ESD内审检查表
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防静电ESD控制审核检查表
Description for use
Remark: For SBI supplier, OQA audit score should not be less than 2.00
er factory
ESD检查表
审核位置：仓库 序号 审核要点 1 防静电区域内的非防静电材料（包括过期失效的防静电材料）是否及时、正确地进行了处理? 2 静电敏感物料与非静电敏感物料进行了隔离放置吗？ 3 ESSD及组件的配料、发料、转储过程是否都存放在防静电容器中？ 4 是否确保不必要的个人物品不可放置在ESD工作台上，确保防静产品远离能产生静电的物品，像泡沫、塑料文件夹等？ 5 静电区域台面电压是否小于400v 6 物料产品表面电压是否小于2000v 审核位置：车间线体/工作站 序号 审核要点 1 桌垫表面是否清洁，并且保证接到ESD地上？ 2 是否确保静电手环没有损坏，或没有松动的连接？ 3 是否确保不必要的个人物品不可放置在ESD工作台上，确保防静电工位远离能产生静电的物品，像泡沫、塑料文件夹等？ 4 电烙铁使用人员每日在烙铁温度调试之前是否对电烙铁接地电阻测试一次，并记录《每周工具检测表》？ 5 静电区域台面电压是否小于400v 6 物料产品表面电压是否小于20Байду номын сангаас0v 审核位置：个人腕带的确认及ESD防护 序号 审核要点 1 腕带使用者换班之前和中午（午夜）吃饭后是否进行腕带检测，并将检测结果记录在《防静电手环测试记录表》中。 2 《防静电手环检测记录表》是否每天由线长或工段负责人签字审核？ 3 ESD控制区作业人员是否穿戴好ESD防护衣服、防静电帽、防静电鞋？ 4 非必须的及个人的物品不得放置在ESD防护工作台表面？ 审核位置：ESD元件的存储、运输、处理 责任人 确认结果 确认人 备注
防静电ESD控制审核检查表
2.9
material ? Do the non-ESD material part have the evaluation report? 设备、仪器、工具和工装上接触静电敏感器件的部分是否由防静电材料制成？
非防静电材料部分是否有评估？
Are trained personnel with the badget or all untrained personnel or visitors
The power of with the ESD management whether the definition is clear and 1.3 carried on a valid communication in the company inner part?
ESD管理的权责是否定义清楚并在公司内部进行了有效的沟通？
Do you identify the program Technical elements that need to be verified? do 2.1 ESD coordinator know them?
是否有识别要测量哪些技术项目，ESD协调员是否清楚这些技术项目?
2.2
Do you determine the verification frequency for each Technical element ? 是否确定了每个技术项目检测的频率 ?
ESD内部审核检查表
EPA区域操作人员是否配置每人1个静电手环 生产、IQC、 并随身携带？进出入车间是否有检测及记录？ 仓库、品保 EPA区域工作台面是否有配置静电台垫，台垫 生产、IQC、 是否安装接地扣及接地线与静电线相连？无尘 仓库、品保 等要求高区域之金属工作台是否接静电地？ EPA内是否有使用ESD传输带？是否有定期检 生产 测接地电阻？ EPA内是否有使用ESD椅子？是否有定期检测 接地电阻？ ESD物品周转车是否安装防静电轮子6mm2接 地铁链？ ESD物料架/货架是否安装防静电皮并接静电 地？ 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保
1
品质中心
2
品质中心
3 4
一：ESD体 系规划Βιβλιοθήκη Baidu 文件管理
品质中心 人力资源部 人力资源部
5 6
品质中心 品质中心
7 8
品质中心
9
10
ESD记录数据(人体电阻、腕带测试、温湿度记 录、各类防静电硬件设施维护及功能检测记录 生产、IQC、 等)是否完整，并经ESD负责人审核，保存良 仓库 好?
