镀膜机操作步骤
镀膜机操作说明书
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
镀膜机操作步骤
镀膜机操作步骤注意：1.清洗前，看片子是否短路，是否大小与样品托合适，蒸镀时放样品托的架子升最高，且旋转。
2.打开电流开关，及时打开ABC舟中一个，打开束源炉，及时打开其中一个启动A、B等。
3.掺杂材料用量覆盖舟底即可。
操作步骤：1、打开总开关，包括冷却水开关和机器开关。
2、打开镀膜机总开关，样品旋转开关，升降开关按钮。
3、将玻璃基板至于样品托中，导电一面向下。
4、蒸镀室、预处理室放气。
5、打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向关，逆时针方向开），推拉杆推至大真空室中，将样品放到推拉杆上，将推拉杆拉回至预处理中。
关闭闸板阀（顺时关闭，逆时针开）6、打开快门控制电源，打开快门一，更换钨丝（每做一次实验更换一次），将铝丝挂在钨丝上（5个，挂于弯折处），检查蒸镀所需材料。
7、将掩膜版放置于掩膜版架上。
8、打开机械A、机械B泵。
打开四个真空计，关闭放气阀。
9、基片预处理（打开角阀）：当处理室真空度达到4.0E1 (4.0×10)Pa 时关闭预角阀，打开大真空室角阀，再打开紫外轰击电源（直流溅射电源），调节电流0.025-0.030A。
轰击10-15分钟（等预处理室与蒸镀室气压平衡，打开闸板）。
10、插入样品托：再次打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向开，逆时针方向关），将样品传送至蒸镀室，用机械手抓取样品托，并保持在机械手上；然后将将推拉杆拉回至预处理中，关闭闸板阀；降低蒸镀台（注意样品托挡板位置）与机械手平齐，将样品托轻轻推入蒸镀台下方的样品托导引槽（上方导引槽）。
11、插入掩模板：将样品升降电源调到手动，将蒸镀台旋转180度（用皮带精确定位），用升降盒使蒸镀台最下方的掩模板导引槽与掩膜版库轨道，至于同一水平线上，用机械手将掩膜版轻轻推至蒸镀台的掩模板导引槽。
12、当大真空室的压强为1.2E1的时候，关闭角阀，打开闸板阀。
13、关闭机械泵A，升起样品台。
14、打开分子泵。
抽到6.0-6.5E-4（大概需要两个小时）。
镀膜机安全技术操作规程（三篇）
镀膜机安全技术操作规程镀膜机是一种常用的表面涂覆设备，用于给物体表面增加一层薄膜，提高其耐磨、防腐蚀等性能。
由于涉及到化学物品和高温等危险因素，因此在操作镀膜机时必须严格遵守安全技术操作规程，以确保操作人员和设备的安全。
以下是镀膜机的安全技术操作规程，共计2000字。
一、使用前的准备工作1.操作人员必须接受相关的安全培训和操作指导，熟悉设备的结构和工作原理。
2.检查设备的各个部位，如输送带、喷涂系统、加热系统等，确保其正常运行，并进行必要的维护和保养。
3.确认所有的安全设施完好，如安全门、安全防护网、紧急停机按钮等。
二、穿戴个人防护装备1.操作人员必须穿戴适当的个人防护装备，如安全帽、安全鞋、护目镜、防护手套等。
2.针对具体镀膜材料和工艺，选择合适的防护服和口罩。
三、操作过程中的安全控制1.在操作镀膜机前，必须确保操作区域的绝对干燥，以避免与湿气产生反应或发生事故。
2.严禁在操作过程中穿插其他人员或随意接近设备。
3.确保机器运行稳定后再进行下一步操作，以免因异常造成安全事故。
4.操作人员必须时刻关注设备运行状态，发现异常情况及时采取应急措施，如关闭设备、紧急停机等。
5.禁止在操作过程中使用手机等与操作无关的电子设备。
6.严禁将任何非操作材料放入喷涂系统，以避免发生化学反应或堵塞设备。
四、应急措施和事故处理1.设备操作过程中，如发现异常燃烧、爆炸或其他突发事故，应第一时间切断电源，并立即报警和呼叫专业人员进行应急处理。
2.若发生泄漏、溢出等事故，应密切关注涉及范围的浓度是否达到爆炸或有毒的程度，确保工作区域的人员安全，及时进行清理和处理。
3.在事故处理中，操作人员必须穿戴好个人防护装备，并按照应急预案进行处置，有条件的情况下可启动应急喷淋系统或其他应急设备。
五、日常维护和保养1.设备日常维护和保养必须由专业人员进行，如定期检查设备运行情况、清理设备内部、更换易损件等。
2.定期组织设备的安全检查和保养记录，及时处理设备的故障和隐患，确保设备的正常运行和使用安全。
真空镀膜机操作规程
真空镀膜机操作规程真空镀膜机是一种高精度的设备，操作规程的合理执行可以确保设备的正常运行并保证产品的质量。
下面是一份真空镀膜机的操作规程，供参考：一、操作前准备1. 检查设备的电源和附属设施，确保运行环境安全正常。
2. 检查真空镀膜机内部是否有异物或污染物，清洁设备确保表面干净。
二、设备开启与调试1. 打开设备的电源，并按照操作手册正确操作所有开关与按钮，确保设备的正常运行。
2. 设备初次开启或长时间未使用后，需打开辅助泵进行抽真空，待真空度达到标准值后再进行下一步操作。
3. 真空镀膜机应设有校准装置，操作人员应根据实际需要进行相应的校准，确保设备的稳定性和精度。
三、样品处理与准备1. 将待镀膜的样品放置在有效位置，确保样品的平整，并避免样品之间的碰撞。
2. 样品表面应清洁干净，不存在污染和油渍，否则会影响镀膜质量。
