漏
真空检漏法类型及其最小可检漏率
（3）背压检漏法：
背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法， 多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏 技术中。其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步 骤。 A、充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放 (或称浸泡)一定时间。 B、净化过程是采用干燥氮气流或干燥空气流在充压容器外部 或在其内部喷吹被检件。如不具备气源时也可使被检件静置， 以便去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。 C、 检漏过程则是将净化后的被检件放人真空室内，将检漏 仪与真空室相连接后进行检漏。
流时，漏孔对空气的漏率qL可用下式近似估算：
qL
1 d3n(
6
p02
pgp / t
难以确定漏孔的位置，判断也不容易，实用性差。
2、辅助真空罩法： 辅助真空罩法是一种能够很好地区别被检件中漏气和放气的
静态升压法。该法借助一个辅助真空罩，组成如图所示的测试系 统。
内部抽真空后再关闭阀2，在△t内测的压力增长值△P1。再 将辅助真空罩罩在被检件外并密封好，然后将辅助真空罩 内抽真空到与被检件内部相同的压力，再次对被检件内部 抽真空后封闭，在时间间隔△t 内测得另一个压力增长值 △P2，这是单纯由被检件内部故气所引起的压力增长值。 那么系统的漏率为：
（2）真空检漏法：
真空检漏法是将被检的真空容器或真空系统与检漏仪器的敏感 元件抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在被检容器或系统外 面的可疑部位。如果被检的容器或系统存在漏孔，示漏物质(如氦 气）不但会通过漏孔进入到容器或系统中去，同时也会进入到检漏 仪器的敏感元件所在的空间中去，从而通过敏感元件检测出示漏物 质，借以判断出漏孔存在的位置和大小。下表给出了真空检漏法中 所采用的各种检漏方法及其特点和它所能达到的最小可检漏率。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。
如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空检漏方案
真空检漏方案下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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②抽真空：连接真空泵，对系统进行抽真空处理，直至达到预定真空度，通常远低于工作真空范围，以暴露微小漏点。
③保压监测：停止抽真空，保持系统真空状态，观察真空表或使用真空计持续监测真空度变化，记录时间-真空度曲线。
④氦质谱检测（如有条件）：注入少量氦气或使用氦气喷枪扫描可疑区域，利用氦质谱检漏仪检测氦气浓度，精准定位漏点。
⑤压力变化分析：根据真空保持时间内的压力下降速率，判断是否存在漏点及其大致泄漏率，快速泄漏需立即查找，缓慢泄漏可延长监测时间。
⑥漏点标识与记录：发现漏点后，使用标记笔或标签进行标注，记录漏点位置、漏率大小，为后续维修提供依据。
⑦重复检测：对已修复的部位重新进行抽真空及检漏，直至确认无漏点存在。
⑧恢复系统：完成全部检漏并确认合格后，缓慢向系统充入工作介质，恢复至正常工作状态，检查有无异常。
⑨总结报告：整理检漏过程数据，编写检漏报告，总结漏点原因及修复措施，提出预防建议。
真空衰减法检漏
真空衰减法检漏
真空衰减法是一种检测容器或管道中气体泄漏的方法。
它是通过将容器或管道内的空气抽空，然后观察真空度的变化来检测泄漏的存在和程度。
具体操作步骤如下：
1.将容器或管道连接到真空泵系统中，使用泵将内部空气抽出，直至达到所需真空度。
2.关闭真空泵和容器或管道之间的连接，然后等待一段时间以观察真空度是否保持不变。
如果真空度下降，则说明存在泄漏。
3.根据所使用的真空度和泵吸取空气的时间，可以估算泄漏速率，从而找出泄漏点。
4.修复泄漏并重新进行测试，直至可以确认不再泄漏。
真空衰减法的优点是简单易行，能够检测到微小的泄漏，并且不会对测试物品造成损害。
缺点是需要专业的测试设备和技术，以及一定的测试时间，不能用于检测液体泄漏。
真空检漏概述
8放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示出来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。