11
防静电用品定期检测记录，是否有数据不全或 生产、IQC、 不正确的现象？ 仓库 防静电用品定期检测记录中，不满足ESD要求 的项目是否有改善措施？ 是否建立了防静电硬件的认证流程？ 防静电硬件的认证是否有在固定的温湿度环境 (建议温度:25±5℃，相对湿度：25%±5%)中 进行？ 生产、IQC、 仓库 品质中心
ESD区域人员日常检查表
制表：
表
审
单
核： 编
号
：
∕
保护好防静电环。
记录 目视 目视
目视
日/2次 日/2次 日/2次
日/2次
各线组长和生产主任应确保本线员工在需要的岗位都正确佩戴好静 电环，不能松脱，更不能戴在袖子上。
∕
目视 日/2次
腕带插座 腕带连接插座接触良好，无松脱现象。
∕ 目视 日/2次
OK打: √ NG打: × 其它打: △
检查人
审核人(每周由审核人 进行一次确认)
∕ 目视 日/2次
防静电衣必须在更衣室更换,不允许在ESD区域穿或脱防静电衣。 ∕ 目视 日/2次
禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。
防静电服 防静电衣是否保持清洁。
∕ 目视 日/2次 ∕ 目视 日/2次
不能把非防静电衣的衣领翻出盖住防静电衣的衣领,须将所有扣子
均扣好.非防静电衣的长度不能长过静电衣,不准将防静电衣的袖子 挽起,不准将手表、手饰等与工作无关的装饰物品露出防静电衣外
测试仪
进入静电敏感区域应将防静电环连接好，与皮肤完全接触，保证防 静电环正常有效的工作。
∕
对静电敏感器件，需先戴好防静电环，再拿静电敏感器件ESD,先 防静电腕 放下静电敏感器件ESD，再拔防静电环。
∕
带 在使用防静电环的过程中，不可过度拉扯而超过它的有效长度，不
内审检查表(Q、E、S)
内审检查表(Q、E、S)
内审检查表检查部门：综合办公室
标准条款
检查
内容
检查
记录
Q：6.2.2
E / S：4.4.2 8、查公司员工培训计划及相关的培训记录，核查对三个管理体系标准、公司的管理体系文件的全员培训实施情况。
(1)查《年度培训计划》的培训内容是否全面，是否涉及了全员进行三个管理体系标准及公司
的管理体系文件。
(2)抽查3项培训计划的实施情况：培训实施计划、记录及相关的试卷等。
(3)对培训效果的评价。
9、查公司的《特种作业人员台帐》，
核查登记内容对特种作业人
员的识别是否充分。抽查各种
类型特种作业人员的操作证
是否齐全查检验员的操作证。
10、新员工及转岗员工三级教育的
实施情况检查：新员工及转岗
内审检查表检查部门：化验室
Q：8.2.4、8.3 定合格证（记录证件编号）。
(2)抽查几种（如水筛、比表面积仪、试模等）自校设备的的校准记录是否按校准规程及规定的周期校准，记录是否完整符合要求。询问校设备人校准方法。
(3)抽查对多元素分析仪、氯离子测定仪、水泥组份测量仪的校准。
(4)抽查三种标准溶液的标定记录及复标记录，是否按规定校准。查最后一次标定的记录与在用的溶液核对一致性。询问标定人标定方法及符合要求的判断标准
5、查进厂
原材料的检验和控制策划、实
施，有不合格品时的处理。(1)询问负责人本厂所用的原材料，查质量控制标准中是否覆盖了所用的原材料。是否规定了检验的频次、周期。
(2)查相关的检验方法文件确认检验方法是否符合规定的要求。
(3)查进厂原材料台帐，查每一种进厂原材料质量，记录检验的批次，最高值、最低值及平均值。
ESD每月防静电核查表
表面电阻103Ω～109Ω
重锤表面电阻测试仪
摩擦电压<100V
EMF-022
表面电阻103Ω～109Ω
重锤表面电阻测试仪
摩擦电压≤100V
EMF-022
百度文库
表面电阻105Ω～109Ω
重锤表面电阻测试仪
接地电阻≤4Ω
接地电阻测试仪
核查人签名
核查人员：
年、月份：
每月防静电核查表
审核：
项目
点检要求
点检工具
结果
防静电腕带 防静电工作台
腕带内表面对电缆扣<20K Ω
万用表
腕带外表面对电缆扣电阻
>107Ω
万用表
腕带连接电缆电阻1MΩ、 ±10％
万用表
防静电席的防静电接地电 阻1MΩ、±10％
万用表
防静电席表面电阻106Ω～ 109Ω
重锤表面电阻测试仪
防静电席摩擦电压<100V EMF-022
防静电工作台必须确保正 常接地状态，是否按照要 求摆放防静电席？且工作 台上的防静电设施的接地 线不可相互串连
目视
