LS152真空镀膜在线测厚仪说明书V1.1

LS152真空镀膜在线测厚仪

使用说明书Ｖ1.0

镀膜厚度的纵向、横向均匀度是镀膜制品重要质量和技术指标。镀膜产品的光密度（光密度 = LOG（1/透过率））和镀层厚度成正比例关系，镀层厚度越厚，光密度值越大，透过率越低。所以通过测量镀膜产品的光密度可以监控镀膜层的厚度。

真空镀膜在线镀层厚度检测装置，适用于各类镀膜生产线上，通过选择监控产品的可见光透过率，红外线透过率和光密度值（OD），来达到在线检测和分析产品镀层厚度，镀层厚度的均匀性等性能是否在工艺要求之内。以便操作人员及时了解产品质量，如有问题，及早发现及调整工艺，提高产品品质，降低产品的废品率。

此仪器提供双路的RS485通讯接口，标准的MODBUS通讯协议，方便和PLC，单片机，人机界面，组态王，电脑等通讯。镀膜机可以直接读取此设备的光密度数据，实现控制自动化（闭环控制）。

一：真空镀膜在线测厚仪的参数

1.测试波长：根据客户需要选择，目前有如下的选择：

●红外线：850 nm（默认选项，抗干扰能力强）

●可见光：白光 380nm-760nm

●绿光： 530nm

2.透过率测量精度：优于±1%

3.透过率分辨率：0.005%；

4.光密度测量范围：0.00 OD ---

5.00 OD

5.光密度的分辨率：

0.01 for 0.00 - 3.00 OD

0.05 for 3.00 - 5.00 OD

6.最大测量点数：36点

7.相邻探测头之间距离：最小70mm

8.发射接收探头之间距离：20mm

9.温度范围： -20°C --- +70°C

10.数据刷新周期：300ms

11.仪器整体尺寸： 100mm（宽）*230mm（高）* 长度(根据客户要求定制)

12.需真空法兰电极芯数：6根（不配电脑监控），9根（配电脑监控）

13.电源：220V AC/50Hz

14.通讯：双路RS485

二：真空镀膜在线测厚仪的特点

1. 一体化设计，结构简单，现场安装维护方便

2. 防尘设计

对于镀膜过程中的粉尘（如镀铝过程）会影响测量光学系统，该系统采用防尘设计，粉尘不会影响光学系统内部。如有粉尘，只需要定期擦拭清洁光学系统的镜头玻璃即可，方便维护。

3. 真空室的电子设计

真空环境中，和大气环境下有众多的区别，经过多次真空试验和现场应用，成功解决真空中电子器件的稳定性问题。

三：真空镀膜在线测厚仪的组成

1：设备分为三部分：探测系统、人机交互设备、电脑实时监控系统。

●探测系统

主要包括光源，接收器，控制器和支架（测试点的多少，根据用户要求定制，测试点数一般是3的整数倍，如3、6、9、12、15等）。

●人机交互设备

7寸LCD人机交互界面，显示各个测试点的透过率和光密度数据。实时数据，柱状图显示方式，上下限，基准值设置及显示，越限声音报警。

●电脑实时监控系统（选配）

所有测试点数据的实时监控。包含实时显示、柱状图、上下阈值设定、实时曲线，越限报警等。透光率与光密度的显示可自由切换。

历史数据存储，分析和报表功能。整卷膜在其对应长度上，都有数据记录和分析。如果已知镀膜机的运行速度，可以出报表分析整卷膜在对应长度的光学指标，做到整卷膜镀层厚度和均匀性可追溯。

2：真空镀膜在线测厚仪示意图。

此设备可以实现和PC，人机界面，PLC，单片机，镀膜机控系统通讯，实现监视和控制。

3：在线测厚仪的结构图

以下是三个测试点的在线测试仪器的结构图，测试点不同，只是在长度方向上有所不同，高度和宽度方向没有变化。

4：真空镀膜在线测厚仪现场安装图

四：注意事项

1：设备所用国标电线说明

电源线型号：RVV 3*0.75 mm2三芯非屏蔽挤黑

内芯颜色：

棕色(红色): 直流电正极

蓝色(黑色): 直流电负极

黄色 : 接地线

通讯线型号：RVVSP 2*0.5mm2 屏蔽双绞线挤黑

内芯颜色：

棕色: RS485+

蓝色: RS485-

屏蔽层 : 接地

2：开机自校准

仪器具有开机自动校准的功能，设备开机时，发射接收探头之间不能放入任何东西。否则不能完成自校准，测试数据出现不准确或错误。如果已经装好了膜，在膜上，发射接收器的对应位置，开一个孔，让发射光无阻挡通过，也可完成自动校准的功能。