四、真空镀膜操作1. 打开样品舱门，将样品放置在样品架上，确保样品与样品架之间没有杂质。
2. 关闭样品舱门，设定镀膜参数，如镀膜材料、镀膜时间、镀膜温度、反应气体等。
3. 执行真空镀膜程序，按照操作手册的步骤进行操作，确保每一个程序的稳定运行。
4. 在镀膜过程中，操作人员应经常观察反应室内的状态，如真空度、压力、温度等参数，并及时调整。
5. 镀膜结束后，将样品从样品架上取下，放置在准备好的容器中，注意避免样品与其他物体接触，避免污染。
五、设备关闭与清洁1. 关闭设备的各个开关和电源，确保设备停止运行。
2. 清洁设备内部，包括反应室和样品架，确保设备内部干净整洁。
3. 清洁设备外部，特别是控制面板和触摸屏，避免灰尘或污渍附着在上面。
4. 检查设备的附属设施，如冷却系统，确保其正常运行。
六、操作注意事项1. 操作人员应穿戴好相应的防护用品，如手套、口罩、护目镜等，确保工作安全。
2. 镀膜材料和反应气体应储存妥善，避免与火源、高温、湿度等有害物质接触。
3. 真空镀膜机应定期进行维护保养，如更换密封圈、清洁真空管道、校准仪器等。
真空镀膜机操作程序
真空镀膜机操作程序①检查镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。
②打开总电源开关，设备送电。
③低压阀拉出。
开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。
④安装固定钨螺旋加热子。
把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。
把铝丝穿放在螺旋加热子内。
清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。
⑤落下钟罩。
⑥启动抽真空机械泵。
⑦开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。
a 、左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
b 、低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6、7Pa时，低压阀推入。
这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑨开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。
⑩低压阀拉出。
重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。
低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6、7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。
⑪等低真空表“2”内指针右移动至0、1Pa时，开规管灯丝开关。
a 、发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
b 、左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑫旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。
⑬发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。
⑭旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。
⑮发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。
⑯旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。
⑰旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
⑱当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6、7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。
⑲开蒸发钮开关。
把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、2、3、4孔，可插入任意一孔）。
镀膜机操作规程
镀膜机操作规程RDBL/WJ-7.5.1-011概述:本指导书对镀膜机的起动、生产、关机及进气的操作做了比较具体的规定，用以指导微机岗工艺控制员对镀膜机的操作；2 适用范围: 镀膜机的操作3 操作步骤:3.1设备起动3.1.1 说明:设备起动即为生产做准备，包括真空泵的起动及各仓室抽气到工作压力。
各起动步骤可在自动和手动方式下实现。
