ESD点检表
静电测试点检表
目视 日/1次
5.各线组长应确保本线员工 在需要的岗位都正确佩戴好 静电环，不能松脱，更不能
戴在袖子上。
备 注：
OK： √ NG： × 其它 ：△
制作日期:2011年11月28日
文件编号：SZR-DJB-11
有效期： 2012年11月28日
制作日期:2011年11月28日
文件编号：SZR-DJB-11
2.进入静电敏感区域应将防
静电环连接好，与皮肤完全
接触，保护防静电环正常有
防
效的工作。
静
3.对静电敏感器件，需先带
电
好防静电环，再拿静电敏感 器件，先放静电敏感器件，
点检仪
再拔防静电环
手 4.防静电线的有效长度是2.5 米，在使用防静电环的过程
环 中，不可过度拉扯而超过它 的有效长度，不可折断防静 电线，不可冲洗防静电环， 插拔时不可通过拉防静电线 来完成，不可在防静电环金 属片上加水等，要注意正确
有效期： 2012年11月28日
项目
要求
点检 工具
1.每班开工前，每位员工都 应自检防静电环是否正常， 并做好记录，只有测试合 格，才可以进入静电敏感区
域工作。
ESD 点检表（2011年12月）
点检 方法
点检 频率点检人1234567
8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
ESD対策 点检表
货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC测试地板2点之间的表面阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○地控点检记录表公共接地点与地板表面的电阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○摩擦电压(地板/工鞋步行电压)＜100VESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各静电皮2点间的表面阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○作业台静电对策确认表静电皮的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各表面2点间的阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD固定货架 点检记录表静电皮/面的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各静电皮2点间的表面阻抗ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD移动推车 点检记录表静电皮的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○针对可接触到部品的位置放置静电垫等，测量其表面电位＜100ＶESD担当○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表整个真空包装机的接地阻值＜20ΩESD担当○○○○○2点间的表面电阻值ESD担当○○○○○○○○○○ESD脚垫 点检记录表确认静电脚垫是否有接地ESD担当○○○○○○○○○○2点间的表面阻值1.0×106～109ΩESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD座椅 点检记录表表面摩擦电压＜100V ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○拉台的接地电阻值＜20ΩESD担当○○○○○○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表测量与基板接触部分的表面电位＜100ＶESD担当○○○○○○○○○○设备接地点与设备的接地是否OK包括1.电源接地是否有效2.本体外壳的接地是否有效＜20ΩESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表上下板机接地点与上下板机的接地阻值＜20ΩESD担当○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表离子风机测量离子平衡度＜100VESD担当○○○○○○○○○○○○○○○离子风机点检记录表静电腕带/工鞋导通测试(确认静电腕带的导通与人体接触的导通是否良好)/测试人体和工鞋的电阻值0.8-1.2M Ω＜1.0×109Ω全体○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○防静电手环/鞋检测记录表备注ESD対策 点检记录表※ 如下检查项目及内容由品质部实施定期点检确认 年别：2013年阻抗基准(Ω/V）点检确认人检查对象7月8月6月＜1.0×109Ω1.0×106～109Ω一、ESD现场接地·防护控制10月1.0×106～109Ω地板防静电作业台防静电固定货架点检项目9月防静电移动推车1.0×106～109Ω＜1.0×109Ω流水拉/接驳台真空包装机防静电脚垫防静电座椅DONGGUAN EVERGREAT ELECTRONICS CO.,LTD.东莞绿成电子有限公司※ 点检确认人对所测定项目按要求定期点检确认，点检OK用“○”表示，NG用“N”表示并及时找相关责任人处理跟进至OK。