9慢性气体的加速检漏法——将管子置于高压的氩气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。
②真空检漏法——将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法——有三个步骤：充压，净化，检漏。
二：各种检漏方法
1静态升压法——把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。
一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法——可以排除放气的干扰；②压力平衡法——可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。
电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统，它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。
③氦质谱检漏仪的灵敏度：对于氦质谱检漏仪有三种灵敏度——漏率灵敏度，记作 ；分压比灵敏度，记作 ；检漏灵敏度，氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作 。当氦质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。
2气泡检漏法——在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法——适用于小型器件；②皂膜法——适用于尺寸较大的器件。
3氨气检漏法——把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理——贴显影带——充氨——排氨。
真空测漏箱对容器罐瓶的三大检漏方法
真空测漏箱对容器罐瓶的三大检漏方法容器罐瓶是很多生产企业的必备产品，其密封性是保证产品质量的关键因素。
但是，由于制造材料和加工技术的影响，容器罐瓶的密封性并不总是完美的。
为了保证产品不泄漏，企业需要对容器罐瓶进行严格的检漏。
其中，真空测漏箱是一种广泛使用的检漏设备，下面介绍真空测漏箱对容器罐瓶的三大检漏方法。
1. 压力差法检测压力差法检测是利用真空测漏箱的压力变化来检测容器罐瓶的泄漏情况。
实在操作步骤如下：1.把装满气体的容器罐瓶放入真空测漏箱内。
2.将真空泵打开，抽取内部气体，制造真空。
3.等待一段时间，让压力稳定下来，记录下此时的压力值P1、4.在真空箱上开启有氦气泄漏检测器的进气口，让氦气均匀地喷洒到容器罐瓶的外表面上。
5.当氦气深入容器罐瓶中，假如容器罐瓶存在泄漏，氦气会流入真空箱中，导致真空箱内部氦气浓度上升。
检漏仪器会适时探测到氦气，记录下此时的压力值P2、6.计算差压ΔP=P1—P2、假如ΔP超过了运行的公差范围，则表示容器罐瓶存在泄漏。
通过这种方法进行检漏可以对容器罐瓶的中空和密封进行全面的检测，精度高，牢靠性强，但需要较长的测试时间。
2. 欧拉法检测欧拉法检测是通过容器罐瓶内的气体流动来检测容器罐瓶的泄漏情况。
实在操作步骤如下：1.将装有确定气体压力的容器罐瓶放入真空测漏箱内，利用泄漏检漏器连接容器罐瓶，将容器罐瓶与真空泵相连接。
2.利用真空泵抽气，掌控容器罐瓶内的压力部分真空化，将容器罐瓶内的气体负压。
3.在特定的时间内，容器罐瓶内的气体会逆流穿过泄漏孔，被检测器探测到。
4.记录检测试验结果，并进行数据分析。
若测试结果达到标准，说明容器罐瓶正常，没有泄漏。
欧拉法检测的实时性较高，测试时间短，一般10～15秒即可完成一次检测，但只适应于小容量容器罐瓶的检测。
3. 硅膜法检测硅膜法检测是一种更加灵敏的检测方法，可以检测出更小的泄漏缺陷。
实在操作步骤如下：1.将装有确定气体压力的容器罐瓶放入真空测漏箱内，利用泄漏检漏器连接容器罐瓶，将容器罐瓶与真空泵相连接。
真空技术真空设备的检漏方法选择
真空技术真空设备的检漏方法选择真空技术是指在一个封闭的空间内，将压力降至低于大气压的状态下进行实验或加工制造的一种工艺。
在真空技术中，保持设备封闭和稳定的真空状态非常重要。
因此，选择合适的检漏方法是确保真空设备正常运行的关键。
常用的真空设备的检漏方法主要有以下几种：1.比较法：比较法是指将待检设备与已知正常的参考设备进行对比。
常用的比较法包括浸泡法和测漏仪法。
-浸泡法：将设备放置在相同密封条件下的液体中，观察是否有气泡产生。
当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量和冒出位置来检测漏点。
-测漏仪法：使用专业的测漏仪器进行检测。
常用的测漏仪包括氦气质谱仪和气泵测漏仪。