3.1.2 设备准备:a 检查下列单元的可靠性：真空泵的油位（应保持2/3的油位）、阴极冷却水白罐应保持一半以上的水位；外循环泵供水泵开启，且供水压力值在0.5～0.75Mpa范围内，供水温度＜30℃；压缩空气（压力值在0.6～0.8Mpa）；b 开设备总电源开关、开启PLC；c 检查PLC中央控制器及扩展单元的缓冲寄存装置电池，此电池只能由受过培训的人员更换，更换电池前应开启电源，如电源已关，应在外部电池插孔中接入一外部电源（电压3.4V）；d 按“急停复位”按钮；e 检查信号灯（所有信号灯必须亮）f 开启温控单元，水压0.4 ～0.7MPa, 水温40℃；g 开启下列真空测量仪:TM210S、IM110D、IM210，其中IM110D、IM210要在传输室TM210S显示值小于5×10-2mbar时才能开启。
h 手动方式下的起动过程见第3节，自动方式下起动过程见第4节3.1.3 手动方式下起动3.1.3.1 在大气压状态（1bar）下起动此方式只用于维修、维护或换靶后设备进大气的情况下。
a 开启“手动方式”；b 关入口室锁阀, 开传输室１的锁阀；c 开启各室的泵单元及过渡抽气的泵单元；d 入口室开始抽气；e 溅射室通过入口室抽气, 等待溅射室压力小于或等于8×10-2mbar,溅射室开始抽气, 起动分子泵并升速到额定速度。
f 分子泵进入正常工作, 关闭传输室１的锁阀；g 进入“生产”一节3.1.3.2 溅射室P＝30mbar...1bar时的起动溅射室压力在P＝30mbar...1bar之间，不能直接开始抽气，长时间停机后，溅射室内的压力可能会有一定的升高，检测设备泄漏率，并与标准值比较(见“维护”一章中“真空检测”一节)如实际值与标准值有较大差值，应进行检漏。
镀膜机操作顺序
Duroch-1100镀膜机操作顺序
接通外部电源→先开空压机、冷水机→打开清洗机镀膜机电源→点击自动操作→输入密码→点击自动操作→上班开机→预热完成后→打开柜门、挂上零件，关门→打开氮气开关→点击自动操作→选择钛（保持架）或铬（内外圈，滚子）→点击运行→镀膜→停机到计时→停机到计时变绿并放气→完成一次镀膜过程→打开柜门、取出零件→关闭真空室大门→按返回键→下班关机→关机倒计时→关机倒计时结束后关闭空压机、冷水机→关闭电源
注意事项：
1、开机前必须检查冷却水路无泄露，冷水机去离子水足够。
2、开机前一定要检查泵组中各泵的润滑油是否达到规定值；
3、气瓶气压是否足够；
4、真空系统密封情况是否良好：
5、沉积室内部清理干净，观察窗玻璃保持干净；
6、弧电源，离子源冷却风扇是否正常工作。
7、轴承零件在装卡时必须带手套、口罩，并注意轴承零件间距。
8、轴承零件装卡后必须先旋转转架，防止装卡不合适，无法正常旋转转架。
镀膜设备操作规程
镀膜设备操作规程镀膜设备操作规程一、镀膜线旋转A型架操作1、操作1.1、开机：上下片台旋转A型架的电源取自上下片台相应的急停开关后，当上下片台正常工作时，合上旋转A型架控制箱内的空气开关，上下片台旋转A型架即可得电工作。
1.2、A型架选择：旋动A型架控制柜上的A型架选择旋钮，选择1号架和2号架，则选定的A型架可以工作。
下片台A 型架控制箱，此旋钮只有一个有效位置。
1.3、前进后退：按动A型架控制柜上的相应按钮，1号架或2号架就会相应地向南或向北移动。
松开按钮，A型架会缓慢停止。
当A 型架移动到限位时，A型架会自动停止。
1.4、对位：当A型架运动到限位时，只能退回，不能继续前进。
如果位置不对，将A型架返回，再次无停顿地前行至自然停止即可。
当A型架运动到装卸位时，HEGLA操作屏上相应的A型架到位（rack in position）灯点亮，表明A型架确实到位，可以进行上片操作。
1.5、当上下片台机械手在对A型架进行取片的过程中，不可移动该A型架。
1.6、强行：强行按钮只在维修时使用。
1.7、关机：关闭控制箱中的空气开关；当上下片台关机时，A型架将自动关机。
2、注意事项2.1、A型架运动到装卸位并准备进行装卸时，必须将固定销销上。
2.2、移动A型架时必须注意观察A型架的实际位置，不要使A型架冲出限位。
2.3、在A型架上放置空箱时需要注意：2.3.1 A型架中部，即旋转部位，严禁垫放木块或其他支撑；2.3.2其他位置垫放支撑不得高于固定支撑；2.3.3检查空箱是否按照A型架固定支撑的位置垫放马粪纸；2.3.4移动过程中，必须保持A型架AB面固定，插上插销后方可进行。
二、镀膜线上片台操作1、开机首先将电源柜主电源开关（MAIN SWITCH）旋转到1位，然后按下电源控制启动按钮（CONTROL POWER ON）。
此时电源柜顶部左侧红色指示灯不停地闪，大约一分钟后，红色指示灯熄灭，电源柜顶部右侧和操作控制台的红色和绿色指示灯同时亮，按下复位键（RESET EMO），红色指示灯熄灭，绿色指示灯仍亮，显示进入自动控制状态（如果电源柜顶部右侧和操作控制台的红色指示灯熄灭，而黄色指示灯仍亮，说明进入手动状态）。
镀膜机操作规程
镀膜机操作步骤
开机的程序: 开水,开气,开电源,开冷阱→开机械泵→开预阀→开扩散泵→关预阀→开低阀.(抽几分钟)
蒸镀前:
开放气→开室门清理真空室→旋转坩埚→添加膜料→换比较片→装镜片上盘(保证镜片表面干净,并且要放平)→关闭室门→关放气→关预阀→开低阀→开工作电压为30ⅴ,烘烤电压为100ⅴ(此时扩散泵温度应为195度)→开复和真空计.当低真空到时(5.0Pa)→关低阀→开预阀→开高阀→开枪灯丝
熔料:
当高真空到时(7.0E-3)→确保束流为零,挡板关闭→开高压→先让灯丝聚焦的亮点在膜料中间→慢慢加束流(三氧化二铝220,氧化锆240,氟化镁60-70)→熔料后确保束流为零→关高压.