ESD 2023版本年度检查表
序号 Serial Number
审核要点 Review points
1
固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到 指定的接地点，且接线或接点必须卷边或者焊接？
2
生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出 来，且粘贴ESD标签？
3
是否定期对工作站接地进行检查，并记录《符合性验证记 录表》？
ESD元件的存储、运输、处理
《ESD静电放电手册》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
27
当运送ESD敏感器件时如果使用如金属手推车一类的移动 工具时，手推车有无通过拖链或导电的脚轮接地？
ESD元件的存储、运输、处理
所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋 28 、防静电帽，所有人员在接触静电敏感材料时有无佩戴防 ESD元件的存储、运输、处理
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
√
√
√
√
√
√
√
√ ■合格 □不合格
备注 Notes
审核员Auditor：
序号 Serial Number
《ESD静电放电手册》
√
√
√
√
√
√
√
ESD区域人员日常检查表
∕
。
防静电帽
防静电帽应正确佩戴，帽沿朝前头发不能露出防静电帽外后脑部分 的短细的头发不能超过防静电衣领外。
∕
在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静 防静电手 电手套。
∕
套\指套
定期更换破，旧和脏的防静电手套和指套。
∕
目视 日/2次
目视 日/2次 目视 日/2次 目视 日/2次
每班开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并作好记录， 只有测试合格，才可以进入静电敏感区域工作。制表：表审单
核： 编
号
：
测试仪
进入静电敏感区域应将防静电环连接好，与皮肤完全接触，保证防 静电环正常有效的工作。
∕
对静电敏感器件，需先戴好防静电环，再拿静电敏感器件ESD,先 防静电腕 放下静电敏感器件ESD，再拔防静电环。
∕
带 在使用防静电环的过程中，不可过度拉扯而超过它的有效长度，不
可折断防静电线，不可冲洗防静电环，拔插时不可通过拉防静电线 来完成，不可在防静电环金属片上加水等，要注意正确使用和妥善
项目
点检要求
进入静电敏感区必须穿防静电服。
ESD区域人员日常检查表
区域:______________
日期:______________
点检 工具
检查 方法
检查频 次
1
2
3
4
5
6
7
8
9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
∕
保护好防静电环。
记录 目视 目视
目视
日/2次 日/2次 日/2次
日/2次
ESD查检表
ESD 季稽核查检表部门：组长：日期：A.ESD负责人需求：YES NO N/A1. 是否有ESD负责人之设置？[] []2. 是否每部门，每班都有设置[] []B.训练和资格：YES NO N/A3. 是否有提供ESD资格训练课程，训练资料和资格有效时间是否有监管？[] []4. 训练是否有实作说明和考试？[] []5. 全部的ESD稽核员是否受训合格？[] []6. 静电区的所有工作人员是否皆ESD资格？[] []C.防静电工作桌YES NO N/A7. 防静电工作区内每个ESD敏感的工作站都有标示吗？[] []8. 是否所有电气设备都有做接地？[] [] []9. 全部防静电工作桌是否有接地静电环插座且其连接是否合于规定？[] [] []10. 距离工作桌1公尺内之所有物品其静电电压是否都低于100V？[] [] [][] [] [] 11. 如有局部防静电处置（如防静电喷剂），是否每周实施一次？合乎静电电压低于100V以下之规定？[] [] [] 12. 所有离子风扇动作是否正常而置放是否正确？离子平衡测试是否按月校验？13. 工作桌对地阻抗是否在1MΩ与1000MΩ之间？[] [] []D.个人接地部份YES NO N/A14. 戴上静电环的人其指尖至地的阻抗是否在0.5MΩ与50MΩ之间？[] [] []15. 穿上导电鞋的人其指尖至地的阻抗是否在0.5MΩ与50MΩ之间？[] [] []16. 导电地板对地阻抗是否在25K Ω与5M Ω之间？ [] [] []17. 静电环和导电鞋检查器功能是否正常，每季是否校正？[] []18. 在防静电区内的所有人（包括工程师和访客）是否都接地（戴上静电环或穿上导电鞋）？ [] [] []19. 假如使用静电鞋，则是否同时使用导电地板？[] [] 20. 距离ESD 敏感零组件1公尺内之物品例如外套头发等，其静电电压是否低于100V ？ [] []E. ESD 敏感确认YES NO N/A 21. 是否对ESD 敏感项目予以确认？ [] []F. 包装和标示YES NO N/A22. 若不在防静电桌或区域内，是不是所有的ESD 敏感零组件都置于封闭的 ESD 摒蔽容器内，而不外露？ [] [] 23. 是否有静电源和ESD 敏感零组件一起放在ESD 摒蔽容器内？ [] [] 24. 导电和静电消散包装材料再次回收使用前是否有检查？ [] [] 25. 有否使用过时的防静电包装材料？[] [] []26. 是否使用之包装材料皆为ESD 合格的材料？ [] [] 27. 装ESD 材料之ESD 容器是否有清楚可见的标识？ [] []G. 稽核和资料保管YES NO N/A28. 在有ESD 要求的工作场合之每位工作人员是否每天执行“每日点检”？ [] []29. 每个季的内部稽核结果是否有向经理层和ESD Coordinator 报告？ [] [] 30. 每季内部稽核资料是否完全而准确？ [] [] 31. 年度稽核是否彻底及准时（15个月内）？ [] []H. 矫正措施YES NO N/A 32. 有没有证据来说明矫正措施已被完全正确执行？[] []合计 YES NO N/A[] [] []{}{}{}%%100NO YE S YE S 100＝得分＝⨯+⨯。
ESD月点检记录表
1x109~1.0x1012
1x10 ~1.0x10
5
10
每条线取2个点进行检查
测试人:
测试日期
静电位水平
<100 V
表面电阻： 对地电阻： 工作台面对地电阻和表面 每条线取3个点进行检 5 1 7.5x10 ~1.0x10 5 9 （点对点）电阻 查，设备小于3个则全检 7.5x10 ~1.0x10 0 工作椅对地电阻和表面 (点对点)电阻 防静电手套、指套表面 (点对点)电阻 地板、地垫表面(点对点) 电阻 测试地点： 表面电阻：≤ 1.0x1010 对地电阻： 每条线取3个点进行检 7.5x105~1.0x109 查，设备小于3个则全检 每条线取2个点进行检查
ESD 月 点 检 记 录 表
Code: QR-0049 实测点1 测量项目 判定标准 测量点要求 测试点名称 实测数值 或编号 实测点2 测试点名称 实测数值 或编号 实测点3 测试点名称 实测数值 或编号
判定结果
Rev:01
ESD标记情况
目视，要ห้องสมุดไป่ตู้标识清楚
-
腕带插孔及防静电桌布接 目视，要求腕带插孔无松动，各接 每条线取3个点进行检 地点与主静电线电气连接可靠 地检查情况 查，设备小于3个则全检 每条线取3个点进行检 查，其中操作工位3个， 地3个
ESD日常检查表
日期 防静电 防静电的插 接地扣 检测人 座是否松动 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏 静电手 环是否 测试 Pass 防静电 的插座 是否松 动 防静电 接地扣 是否松 动 连接线 是否损 坏
日常点检表ຫໍສະໝຸດ 静电手 环是否 测试 Pass
esd点检表
点检日期： 项目
点检对象 静电环 接地线 烙铁 地面
防静电容器 防静电台垫
工作台 流水线自动传送带
表面电阻(Ω ) 泄漏电阻(Ω )
点检表
静电压(V)
频率
测试仪器
检测标准
每月一次
兆欧表
泄漏电阻为1×106Ω ±10％
每月一次 每月一次 每月一次
万用表和接地电阻测试仪 ＜4Ω
兆欧表
烙铁头接地电阻＜20Ω ，手柄 绝缘电阻1×107~1×108Ω
静电压表，万用表和兆欧表 200V ，1×104Ω ~ 109Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻>1012Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻：1×105Ω ~1×109Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻：1×106Ω ~1×109Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻：1×106Ω ~1×109Ω
批准：
审核：
表单编号： 编制：
ESD检查报告表
检查 日
部门/生产线:
项目
内容
静电手环功能检测
静电手 环／套
静电手环夹子须连接ESD接地线
标准 －－
工具 静电手环测试仪
无松脱/接触良好
万用表
结果
稽核结果
静电手套允许最大静电电压
＜100V
静电电压测试仪
静电地面电阻阻抗值/静电电压 值
1X105~1011Ω/＜
表面阻抗测试仪 /静电电压测试
