杭寅_蓝宝石晶体生长技术现状和发展趋势

蓝宝石晶体生长技术现状和发展趋势

杭寅

中国科学院上海光学精密机械研究所

（上海，201800，yhang@）

蓝宝石晶体具有高熔点、高硬度、耐腐蚀等优良的物化特性，在半导体照明、微电子、光电子和国防装备等领域具有广泛的应用前景。本文综述了大尺寸蓝宝石晶体生长的几种主要技术现状，分析了各种生长技术的优缺点，报道了上海光机所在大尺寸蓝宝石晶体生长方面的研究进展，探讨了大尺寸蓝宝石晶体生长技术的发展趋势。