同一静电席上只允许有一 个接地点、静电席的上下 都不得垫非防静电材料的 物品。
目视
防静电工作台上不允许贴 非防静电的胶纸（标识用 美纹胶纸除外）
目视
摩擦电压<100V
工作服、帽、手套 表面电阻106Ω～109Ω
32-ESD月核查记录表
静电电压表
１次/１月
兆欧表或表面电阻测试仪 １次/１月
17 静电消除器(离子 离子平衡电压+/-15V
静电电压表
风机) 18
静电耗散时间小于2S(从1000V耗散到100V 的时间)
静电电压表和高压充电器
19 防静电工作椅
20
摩擦电压<100V 系统接地电阻应满足≤1×109Ω
静电电压表 兆欧表或表面电阻测试仪
ESD月核查记录表
序号
项目
要求
点检工具
点检频次
1 接地线
主接地线对通用接地点电阻≤4Ω
万用表
１次/１月
2 防静电连接线 系统电阻0.9MΩ－1.1MΩ
万用表
１次/１月
3 防静电腕带
系统电阻0.9MΩ－1.1MΩ
人体综合测试仪或万用表 １次/１月
4 防静电台垫
5
摩擦电压<100V 防静电工作台胶垫表电阻100KΩ-1KMΩ
１次/１月 １次/１月 １次/1月 １次/1月
21 防静电周转车 接地电阻≤4Ω
万用表
１次/1月
一月份
二月份
三月份
四月份
五月份
六月份
七月份
八月份
九月份
十月份 十一月份 十二月份
22 接地线
通用接地点对地<1Ω
ESD检查报告表
检查
日部门/生产线:
注：1、以上
报告表中 无数
据要求2、稽核
结果栏由 注栏
内；
检查
人：审核：稽核：
ESD检查报告表
FW-SG-04
ESD内部审核检查表
序号
测试地点编号
测试阻值
状况描述
备注
检验工序
工作站 L L
pt#
阻值（欧姆）
表面电阻
传输带
工作站 L L Ⅲ静电地板表面电阻抽测
标准设备：设备名称：表面电阻测试仪.
生产工序
pt#
表面电阻测量值
记录
测量标准：1.检测值≤101பைடு நூலகம்欧姆/平方。2.检测周期为每季度检测一次。3.测量次数为每90平方米1次。 校验有效期：
检测工段
检测序号
检测值（欧姆）
备注
防静电周转箱、托盘、 Ⅳ防静电周转箱、托盘、元件盒表面电阻抽测
测量标准：1.防静电周转箱的测试点为四周的中间和隔段两区域任意两点，检测值≤1011Ω。2.检测周期为：次/半年 标准设备：设备名称：表面电阻测试仪. 校验有效期：
工段
检测序号
检测值（欧姆）
备注
Ⅴ总接地电阻检测
测量标准：1.测试数值≤4Ω为 接受，>4Ω为 不接受。2.测试点数为5个。3.工厂总接地检测周期：次/每年。 标准设备：设备名称：接地电阻测试仪 校验有效期：
ESD内审 ESD内审 抽样检测表
Ⅰ静电电压抽测
测量标准：无保护的ESD元件：12英寸以内≤±1000伏特（或按照供应商的建议） 标准设备：设备名称：数字静电测量仪. 序号 1 2 工作区域/工作站 校验有效期： 电压测量值（KV） 评价（通过/不通过）
(34)ESD检查记录表
九江世明玻璃有限公司
车间ESD点检记录表
说明：检验结果填写"NG"或"OK"编号:SM6.3-034
九江世明玻璃有限公司
车间ESD点检记录表
说明：检验结果填写"NG"或"OK"编号:SM6.3-034
九江世明玻璃有限公司
车间ESD点检记录表
ESD防护项目检查表
ESD防护项目检查表
频率 每日必巡检 项目 a）腕带 b）ESD防护鞋 c）个人ESD防护衣穿着 d）个人穿着之腕带或ESD防护鞋 a）ESD防护工作站(如：接地） b）ESD防护地板(如：清洁地板，避免破损） c）ESD接地连接（如：腕带，台垫接地线） a）ESD防护区域及工作站静电电压的测量 a）ESD防护静电消散工作表面之ESD接地的电阻值 b）ESD导电工作表面至ESD接地电阻值 c)ESD防护地板至ESD接地的电阻值 d）腕带测试器 e）ESD接地至接地点 a）空气游离器使用 b）空气游离器充电衰减使用 ESD系统符合本规范
建议周检
建议月检
wenku.baidu.com建议季检
建议年检 建议年检
目检查表