蒸镀:
确保控制波长,光控电源都正常,→把工作电压为调为100v,调节膜厚仪为膜料相应数值,旋转比较片,坩埚→先把膜料扫一遍(加热).找到亮点时确保束流合适开挡板(三氧化二铝220, 氧化锆240, 氟化镁30,)镀的过程中时刻监视膜厚仪的变化<跳动的幅度>跟点的位置.镀完后关束流为零,高压,挡板都关闭然关枪灯丝→后关工作电压,烘烤电压,→关高阀→关复合真空计→开放气阀(十分钟后).
关机:
关光路电源,关膜厚仪，关放气阀→开低阀(抽5-6分钟)→关低
阀.等扩散泵温度为130-135度时就可关预阀,关机械泵.→关冷阱,
关气,关总电源,关水,空压机,空气过滤机.
欧阳学标
2007/3/30。
真空镀膜机操作程序
真空镀膜机操作程序①检查镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。
②打开总电源开关，设备送电。
③低压阀拉出。
开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。
④安装固定钨螺旋加热子。
把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。
把铝丝穿放在螺旋加热子内。
清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。
⑤落下钟罩。
⑥启动抽真空机械泵。
⑦开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。
a 、左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
b 、低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6、7Pa时，低压阀推入。
这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑨开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。
⑩低压阀拉出。
重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。
低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6、7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。
⑪等低真空表“2”内指针右移动至0、1Pa时，开规管灯丝开关。
a 、发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
b 、左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑫旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。
⑬发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。
⑭旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。
⑮发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。
⑯旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。
⑰旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
⑱当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6、7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。
⑲开蒸发钮开关。
把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、2、3、4孔，可插入任意一孔）。
镀膜机安全技术操作规程
镀膜机安全技术操作规程一、前言镀膜机是现代化生产过程中的重要设备，通过镀膜工艺可以将一层或多层材料均匀地附着在基材上，提高产品的性能及外观。
但是，由于镀膜机是一种高温、高压、高速的设备，操作不当或不安全的因素容易导致设备事故或人员伤害。
为了保障操作人员的安全，保护设备的完整性，实现生产的安全稳定运行，本文将详细介绍镀膜机的操作规程及安全技术操作要点。
二、操作规程1.在操作镀膜机之前，操作人员必须穿戴好劳保用品，包括防毒面具、防护手套、防护鞋等，确保自身的安全，避免在操作中受伤。
2.在操作镀膜机之前，必须先检查设备是否正常运行，检查设备的电气线路、机修、气路等是否正常，确保设备处于良好的状态。
3.在开机之前，必须按照顺序先打开冷却水泵、真空泵、预热电源，等设备运转正常后再打开反应室、气缸阀门，实现设备的正常启动。
4.在操作镀膜机之前，应采用“两个人制”原则，即操作人员必须配备专业技术人员辅助，明确分工，确保操作的完整性和安全性。
5.为了保护设备的安全完整性，操作人员在操作过程中应避免触摸设备的旋转部件、插拔设备插头等危险动作，以免造成设备故障和人员伤害。