1、以上 注： 报告无表数中
据2、要稽求核 结果注栏栏由 内；
检查 人：
审核：
稽核：
FW-SG-04
静电电压测试仪
静电材料包装允许最大静电电压
＜100V
静电电压测试仪
防静电测试用之仪器校验有效性 校验合格且有标签
操作员/修理员有佩带静电手环 及佩带方法正确
SMT房及敏感元器件仓人员是否 穿静电衣、防静电鞋/帽
－－ －－
电批/烙铁与安全地线连接
无松脱/接触良好
接触静电敏感元器件使用ESD电 烙铁
目视 目视 目视 万用表 目视
100V
仪
防静电容具
＜100V
静电电压测试仪
备注
静电区域有ESD警告标识
－－
目视
仪器\设备\治具与安全接地线连 接
无松脱/接触良好
万用表
防静电工作台垫允许最大静电电 压
＜100V
静电电压测试仪
防静电工作台垫与ESD地线连接 生产线 /IQC/ 防静电椅垫允许最大静电电压 仓库
无松脱/接触良好
万用表
＜100V
电器公司ESD点检表
测试仪
记录
日/2次
∕
目视
日/2次
防静电腕 带
对静电敏感器件，需先戴好防静电环，再拿静电敏感器件ESD,先放下静电 敏感器件ESD，再拔防静电环。
∕
目视
Hale Waihona Puke 日/2次防静电线的有效长度是2.5米，在使用防静电环的过程中，不可过度拉扯而 超过它的有效长度，不可折断防静电线，不可冲洗防静电环，拔插时不可通 过拉防静电线来完成，不可在防静电环金属片上加水等，要注意正确使用和 妥善保护好防静电环。 各线组长和生产主任应确保本线员工在需要的岗位都正确佩戴好静电环，不 能松脱，更不能戴在袖子上。 腕带插座 腕带连接插座接触良好，无松脱现象。
∕
目视
日/2次
∕
目视
日/2次
∕
目视 点检人
日/2次
OK打: √
NG打: ×
其它打: △
确认人(每周由专职人员进 行一次确认)
____电器___(ESD)点检表
年月份：
项目 点检要求 点检工 点检方 点检频 1 具 法 次
∕ ∕ ∕ ∕ ∕ 目视 目视 目视 目视 目视 日/1次 日/1次 日/1次 日/1次 日/1次
2
3 4
5 6
7
8
9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31
防静电手 在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套。 套\指套 定期更换破，旧和脏的防静电手套和指套。 防静电工作台在日常使用中，必须确保正常接地状态。 防静电工作台上不允许存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易产生静电 的物品，图纸、资料等应放入防静电文件袋中。 检查工作区所有ESD敏感器件、单板都放置在防静电周转工具或包装中。 确定你的工作区内、防静电周转工具和包装中没有不允许的或未经处理的静 防静电工 电源。工作区内必须存在的一些静电源远离ESD敏感器件和敏感单板30厘米 作台 以上。保证明显而严重的静电源远离防静电工作区1米以上。 确认工作台台垫为防静电台垫，工具为防静电工具。确认工作区域所有防静 电工具都有ESD标识。 确认在工作台上的清洁用品、溶剂、喷雾器、胶纸等工具材料已被EPA区域 责任人确认可以使用。 如果工作台装了离子风机，在工作时应打开，并保证其位置正确。 设备\测试 每日对设备的接地线进行检查，要求接地点和设备的接地点相通。 工装 检查设备和工装的接地点必须牢固，无松开现象。 电批 电烙铁 电动起子电线外壳部分应实行硬接地，并进行测试保证接地良好。 电烙铁电力线外壳部分应实行硬接地，并进行测试保证接地良好。
ESD防护项目检查表
频率 每日必巡检 项目 a）腕带 b）ESD防护鞋 c）个人ESD防护衣穿着 d）个人穿着之腕带或ESD防护鞋 a）ESD防护工作站(如：接地） b）ESD防护地板(如：清洁地板，避免破损） c）ESD接地连接（如：腕带，台垫接地线） a）ESD防护区域及工作站静电电压的测量 a）ESD防护静电消散工作表面之ESD接地的电阻值 b）ESD导电工作表面至ESD接地电阻值 c)ESD防护地板至ESD接地的电阻值 d）腕带测试器 e）ESD接地至接地点 a）空气游离器使用 b）空气游离器充电衰减使用 ESD系统符合本规范
建议周检
建议月检
建议季检
建议年检 建议年检
目检查表
允许标准 参考章节 ≥500K to ≤10M 6.4/6.4.1 9 6.4/6.4.1 ≥500K to ≤10 Ω 目视检查 11.4 目视检查 6.3 目视检查 7.3/7.4.1/7.4.2 目视检查 7.3/7.5 目视检查 7.3/7.6 未受保护的ESD敏感元 6.5 件在12英寸内必修≤± 1000 7.3/7.4.1 ≥105 to ≤109Ω ﹤1000K（无串联电阻） 4.3/7.3/2 4 9 7.5 ≥10 to ≤10 Ω ≥500K to ≤10M 6.4.3 ﹤1.0 4.10/7.6/7.7/7.8/7.9 平衡﹤±35v 11.3e 参考制造商规格参数 11.3f 使用ESD稽核表 9.2