氦气质谱仪是目前最常用的检漏仪器，它使氦气充入设备中，然后使用质谱仪检测设备外部是否有泄漏的氦气。
2.物理法：物理法是指通过物理性质的变化来检测漏点。
常用的物理法包括泡沫法和红外法。
-泡沫法：在待检设备上覆盖一层泡沫液体，并观察是否有气泡生成。
当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量和冒出位置来检测漏点。
-红外法：使用红外检测仪来检测设备外部的热点。
当设备有漏气时，漏出的气体会导致周围温度变化，红外检测仪可以通过检测温度变化来确定漏点位置。
3.质谱法：质谱法是指使用质谱仪来检测漏点。
常用的质谱法包括速度导向调谐仪和质谱单元法。
-速度导向调谐仪：该方法使用氦气注入设备，并利用调谐器检测氦气流速，当气体泄漏时，氦气流速会发生变化，通过检测这种变化来确定漏点的位置。
-质谱单元法：该方法使用质谱仪来检测漏点。
质谱单元会检测气体中的杂质，当设备有漏气时，漏出的气体会导致杂质浓度变化，质谱单元可以通过检测杂质浓度的变化来确定漏点位置。
选择合适的检漏方法需要考虑以下几个因素：1.设备的要求：不同的真空设备对检漏方法的要求不同，需要根据设备的特点选择合适的方法。
例如，一些设备对泄漏的最小值有严格的要求，可以选择敏感度高的测漏仪器。
真空炉如何测漏？
真空炉如何测漏？真空炉的泄漏检测主要采用两种方法：喷吹法和吸嘴法。
喷吹法是传统的泄漏检测方法，它是将炉膛抽成真空，并在炉外施加氦气(比如连接氦质谱仪)，然后观察结果。
另一种方法是吸嘴检测法，适用于您的检测对象不能抽真空的情况。
采用该方法时，需要将一种示漏气体(比如氦气)充入被检测对象。
被检测对象的例子包括换热器、水冷法兰、水冷风机和轴、电馈通、水套等。
当被检测对象充入示漏气体后，使用传感器检查其外部是否有任何气体漏出。
氦质谱仪也可用于这种检测方法。
惰性气体的泄漏检测也很重要。
这是因为，整个回充系统——从液态气体储存系统直到真空炉——的泄漏率必须为零。
如果惰性气体从供气系统或者炉体上的气阀漏出，会使真空炉表现出抽气效果差、密封性差、极限真空度差、难以排出正常释气、返流等错误的迹象。
惰性气体泄漏也有两种常用的检测方法，分别是薄膜(皂泡)检漏和真空检漏。
一般来说，薄膜检漏法是最容易和最快的高压惰性气体泄漏检测法。
它是在已知的可疑区域喷涂某种示漏液体，如果在任何检查部位产生了气泡，就能知道发现了一处泄漏。
真空检漏是更精确的方法。
它是将液氮或液氩储存系统与真空炉脱离，确保整个系统处于真空状态，然后使用氦质谱仪检查系统的泄漏情况。
在进行真空检漏时，应当：1.关闭外部气阀，以使外部液态气体系统与蒸发器、回充储罐、真空炉以及所有配套的减压和回充管路脱开。
2.使用真空炉的正常抽气系统对炉膛进行抽真空操作。
3.对回充储罐进行减压操作。
4.对炉体上的回充阀人工送电以将其打开。
这步操作应由有经验的专家按照安全规定来执行。
一旦打开回充阀和将回充储罐减压到大气压水平，真空炉就开始抽除管路中的气体。
从气体储罐和蒸发器直到关闭的外部气阀，其中的气体都将被抽除。
然后，可以使用真空炉的抽气系统对整个回充系统进行抽气，使整套系统都达到真空状态。
接下来，应当使用氦质谱仪对系统进行泄漏检测。
当完成了真空炉和惰性气体的全部泄漏检测后，必须逐个消除每一处泄漏。
真空管道负压测试漏点方法
真空管道负压测试漏点方法
真空管道负压测试漏点方法主要包括以下步骤：
1. 封闭待测管道系统，一端与氦气测漏仪连接。
2. 按照氦气测漏仪的使用方法操作，使待测管道系统抽气至目标测试真空度。
3. 向管道系统由上而下对欲测点喷氦气，观察测漏仪的反应（指针指示或警报）。
若某一处显示泄漏，为了再次确认，可用真空封土糊于其上再重复测试。
此外，需要注意的是，在制造负压时应注意负压的大小，不要过大或过小，以免影响检测结果。
以上信息仅供参考，如需获取更多详细信息，建议咨询专业工程师。
真空检漏操作规程
真空检漏操作规程真空检漏是一项关键的质量检测工作，用于检测真空系统中是否存在漏气现象。
下面是一份真空检漏操作规程，供您参考。
一、操作准备1. 预先准备好所需的检漏仪器和设备，包括真空泵、检漏仪、检漏剂等。
2. 确保检漏仪器和设备处于良好的工作状态，检查其电源是否正常，仪表是否准确。
3. 准备好操作手册、相关图纸和技术参数作为参考。
二、检漏前的准备工作1. 建立一个相关的安全检测区域，确保操作环境安全，预防意外事故的发生。
2. 根据实际需要，确定检漏的时间、地点和安全措施。
3. 进行相关的工艺流程、系统介绍和操作要求的培训。
三、检漏操作步骤1. 关闭真空系统中的所有阀门，确保系统完全隔离。
2. 连接真空泵和漏气检测仪器，确保连接密封可靠。
3. 启动真空泵，排空真空系统，确保真空系统处于良好的排气状态。