6.在出现紧急情况时，操作人员应立即停机，并通知相关领导和专业维修人员，寻求专业技术支持，确保操作的安全性。
三、安全技术操作要点1.防火(1) 镀膜机是一种高温设备，必须配备消防设备，并定期进行消防演习，确保设备长时间、安全地运行。
(2) 要加强火灾预防工作，对运行中的设备进行巡查，切勿随意乱堆物品，避免引发火灾。
2.防爆(1) 镀膜机是一种高温高压设备，要严格遵守防爆要求。
(2) 切勿在设备周围堆放易燃物品，以免引发爆炸。
3.防毒(1) 镀膜机需要使用钨丝、锆铁富锶等有毒化学试剂，操作人员必须佩戴防毒面具。
(2) 防毒面具要定期更换，切勿因为防护设备的老化而导致人员中毒。
4.防滑(1) 镀膜机的操作室地面要求平整、干燥，保证操作人员不会因为地面滑动而摔倒。
27镀膜机操作规程
C.确认离子源:依次按POWER、GAS、START ,当真空度到达5E-05Torr，离子源自动清洗基片，此时要求Ar的流量为12 Sccm，中和电流为9—10A。
D.镀前确认:观察O2和Ar的压力是否正常,把EB打到EXT档并且确认程序的号码并校对每个膜层厚度,并确认机台的每个组件都处于AUTO档。
F.镀膜结束:当镀膜最后一层完成后,把EB从EXT打到INT,机器自动按照设定的时间参数充气开门。
三．关机
镀膜结束后,将机台抽到高真空10-5Torr，选择MANU状态按MV OFF DP OFF此时POLY COLD的显示温度会上升等到POLY COLD的温度升到正的、DP的温度降到100度以下后，再将各个阀门和泵按“先开的后关”的原则逐步关闭,此时机器自动关机完成。下一步就是人工部分，具体步骤是开机的A，B，C三个部分依照“后开的先关”的原则逐一关闭。
D.装夹:上夹后需要确保每个夹具都装到位,若是要自动翻转的产品则要检查每个夹具是否能够安全翻转到位。
E.确认：确认无误后关门(经常要注意真空室门的密封圈是否干净,若不干净则用酒精乙醚擦干净后再涂点真空油),按下DOOR CLAMP 1PAGE FLOW AUTO RUN（若需要双面镀膜的则按2 PAGE FLOW AUTO RUN键。
真空镀膜机操作流程
真空镀膜机操作流程
一、准备工作。
1. 确认真空镀膜机的工作状态，检查设备是否完好。
2. 准备好需要镀膜的材料和目标物体。
3. 清洁目标物体表面，确保表面干净无尘。
二、开机操作。
1. 打开真空镀膜机的电源开关，待设备启动完成后进入下一步操作。
2. 启动真空泵，将系统抽真空至所需的工作压力。
三、镀膜操作。
1. 将待镀膜的材料放置在镀膜室内，注意安放位置和方向。
2. 打开镀膜室的加热系统，使其达到所需的温度。
3. 启动镀膜源，将镀膜材料加热至蒸发状态。
4. 控制镀膜源的蒸发速度和时间，确保均匀的镀膜层厚度。
5. 监控镀膜过程中的真空度和温度变化，及时调整参数以保证镀膜质量。
四、结束操作。
1. 关闭镀膜源和加热系统，停止镀膜操作。
2. 等待镀膜室内压力恢复至大气压，然后打开镀膜室门。
3. 将镀膜完成的物体取出，放置在通风处冷却。
4. 关闭真空泵和真空镀膜机的电源开关，完成操作。
五、清洁和维护。
1. 清洁镀膜室内表面和镀膜源，确保设备清洁。
2. 定期检查和维护真空镀膜机的各项部件，保证设备正常运转。
六、安全注意事项。
1. 在操作真空镀膜机时，要注意防止镀膜材料的挥发物对人体
的伤害，做好防护措施。
2. 注意设备的电气安全，避免触电和短路等事故发生。
3. 在操作过程中要严格遵守设备操作规程，确保人身和设备安全。
以上即是真空镀膜机的操作流程，希望能够对您的工作有所帮助。
如有任何疑问，请及时咨询设备厂家或专业人士。
镀膜操作规程
镀膜操作规程1. 引言本文档旨在规范镀膜操作流程，确保在镀膜过程中的安全性、可靠性和一致性。
镀膜操作是一项关键工艺，对最终产品的质量和性能至关重要。
遵循本规程的操作指导，有助于提高镀膜工艺的效率和稳定性。
2. 镀膜设备准备在进行镀膜操作前，需要对镀膜设备进行准备工作，包括设备的清洁、检查和调试。
具体步骤如下：1.清洁镀膜设备内外表面，确保无杂质和污垢。
2.检查各种管道和阀门的连接，确保正常运行。
3.调试设备，确保镀膜设备的各项参数符合要求。
3. 工作区准备进行镀膜操作前，需要对工作区进行准备，确保操作环境的安全和清洁。
具体步骤如下：1.清理工作区，保持无尘、无杂质的状态。
2.准备所需的工具和材料，放置在易于操作的位置。
3.确保操作区域的通风良好，并配备必要的防护设施。
4. 镀膜材料准备镀膜材料的准备是镀膜操作中的重要环节，确保所用材料的质量和稳定性。
具体步骤如下：1.检查镀膜材料的质量和数量，确保符合要求。
2.预先处理镀膜材料，如清洗、去氧化等。
3.根据镀膜工艺要求配制镀液，确保溶液浓度和比例符合要求。
5. 镀膜操作步骤按照以下步骤进行镀膜操作：1.将待镀膜物品放置在镀膜设备内，并正确安装和固定。
2.调整设备参数，如温度、压力、时间等，以满足镀膜工艺要求。
3.将预处理过的镀膜材料放入设备中，确保镀膜材料与待镀物品接触完全。
4.启动设备，开始镀膜过程。
根据工艺要求，控制镀膜时间和速度。
5.在镀膜过程中，不得随意开启设备或干扰镀膜操作，以免引起安全问题。
6.镀膜结束后，关闭设备并进行后续处理，如清洗、干燥等。
6. 镀膜操作注意事项在镀膜操作过程中，需注意以下事项：1.操作人员必须具备相关的镀膜操作知识和技能，严禁无经验者操作设备。
