真空镀膜设备系统的安装和使用

着填答的方框，久久不能下笔，一番迷惘过后，趴在桌子
3 橡皮封口和金属零件表面不得有伤痕，安
装时避免划伤。
二、使用 真空镀膜设备系统的使用与维护不能马虎。
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首先要有好的环境：室内温 10-30oC，相对湿度
不大于 65%，冷却水进水温度不超过 25oC，电源 的电压允许波动范围±10%,。还要根据真
真空镀膜设备系统的安装和使用 1 讲究真空卫生
从事真空操作的车间应当保持清洁的环境。
对要装配的组件和材料必须认真地进行清洁处 理。如果没有处理好，带到系统内的污物将成为
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放气源，给执真空带来困难。 装时应采用抽气和找漏相结合的方法
现以扩散泵机械泵系统为例，加以说明。首
真空时很可能达不到要求的真空度。这时可以反
复的作二、三次放气和抽真空，使各组件和泵油 充分的脱气。如果第三次抽气时真空度仍达不到
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要求，就说明该系统可能漏气了。 东
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空系统的实际情况制定合理的操作规程。第一次
使用时要对所有的零部件进行擦洗和烘烤，检查 电源线路是否正常，电源电压是否符合要求。检
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查各组件如机械泵、扩散泵、阀门是否正常，第
一次使用时可能因长期搁置，真空系统中各组件 表面和泵油吸附很多水蒸汽和各种气体，所以抽
先装好机械泵，抽气后达到要求的真空度再装扩 散泵并抽空检查，符合扩散泵真空度的要求后才
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安装被抽容器。决不能把很多真空元件不经检
查，一次安装完毕。否则，一旦发生漏气，找漏 孔就会十分困难。假如系统安装后仍产生漏气，
则要采用分段检漏方法按图 1 所示，将检漏仪器
5 安装在靠近机械泵 6 的位置上，在阀门 2.4 关 闭的情况下，检漏仪器 5 可检查低真空系统的漏
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气情况。假如这部分不漏气或已把漏孔堵死，则
可打开阀门 4 检查扩散泵部分有没有漏气，最后 打开阀门 2 检查被抽容器有没有漏气。这种方法
比较简单易行而且节省时间。 真空镀膜设备系统分段检漏示意图