4. 将检漏剂喷洒或注入到系统中，并按照仪器操作手册的要求，选择适当的检测方式。
5. 缓慢打开系统中的阀门，使之逐步进入真空状态。
6. 检查仪器显示的压力变化情况，并观察是否有泄漏现象。
7. 对检漏仪器进行校准，并进行零点调整，确保检测结果的准确性。
8. 对系统中的所有接头、阀门、管路等进行逐一检查，寻找潜在的漏气源。
9. 对发现的漏气点进行标记，并根据需要，进行必要的修补和更换。
10. 测试完毕后，关闭真空泵和检漏仪，切断电源。
四、检漏操作注意事项1. 检漏操作需要有经验的技术人员进行，并进行必要的培训和指导。
2. 操作人员需要佩戴个人防护装备，如手套、工作服等，确保人身安全。
3. 检漏操作需要严格按照标准程序进行，不得随意更改操作步骤。
4. 在操作过程中，要注意避免对系统造成不必要的损坏，严禁敲打和碰撞真空设备。
5. 在检漏过程中，要保持操作环境的整洁，确保工作台面干净，避免杂物进入系统。
6. 检漏操作结束后，要及时清理和维护检漏仪器和设备，确保其正常和可靠的工作状态。
五、检漏操作结果处理1. 对于发现的漏气点，要及时记录并报告相关部门，并采取相应的措施进行修复。
真空检漏原理
真空检漏原理
真空检漏是指在一定的真空度下，通过检测被测物体的气密性能，以确定其是
否存在漏气现象的一种检测方法。
在工程领域中，真空检漏被广泛应用于航空航天、汽车制造、船舶制造、电子设备、医疗器械等行业。
下面将介绍真空检漏的原理和常见的检测方法。
首先，我们来了解一下真空检漏的原理。
真空检漏的原理是利用被测物体内部
的气体与外部的真空系统之间的气体流动来检测被测物体的漏气情况。
在真空系统中，被测物体内部的气体会通过漏洞或裂缝逸出到外部环境中，这种气体流动会导致真空系统内部的气压发生变化。
通过检测气压的变化，就可以确定被测物体是否存在漏气现象。
其次，我们来介绍一些常见的真空检漏方法。
真空检漏方法主要包括质谱检漏法、氦质谱检漏法、氦充入法和泡沫检漏法等。
其中，质谱检漏法是利用质谱仪对被测物体进行检测，通过检测气体分子的质量来确定漏气点的位置。
氦质谱检漏法是在被测物体内充入氦气，然后利用质谱仪检测氦气的流动情况，以确定漏气点的位置。
氦充入法是将被测物体充入氦气，然后利用氦气检测仪对漏气进行检测。
泡沫检漏法是将被测物体表面涂覆一层泡沫，通过观察泡沫的气泡情况来确定漏气点的位置。
总的来说，真空检漏是一种非常重要的检测方法，它可以帮助我们及时发现被
测物体的漏气问题，从而保障产品的质量和安全性。
在实际应用中，我们需要根据被测物体的特点和检测要求选择合适的检漏方法，并严格按照操作规程进行检测操作，以确保检测结果的准确性和可靠性。
希望本文可以帮助大家更好地了解真空检漏的原理和方法，为工程实践提供一定的参考价值。
真空系统检漏方法
真空系统检漏方法嘿，朋友们！今天咱就来好好唠唠真空系统检漏方法。
你说这真空系统啊，就好比一个密封的大箱子，要是有个小孔啥的，那可就麻烦啦！就像你家的米袋子要是有个小洞，那米不就哗哗往外跑嘛！那咱咋知道这真空系统有没有漏呢？这就有好多招啦！比如说，咱可以用个最简单的法子，就像你找东西一样，仔细瞅瞅，看看有没有啥异常的地方，比如有没有滋滋响的声音啊，或者有没有啥地方感觉不太对劲。
这就叫直观检漏法，虽然简单，可有时候还真挺管用呢！还有一种方法叫压力检漏法。
这就好比你给气球打气，要是有个小洞，那气不就漏得快嘛！咱就通过观察压力的变化来判断有没有漏。
你想想，要是压力老是上不去，或者掉得特别快，那是不是很有可能有漏的地方呀！再说说氦质谱检漏法，这可是个厉害的家伙！氦气就像个小侦探，能帮咱找到那些小小的漏洞。
咱把氦气放进去，然后用专门的仪器去检测，一旦发现氦气跑出来了，嘿嘿，那就说明找到漏点啦！这就好像警察抓小偷，一抓一个准儿！还有一种叫真空检漏法，这就像是在黑暗中找萤火虫，虽然有点难，但只要你有耐心，还是能发现那些一闪一闪的小亮点的。
通过检测真空度的变化，来推断有没有漏。
那咱在检漏的时候可得注意啦！不能马虎大意，得像个细心的侦探一样，不放过任何一个蛛丝马迹。
你想想，要是漏点没找到，那以后可就麻烦大啦！就像你出门没带钥匙，那不得急死呀！而且啊，咱还得选对方法。
不同的真空系统可能适合不同的检漏方法，就跟治病一样，得对症下药。
可不能瞎搞一通，不然不仅找不到问题，还可能把系统给搞坏了呢！另外，操作的时候也得小心谨慎，别一不小心把系统给碰坏了或者弄脏了。
这可都是宝贝呀，得好好爱护！总之呢，真空系统检漏可不是个简单的事儿，但只要咱用心去做，用对方法，肯定能把那些漏点都给揪出来！让咱的真空系统稳稳当当的，不出一点儿差错！这就是咱要努力做到的，大家说是不是呀！原创不易，请尊重原创，谢谢!。
四极质谱计的真空检漏方法和过程
书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