2.操作人员必须佩戴个人防护设备，如手套、防护眼镜等。
3.镀膜设备必须经过安全检查和维护，确保设备的正常运行。
4.镀膜材料的存放和使用必须按照相应规定，避免引起火灾和爆炸等危险情况。
(整理)镀膜机操作说明书
关机准备：
关扩散泵——（1h后）关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。
大纲要求关机操作说明：
(1)关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。
(2)自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会在15Min左右由程序自动完成至开门。
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
四、镀膜机的日常维护
（三）安全评价的内容和分类镀膜机常见问题排查：
（2）可能造成轻度环境影响的建设项目，编制环境影响报告表，对产生的环境影响进行分析或者专项评价；1.真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。
2.真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。
（4）化工、冶金、有色、建材、机械、轻工、纺织、烟草、商贸、军工、公路、水运、轨道交通、电力等行业的国家和省级重点建设项目；3.真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
1.筛选环境影响：环境影响被筛选为三大类，一类是被剔除、不再作任何评价分析的影响，如内部的、小的以及能被控抑的影响；另一类是需要作定性说明的影响，如那些大的但可能很不确定的影响；最后一类才是那些需要并且能够量化和货币化的影响。(3)镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。
镀膜机操作规程
镀膜机操作规程RDBL/WJ-7.5.1-011概述 : 本指导书对镀膜机的起动、生产、关机及进气的操作做了比较具体的规定，用以指导微机岗工艺控制员对镀膜机的操作；2适用范围 : 镀膜机的操作3操作步骤 :3.1设备起动3.1.1说明 : 设备起动即为生产做准备，包括真空泵的起动及各仓室抽气到工作压力。
各起动步骤可在自动和手动方式下实现。
3.1.2设备准备 :a 检查下列单元的可靠性：真空泵的油位（应保持 2/3 的油位）、阴极冷却水白罐应保持一半以上的水位；外循环泵供水泵开启，且供水压力值在0.5〜0.75Mpa范围内，供水温度v 30C ;压缩空气（压力值在0.6 〜0.8Mpa）;b 开设备总电源开关、开启 PLC;c 检查 PLC 中央控制器及扩展单元的缓冲寄存装置电池，此电池只能由受过培训的人员更换，更换电池前应开启电源，如电源已关，应在外部电池插孔中接入一外部电源（电压 3.4V）;d 按“急停复位”按钮;e 检查信号灯（所有信号灯必须亮）f开启温控单元，水压0.4〜0.7MPa,水温40C；g开启下列真空测量仪:TM210S IM110D IM210,其中IM110D IM210 要在传输室TM210S显示值小于5X 10-2mbar时才能开启。
h 手动方式下的起动过程见第 3节，自动方式下起动过程见第 4节3.1.3手动方式下起动3.1.3.1在大气压状态（1bar）下起动此方式只用于维修维护或换靶后设备进大气的情况下。
a开启“手动方式”；b关入口室锁阀，开传输室1的锁阀；c 开启各室的泵单元及过渡抽气的泵单元;d 入口室开始抽气;e 溅射室通过入口室抽气 , 等待溅射室压力小于或等于 8X 10-2mbar, 溅射室开始抽气 , 起动分子泵并升速到额定速度。
f 分子泵进入正常工作 , 关闭传输室1的锁阀；g 进入“生产”一节3.1.3.2溅射室 P= 30mbar...1bar 时的起动溅射室压力在P= 30mbar...1bar之间，不能直接开始抽气，长时间停机后，溅射室内的压力可能会有一定的升高，检测设备泄漏率，并与标准值比较（见“维护”一章中“真空检测”一节）如实际值与标准值有较大差值，应进行检漏。
镀膜机操作步骤
镀膜机操作步骤1、打开冷却水开关、空压机开关（空压机红色按钮向上拔为打开，向下按为关闭）和镀膜机总电源开关。
2、将玻璃基板至于样品托中，导电一面向下，刻蚀带一侧靠近样品托蓝色线条一侧。
3、预处理室放气，待放好气后拧紧放气阀，打开预处理室仓门，将样品托放在推拉杆上，关闭仓门。
4、打开机械A、机械B泵及四个真空计。
5、基片预处理：打开角阀，当预处理室真空度达到 2.0E1 ～5.0E1 (2.0×10～5.0×10)Pa时，关闭角阀、打开真空蒸镀室角阀。
打开直流溅射电源、再按下启动按钮，调节电流0.020-0.025A，轰击10分钟，将电流调节至0A，按下停止按钮，关闭电源。
6、打开A泵，角阀，待度达4.0E0以下时，即当两边真空气压基本相当的的时候（约十分钟），关闭角阀，A阀，打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向开，逆时针方向关），检查旋转台下的挡板，一定要将挡板放在恰当位置。
