XPS软件使用方法
Xps分峰拟合操作
Xps分峰拟合操作Xps数据avantage软件分峰拟合操作1.打开软件，选择⽬标⽂件，打开2.选中C 1s图谱，点击放⼤。
3.点击，弹出窗⼝4.选择Shirley，变为下图。
5.选取图谱中主峰两侧较为平滑的区域，分别将横坐标输⼊Start（⼤）和End（⼩），并可通过上下箭头进⾏微调。
确定合理后，点击Add，主峰下⽅会出现如图绿线。
⼯具栏下⽅会出现C1s相关信息表格，Peak BE即为C1s峰值。
与标准峰值284.8eV⽐较即可得出所得实验谱的偏差，本例为+3.2eV。
6.选择⽬标实验谱本例中为Mn2p，放⼤。
点击，弹出窗⼝，会观察到实验谱横坐标减⼩相应值，点击Close。
即完成能量校正。
8.点击，类似C1s校正，选择主峰对Mn2p3/2加峰9.选择Peak Fit，点击，弹出窗⼝，选择Add Fitted Peak，如图，并排三个书写框，PeakCentre即为某元素某化学态对应峰值，⾸先输⼊，FWHM Start其次输⼊，⼤⼩为峰值+0.5，FWHM End最后输⼊，为峰值-0.5，⽆误后点击Add Peak完成加峰。
10.对各状态对应峰值依次添加，加完之后，点击OK，如图。
11.对上图图谱下拉，对信息表格进⾏编辑。
删除主峰（本例为Mn2p）对应信息，点击左侧任意字母后，右键，取消Show Constraints对勾。
将Name改为易识别以区分的名字，然后将FWHM fit para全部改为1.25，并全选，点右键，锁定。
并将Peak BE也全部锁定。
峰，并将图谱中对应谱线下拉⾄底部。
13.根据操作者对样品的理解，先向上拖动主要状态对应谱线，最后拖动最少量状态对应谱线。
直⾄实验谱与拟合谱最⼤程度重合。
14.点击，再依次点击accep→tOK。
点击peaks，信息表中即出现各状态含量信息。
将C1s和Mn2p最后⼀栏取消勾选。
则倒数第⼆栏即为各状态的百分含量。
15.点击file→save as即可保存⼯程⽂件。
【做计算 找华算】【干货】XPS Peak软件拟合教程,仅需7步!
XPS干货丨XPS Peak软件拟合教程，仅需7步！1.XPS Peak41中导入数据打开xps peak 41分峰软件,在XPS Peak Fit窗口中,从Data菜单中选择Import (ASCII),即可将转换好的txt文本导入,出现谱线2.扣背底在打开的Region 1窗口中，点击 Backgrond，选择Boundary的默认值，即不改变High BE和Low BE的位置，Type一般选择Shirley类型扣背底3.加峰选择Add Peak，选择合适的Peak Type(如s,p,d,f),在Position处选择希望的峰位，需固定时点fix前的小方框,同时还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。
各项中和的constaints可用来固定此峰与另一峰的关系。
如W4f中同一价态的W4f7/2W4f的峰位间距可固定为2.15eV，峰面积比可固定为4:3等，对于% 5/2Lorentzian-Gaussian选项中的fix先去掉对勾，点击Accept完成对该峰的设置。
点Delete Peak可去掉此峰。
再选择Add Peak可以增加新的峰，如此重复。
注意：% Lorentzian-Gaussian值最后固定为20%左右。
加峰界面举例：对峰的限制constraints，峰1的峰位=峰0峰位+1.54.拟合选好所需拟合峰的个数及大致参数后，点XPS Peak Processing中的OptimiseAll进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可多次点Optimise All合适图谱5.参数查看拟合完成后，分别点XPS Peak Processing窗口总的Region Peaks下方的0、1、2等，可查看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的曲线为被选中的峰。