四极质谱计的真空检漏方法和过程
四极质谱计工作参数的调节
四极质谱计的工作参数很多,在不同的参数设置下, 四极质谱计有不同的的性能。
例如, 最佳线性、最佳稳定性、最佳灵敏度等。
作为检漏仪器, 应使四极质谱计具有较高的灵敏度, 在这样的前提下, 可对四极质谱计做如下调整(以瑞士balzers 公司生产的QMS422 四极质谱计为例) 。
①二次电子倍增器(SEM)电压取1400V,可适当增大至2500V;
②发射电流取1mA,可调节至2mA;
③分辨率取25 (仪器离子源参数, 非通常意义的分辨率) ;
④阴极电压取100V;
⑤聚焦电压取20 V。
其中, 发射电流的提高可以以近似线性的幅度提高四极质谱计的灵敏度, 是调节四极质谱计灵敏度的主要手段。
进行超高/极高真空系统检漏时, 为提高四极质谱计的稳定性、减小自身放气、消除记忆效应, 应对之进行烘烤, 烘烤温度150℃, 烘烤时间12h(可根据需要调整)。
确定是否有漏孔和漏孔位置
可以使用两种方法判断真空容器是否有漏孔,即残气成分分析和使用示漏气体检漏。
通过分析残余气体的质谱图来确定是否有漏孔的方法如下:
①用四极质谱计在1～50amu 的质量范围内进行模拟谱扫描, 假如N2、O2 两种气体的峰高比大约为4∶1, 而且还存在Ar 峰, 则系统有漏。
②对于选择性抽气系统(对惰性气体抽速极小),假如系统的剩余气体主峰是Ar,而不是N2,则系统有漏。
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真空检漏方法
真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。
在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。
本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。
1. 毛细管测量法
毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。
此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。
该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。
2. 红外检测法
红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。
不适用于空气、氮气等无机气体的检测。
3. 热模反应法
热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。
该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。
4. 电离检测法
电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。
该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。
5. 质谱检测法
质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。
此方法非常适用于检测裂解气体。
6. 超声波检测法
超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。
此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。
7. 气泡法
气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。
8. 空气泄漏检测法
空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。
该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。
9. 低压检测法
低压检测法是一种利用负压来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于检测低压系统的泄漏。
该方法需要大量的设备和人力。
10. 总量检测法
总量检测法是一种利用气体浓度变化来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于气体排放监测。
以上是10种常见的真空检漏方法。
选择合适的真空检漏方法取决于具体的应用场景和要求。
在实际应用中，可以根据设备和技术的特点来进行选择。
综合考虑方法的灵敏度、精度、易用性和成本等因素，来制定最佳的检测方案，确保系统的正常运行和安全。