样品传送至蒸镀室，用机械手抓取样品托，并保持在机械手上；然后将推拉杆拉回至预处理中，关闭闸板阀；降低蒸镀台与机械手平齐，将样品托轻轻推入蒸镀台下方的样品托导引槽（上方导引槽）。
7、当蒸镀室真空度达到1.2E1（1.2×10） Pa以下时，关闭角阀、机械A泵。
打开闸板阀，将蒸镀室抽高真空至7.0E-4Pa（约2个小时）。
8、插入掩模板：将样品升降电源调到手动，将蒸镀台旋转180度（用皮带精确定位），用升降盒使蒸镀台最下方的掩模板导引槽与掩膜版库轨道，至于同一水平线上，用机械手将掩膜版轻轻推至蒸镀台的掩模板导引槽。
（注意机械手用完一定要挂起）9、蒸镀过程：打开快门总开关，膜厚测试仪（F1是清零，F5是开始或停止）放样品托的架子升最高，且旋转。
打开PID（束源炉）开关，调节温度，依次蒸镀相关材料，制备OLED器件。
10、若继续实验，打开机械A泵、预处理室角阀，至预处理室真空度达到4.0E0（4.0×1） Pa以下，同时将掩膜版归位，用机械手将样品托取下。
镀膜机作业指导书
晶控自动镀膜系统作业指导书1．镀膜机开、关机操作开机1．打开主电源。
2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．打开显示器和计算机电源，待计算机启动完成。
4．开机械泵。
5．开扩散泵。
6．将“运行/待机”开关打道“运行”位置。
7．扩散泵预热30分钟后可以工作了。
关机1．关闭扩散泵冷却30分钟2．将“运行/待机”开关打道“待机”位置。
3．关闭计算机4．关闭机械泵5．关闭主电源2.运行参数设置晶片初始频率：输入被镀晶片的中心频率，例如：12160－－12170KHZ应输入12165KHZ；如果要加镀高频片，先进行频率修正，然后在晶片初始频率中输入加镀高频片的中心频率。
注意加镀完毕后要及时把晶片初始频率修正回原始值。
晶片目标频率：输入镀到的目标频率，例如：12M晶体镀到1000PPM，晶片目标频率应输入12012KHZ；3.579M晶体镀到700PPM，晶片目标频率应输入3581.5KHZ单面镀膜时间：用于时间镀膜时钼舟打开的时间，时间长短以能将所有的银全部蒸发完为标准。
机台修正系数：用来调整计算的理论膜厚值与实际膜厚值的差异的。
在第一次镀某个系列晶片的时候，第一锅可以设为1，当前标晶频率：程序实测的标晶当前的频率。
标晶目标频率表示标晶应该达到的频率，达到这一频率后，被镀晶片也会达到目标频率了，以KHz为单位。
镀膜速率：标晶当前的变化速度，以Hz/S为单位。
数值大小与电流有关。
延时倒计时表示在所有延时程序中动态显示延时时间和剩余的延时时间。
当剩余时间变为0时，本次延时结束，以KHz为单位。
镀膜总时间为自动镀膜或取消自动镀膜的总的时间。
当前实测高真空度值和当前实测低真空度值为实测的高真空和低真空值。
串口通讯的真空计显示测量真空度值；指针表不显示。
3静态参数设置。
轰击真空预置：若真空计型号为指针，设置为0表示在低真空轰击，设置为大于0的整数，表示在高真空轰击。
若真空计型号为串口，设置为0表示在低真空轰击，设置1―100(RF离子轰击)，表示在高真空轰击。
真空镀膜机作业指导书
真空镀膜机作业指导书检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作（水压需达到0、4Mpa以上）。
2，检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需达到0、5Mpa）3，开启电源开关，打开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在10pa以下时，打开《扩散泵温控仪1、2》《扩散泵1、2》四个开关。
即扩散泵升温（大约1小时左右）4，距加热时间约10分钟左右，开启低温捕集器，待6分钟冷却时间过后，按《F1》启动低温捕集器。
待温控仪上的设定温度达到时，即可正常生产操作。
二，生产操作1，确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放置完毕。
2，开启《粗抽泵》，将抽气手自动档切换至自动档，打开《自动抽气》开关，待真空室大门吸合即可。
3，当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器《F2》，开启捕集器制冷功能。
4，此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详述，即为口述。
5，工艺完成后，关闭电子枪、离子源（必须先归零灯丝电流，再关电源）等开关，打开《自动充气》开关，待精抽阀闭合后，将抽气手自动档切换至手动档（此处必需注意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去的外，其他开关都不可按下，以免操作失误造成扩散泵暴露大气！），按捕集器F3，开启回温功能，待低温捕集器温度回温到30摄氏度以上，打开《充气阀》，待真空室门打开，关闭《充气阀》。
（注：《自动抽气》与《自动充气》开关严禁混淆）6，以上循环，即为正常操作流程。
三、停机1，将真空室门吸合，抽至一定真空，关闭除《停机》开关的所有开关。
（注：此停机开关，正常生产中严禁开启）2，待真空镀膜机冷却一小时后，方可关闭电源，空压机，冷却塔，激进泵。