如对拟合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点击Optimise All6.XPS存图点Save XPS可将谱图存为.xps格式的图，下回要打开时点Open XPS可以打开这副图，并可对图进行编辑7. XPS图的数据输出a.点击Data中的Export（spetrum），可将拟合好的数据存为.dat格式的ASCII 文件（该文件可用记事本打开），然后再Origin中导入该ASCII文件，可得到一个包含多列的数据表，这里需要注意的是每列的抬头名称出错（如.dat文件中的Raw Intensity分开到两列中作为两列的抬头，即Raw、Intensity），这时需要根据做出的图与.xps原始谱图比较，更改每列的名称，即可得到正确的谱图b.点击Data中的Export（Peak Parameters），即将各峰参数导出为.par格式的文件（也可用记事本打开），通过峰面积可计算某元素在不同峰位的化学态的含量比c.点击Data中的Export to clipboard，即将图和数据都复制到剪贴板上，打开文档（如Word），点粘贴，即把图和数据粘贴过去，不过该图很不清晰d.点击Data中的Print with peak parameters，即可打印带各峰参数的谱图峰拟合中的一些基本原则及参考资料1.元素结合能数据可参考/xps/selEnergyType.aspx2.谱峰的曲线拟合应考虑：合理的化学与物理意义；合理的半高宽（一般不大于2.7eV，氧化物的半高宽应大于单质的半高宽）；合理的L/G比（XPS Peak 41分峰软件中的% Lorentzian-Gaussian）为20%左右；对双峰还应考虑两个峰的合理间距、强度比等（详见下面的3，4项）。
AvantageXPS分析软件基本分析方法
AvantageXPS 分析软件基本分析方法
1．进行全扫描
2．进行含量的精确计算
3．进行分类拟合
add peak
中的
选择高分辨扫描图，进行平滑处理（不进行add peak 处理），找峰，与相关元素的标准结合能进行比较，在中输入偏移的数值（注意查看是正偏移还是负偏移），之后在smart模式下进行拟
合（加峰add peak，按自己分析的此种元素可能存在的形式），蓝色为拟合后的线，越接近红线越好。
4．查图的信息
选中所要看的图的信息，点中，即可获取相关的图的信息
5．数据及图像导出
用选择数据存储目录以及存储格式，将数据导入Origin中进行作图
对一些复杂的峰在自动拟合后，可以进行手动的调整，拟合
具体如下：
1 拟合后峰不重合
2 点击peak fit 选项
会出现拟合的峰的具体信息，选择一个拟合的峰，下面的曲线会出现半峰宽，最高点的三个调整点，更具具体的实验做细微的调整。
XPS峰拟合软件ORIGIN完美拟合能谱数据方法
数据预处理
去噪
对原始数据进行平滑处理，去除随机噪声和 背景干扰。
校正
对数据进行能量校正，确保结合能准确无误。
扣除背景
将样品背景扣除，突出样品表面的元素信息。
数据标准化
归一化
将数据归一化到相同范围内，便于比较不同样品之间的元素含量。
基线校正
对数据进行基线校正，消除基线漂移和异常值对数据的影响。
校准
结果与讨论
结果
通过Origin软件对能谱数据进行拟合处理，成功获得了高纯度单晶硅片表面氧 化物的准确成分和含量。
讨论
Origin软件在处理XPS能谱数据时具有高效、准确的特点，能够为材料表面成 分分析提供有力支持。
结论
结论
利用Origin软件对XPS能谱数据进行 拟合处理，可以获得高纯度单晶硅片 表面氧化物的准确成分和含量，为材 料表面分析提供了有效的方法。
选择"Fit Report"。
在弹出的对话框中，可以看 到拟合结果的详细信息，包 括参数值、标准偏差和相关
系数等。
根据需要调整参数和函数类 型，不断优化拟合结果，直 到达到满意的精度和准确性 。
05
实例分析
实验材料与方法
实验材料
采用高纯度单晶硅片作为实验材料， 表面经过氧化处理。
实验方法
利用X射线光电子能谱仪（XPS）对单 晶硅片表面进行测试，获取能谱数据。
功能强大
02
Origin提供了丰富的数据处理和图形绘制功能，支持多种数据
分析和可视化需求。
灵活定制
03
用户可以根据自己的需求灵活定制Origin的功能模块和界面，