注：以上所有操作必须严格执行，未经允许不可更改，若应操作失误造成镀膜机受到损坏，影响等因素，操作员将承担相应责任。
警告：本机器有多处高压变压器，电压高达8KV，为避免安全事故，未经允许不可开启电柜、真空室下的屏蔽门。
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镀膜机操作步骤
注意：
1.清洗前，看片子是否短路，是否大小与样品托合适，蒸镀时放样品托的架子升最高，且旋转。
2.打开电流开关，及时打开ABC舟中一个，打开束源炉，及时打开其中一个启动A、B等。
3.掺杂材料用量覆盖舟底即可。
操作步骤：
1、打开总开关，包括冷却水开关和机器开关。
2、打开镀膜机总开关，样品旋转开关，升降开关按钮。
3、将玻璃基板至于样品托中，导电一面向下。
4、蒸镀室、预处理室放气。
5、打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向关，逆时针方向开），推拉杆推至大真空室中，将样品放到推拉杆上，将推拉杆拉回至预处理中。
关闭闸板阀（顺时关闭，逆时针开）
6、打开快门控制电源，打开快门一，更换钨丝（每做一次实验更换一次），将铝丝挂在钨丝上（5个，挂于弯折处），检查蒸镀所需材料。
7、将掩膜版放置于掩膜版架上。
8、打开机械A、机械B泵。
打开四个真空计，关闭放气阀。
9、基片预处理（打开角阀）：当处理室真空度达到4.0E1 (4.0×10)Pa 时关闭预角阀，打开大真空室角阀，再打开紫外轰击电源（直流溅射电源），调节电流0.025-0.030A。
轰击10-15分钟（等预处理室与蒸镀
室气压平衡，打开闸板）。
10、插入样品托：再次打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向开，逆时针方向关），将样品传送至蒸镀室，用机械手抓取样品托，并保持在机械手上；然后将将推拉杆拉回至预处理中，关闭闸板阀；降低蒸镀台（注意样品托挡板位置）与机械手平齐，将样品托轻轻推入蒸镀台下方的样品托导引槽（上方导引槽）。
11、插入掩模板：将样品升降电源调到手动，将蒸镀台旋转180度（用皮带精确定位），用升降盒使蒸镀台最下方的掩模板导引槽与掩膜版库轨道，至于同一水平线上，用机械手将掩膜版轻轻推至蒸镀台的掩模板导引槽。
12、当大真空室的压强为1.2E1的时候，关闭角阀，打开闸板阀。
13、关闭机械泵A，升起样品台。
14、打开分子泵。
抽到6.0-6.5E-4（大概需要两个小时）。
15、蒸镀过程：打开快门总开关，晶振开关（F1是清零，F5是开始或停止）。
16、打开PID（束源炉）开关，调节温度，依次蒸镀相关材料，制备OLED器件。
17、关闭分子泵阀门，放气（真空室顶部放气按钮）。
打开真空室，取出样品。
18、关闭真空室，待分子泵数字为零时关闭分子泵后关闭机械泵B，打开机械泵A的阀门，打开机械泵A抽低真空。
如果长时间不用时一定要关闭循环水冰柜电源，以防冻裂。
以ITO/NPB/Alq3:C545T/Alq3/LiF/Al
蒸镀NPB过程（其中掺杂材料用量覆盖舟底即可）：
打开炉B，设定温度为265度，等温度大概265时，记录2晶振的数字，打开快门5，当2晶振数字减小到所需数字后关闭快门5. 蒸镀Alq3:C545T过程：
关闭大挡板（真空室顶端的旋转钮），打开快门4和9，打开炉A 和F，设定温度分别为188和132度，看C545T的速率(晶振3)为1秒0.1点时，炉A(Alq3)温度设定为205度，看速率为1秒2点时打开挡板，记录晶振1数据。
减小到所需数字后关闭快门9.
蒸镀Alq3过程：
记录晶振1数据，减小到所需数字后关闭快门4，减少温度至零，关闭PID.
蒸镀LiF过程：
关闭大挡板，打开蒸发舟C舟，打开左下面板的指针电源，设定电流为2-3A,打开快门3，打开挡板。
记录晶振1数据。
减小到所需数字后关闭快门3，关闭C舟.
蒸镀Al过程：
关闭大挡板，打开蒸发舟A舟，打开左下面板的指针电源，设定电流，钨丝上的铝完全融化后打开挡板，记录晶振1数据。
减小到所需数字后关闭快门1，关闭A舟。
具体实例：
结构：
AL（150nm）/MoO(60nm) /NPB(40nm)/ ALQ:C545T (30nm+20nm) /LIF(1nm)/AL(100nm)
1打开总开关，打开冷却水，打开气泵（拔起来）。
2 打开顶部放气阀（逆时针开），放完气后关闭（顺时针关闭）。
放入样品至托盘，放入真空室中。
3 插入掩膜板，1，2，3。
将1放入样品托盘下方的轨道槽。
4 开快门1，更换钨丝，靠身边为1号（1号螺丝取下来，2号松下即可）将新钨丝放入嵌片下面呈S型放置，关闭快门1。
5 关闭真空室。
6 打开A、B泵，开真空计。
开角阀（后右方逆时针开）。
至右上方真空计显示为12Pa时，关闭角阀，打开分子泵挡板阀，打开分子泵开关，关闭A泵。
至左上方真空计显示为6.4*10-4Pa时，开始镀膜。
（大约2-3小时）。
7 打开快门总开关，晶振开关。
（样品托盘必须与晶振齐，就是必须上升至顶部）。
8 打开打开PID（束源炉）开关，调节温度，依次蒸镀相关材料，制备OLED器件。
9关闭分子泵阀门，放气（真空室顶部放气按钮）。
打开真空室，取出样品。
10关闭真空室，待分子泵数字为零时关闭分子泵后关闭机械泵B，打开机械泵A的阀门，打开机械泵A抽低真空。