提高工作效率。
软件优势
高效稳定
XPS 系统软件操作指南
XPS系统软件操作指南──MANUAL OF PERKIN ELMER PHI 5000C ESCA SYTEM戴维林编Edited by Dai Wei-Lin（复旦大学化学系表面化学实验室）(Surf. Chem. Lab., Dept. of Chem., Fudan Univ.)第一部分 数据采集软件—PHI系统§1. 概述：该系统通过PC137数据采集板把XPS数据和图谱存进计算机，支持软件为PHI系统。
PERKIN ELMER公司提供了多种版本的软件，从最初的DOS系统软件到如今的WINDOWS系统软件。
目前最常用的为VERSION2.0A版本。
VERSION1.2B也能使用。
该软件功能较强，可进行宽、窄扫描，多次录谱迭加，并可适应不同的能量分析器，还可在谱图上定出峰位、半峰宽，并且可进行平滑化、微分等操作。
§2. 软件安装及初始化将拷有PHI软件的软盘插入驱动器，键入命令：C:>install_A:_C:\phi SCASCD or CMASCD or SCAMCD↵其中，_代表空格；A: 指源程序盘；C:\phi为安装后的子目录；SCASCD、 CMASCD和SCAMCD分别指不同的能量分析器。
安装后，可通过简单的指令使其窗口化，即可直接在WINDOWS下用鼠标来操作。
下面主要讲一些VERSION2.0A的具体格式化过程：进入PHI后，屏幕上为一排指令，FILE、CONTROL、PARMS、DATA和 WINDOW。
首先键击CONTROL进入CONFIGURE。
选择所需的指令，如本实验室的各项指令为：SCA/SCD、MODEL80-365A、MODEL137 TIMER、EXTENTED（LENS TYPE）。
然后储存这些参数（用SAVE 指令）。
再键击FILE，击OPEN，查看C:\phi下各•PHI文件。
1) 将MODEL 137 COUNTER文件中INPUT SELECT置于ECL IN 1[PC]，COUNT UP/DOWN置于UP。
CASAXPS的简易用法(1)
1. 软件为绿色破解版，将软件压缩包直接解压到电脑中，打开软件在Help>>About casaxps 输入User Name：G59 U Iowa和License：ffff2c44 >>update License>>ok（注意User Name中的空格）2. 打开数据： 打开数据*.VMS文件，或从file>>Open打开；3. 标识并标注元素：左键双击全谱谱图（widescan），再点击左窗口，在工具栏中点击，弹出周期表，点全谱（widescan）中的峰，周期表中会显示该峰位附近的可能元素。
通常识别谱峰是什么元素，需元素各轨道的峰都能在谱图中找到。
标识后左图会出现标识元素各轨道位置，再点在peak label选项，按ctrl选择需要标注的峰再点，选择Annotation History选项，图中标识好的文字出现小红框可以在图中拖动到合适位置；然后在中点4. 全谱中半定量计算：选择一个样品的全谱，用标识谱图中的元素（上述3），或直接点，再手动删除错误的标识，点击，左图出现百分含量，点，在regions选项中选择元素，放大该位置谱图调整（左键拖动）所扣背底（Background）的起始边和结束边。
5.分谱中半定量计算：5.1 先对样品的每个分谱进行扣背底（Background），然后选中要计算的元素，如图，在的report spec.选项中点，结果显示。
5.2如果要详细计算各化学状态的百分含量，则需对各峰进行分峰，并更改下图中的Name 以区别各元素状态：在的report spec.选项中点，结果显示。
5.3 只计算某元素的各化学状态的百分含量，则分峰，在的component选项卡下，显示：6. 数据处理：选择指定的谱图，点。
通过不同的选项卡对谱图进行校准、平滑等。
7. 数据的通常处理：7. 1对谱图进行校准（calibration选项卡中，输入ture（实际值，一般以污染碳C1s 284.8eV 为标准），再点谱图中measure中显示鼠标点击的峰位置，点，再选择同一样品的其他数据点）如图：。
干货XPS分析软件Casaxps作图说明–材料牛
⼲货XPS分析软件Casaxps作图说明–材料⽜1.不同格式数据之间的转换（1）将⾮filename.vms格式数据转换成filename.vms格式数据Casaxps处理filename.vms格式的数据，我们的仪器可以直接给filename.vms格式的数据，但⼀般情况下给出的是filename，不加任何后缀的⽂件，这种⽂件可以⽤记事本，excel，origin等打开，但是不能⽤Casaxps打开，但是可以转换成可以⽤casaxps打开的⽂件，转换⽅式如下：将我们给出的原始数据⽤excel打开，将binding energy和intensity（CPS) 两列数据取出放在⼀个新建的txt⽂档下，删掉⼀些没⽤的东西，确保数据格式符合X-Y两列。
将修改好的txt⽂档改为dat⽂档（直接修改后缀），然后将 dat⽂件放在⼀个只有dat⽂件的专门⽂件夹⾥，这个很重要，如果这个⽂件夹⾥有其它格式的⽂件，那么就⽆法完成数据的转换。
打开casaxps软件，点convert按钮，在专门存放dat数据的⽂件夹下找到需要转换的⽂件，打开就完成了转换。
记住，⼀旦打开就会在该⽂件夹下⽣成⼀个filename.vms格式的⽂件，这样会导致其它⽂件⽆法转换，将这个新⽣成的⽂件转移到其它⽂件夹下就可以了，这样新⽣成的filename.vms⽂件就可以直接在 Casaxps⾥⾯打开了。
（2）将filename.vms格式数据转换成txt格式数据在Casaxps⾥⾯将filename.vms格式的⽂件打开，点击 save Tab Ascll to clipbard 按钮 , 出现如下界⾯，点击copy all to clipboard键，将clipboard section 界⾯关闭后，将复制的数据粘贴到txt⽂档即可。
Casaxps软件处理filename.vms格式的⽂件1.⽤casaxps处理宽谱能够得到的信息:（1）定性分析：归属宽谱中各个峰。
XPS Peak软件拟合数据的简单步骤
XPS Peak软件拟合数据的简单步骤:1. Excel中的数据转换成TXT格式从Excel中的数据只选择要进行拟合的数据点，copy至txt文本中，即ABC三列数据(其中B 列为空的,只包含两列数据)2.XPS Peak41中导入数据打开xps peak 41分峰软件,在XPS Peak Fit窗口中,从Data菜单中选择Import (ASCII),即可将转换好的txt文本导入,出现谱线在打开的Region 1窗口中，点击Backgrond，选择Boundary的默认值，即不改变High BE和Low BE的位置，Type一般选择Shirley类型扣背底，不过有时也选择Liner类型扣除背景。
4.加峰选择Add Peak，选择合适的Peak Type(如s,p,d,f),在Position处选择希望的峰位，需固定时点fix前的小方框,同时还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。
各项中的constaints可用来固定此峰与另一峰的关系。
如W4f中同一价态的W4f7/2和W4f5/2的峰位间距可固定为2.15eV，峰面积比可固定为4:3等，对于% Lorentzian-Gaussian选项中的fix先去掉对勾，点击Accept 完成对该峰的设置。
点Delete Peak可去掉此峰。
再选择Add Peak可以增加新的峰，如此重复。
注意：% Lorentzian-Gaussian值最后固定为20%左右。
举例：对峰的限制constraints，峰1的峰位=峰0峰位+1.55.拟合选好所需拟合峰的个数及大致参数后，点XPS Peak Processing中的Optimise All进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可多次点Optimise All合适图谱6.参数查看拟合完成后，分别点XPS Peak Processing窗口总的Region Peaks下方的0、1、2等，可查看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的曲线为被选中的峰。