允许标准 参考章节 ≥500K to ≤10M 6.4/6.4.1 9 6.4/6.4.1 ≥500K to ≤10 Ω 目视检查 11.4 目视检查 6.3 目视检查 7.3/7.4.1/7.4.2 目视检查 7.3/7.5 目视检查 7.3/7.6 未受保护的ESD敏感元 6.5 件在12英寸内必修≤± 1000 7.3/7.4.1 ≥105 to ≤109Ω ﹤1000K（无串联电阻） 4.3/7.3/7.4.2 4 9 7.5 ≥10 to ≤10 Ω ≥500K to ≤10M 6.4.3 ﹤1.0 4.10/7.6/7.7/7.8/7.9 平衡﹤±35v 11.3e 参考制造商规格参数 11.3f 使用ESD稽核表 9.2
频率 每日必巡检 项目 a）腕带 b）ESD防护鞋 c）个人ESD防护衣穿着 d）个人穿着之腕带或ESD防护鞋 a）ESD防护工作站(如：接地） b）ESD防护地板(如：清洁地板，避免破损） c）ESD接地连接（如：腕带，台垫接地线） a）ESD防护区域及工作站静电电压的测量 a）ESD防护静电消散工作表面之ESD接地的电阻值 b）ESD导电工作表面至ESD接地电阻值 c)ESD防护地板至ESD接地的电阻值 d）腕带测试器 e）ESD接地至接地点 a）空气游离器使用 b）空气游离器充电衰减使用 ESD系统符合本规范
建议周检
建议月检
wenku.baidu.com建议季检
建议年检 建议年检
目检查表
允许标准 参考章节 ≥500K to ≤10M 6.4/6.4.1 9 6.4/6.4.1 ≥500K to ≤10 Ω 目视检查 11.4 目视检查 6.3 目视检查 7.3/7.4.1/7.4.2 目视检查 7.3/7.5 目视检查 7.3/7.6 未受保护的ESD敏感元 6.5 件在12英寸内必修≤± 1000 7.3/7.4.1 ≥105 to ≤109Ω ﹤1000K（无串联电阻） 4.3/7.3/7.4.2 4 9 7.5 ≥10 to ≤10 Ω ≥500K to ≤10M 6.4.3 ﹤1.0 4.10/7.6/7.7/7.8/7.9 平衡﹤±35v 11.3e 参考制造商规格参数 11.3f 使用ESD稽核表 9.2
内审检查表(Q、E、S)
内审检查表检查部门：综合办公室
内审检查表
检查部门：综合办公室
内审检查表检查部门：综合办公室
内审检查表检查部门：化验室
内审检查表
检查部门：生产部
内审检查表检查部门：生产部
内审检查表检查部门：生产部
内审检查表检查部门：生产部
内审检查表检查部门：生产部
内审检查表检查部门：生产部
内审检查表检查部门：生产部
内审检查表检查部门：供应部
内审检查表检查部门：供应部
内审检查表检查部门：供应部
内审检查表检查部门：供应部
内审检查表
检查部门：销售部
内审检查表
检查部门：销售部
内审检查表
检查部门：销售部
内审检查表检查部门：机械部
内审检查表检查部门：机械部
内 审
检 查 表
检查部门：电气部
内审检查表检查部门：电气部
内审检查表检查部门：破碎车间
内审检查表检查部门：破碎车间
内审检查表检查部门：破碎车间
内 审 检 查
表
检查部门：生料车间
内审检查表检查部门：生料车间
内审检查表检查部门：生料车间
内审检查表检查部门：生料车间
内审检查表检查部门：水泥车间
内审检查表检查部门：水泥车间
内审检查表检查部门：水泥车间
内审检查表检查部门：水泥车间
内审检查表检查部门：烧成车间
内审检查表检查部门：烧成车间
内审检查表检查部门：烧成车间
内审检查表检查部门：烧成车间
内审检查表检查部门：烧成车间
内审检查表检查部门：工会
内审检查表检查部门：领导层
内审检查表检查部门：领导层
内审检查表检查部门：领导层
内审检查表检查部门：领导层
内审检查表检查部门：财务部
相关主题
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符合性
备注
1 所有的ESD设备在wk.baidu.com输过程中，是否一直处在防静电的容器中？ 2
是否确保不需要或私人物品不可置于ESD保护工作面，始终保持静电消耗或抗静 电工作站无静电产生的材料如泡沫聚苯乙烯 、塑料支架或塑料文件夹？
3 在处理电路板时有无戴干净的防静电手套或指套？ 4 导电的脚轮接地？
当运送ESDS时如果使用如金属手推车一类的移动工具时，手推车有无通过拖链或
是否确保不必要的个人物品不可放置在ESD工作台上，确保防静电工位远离能产
4 有无确保正在使用的工作台或传输带没有“停止操作”的标志牌？ 5 录《每周工具检测表》？
电烙铁使用人员每日在烙铁温度调试之前是否对电烙铁接地电阻测试一次，并记
审核位置：个人腕带的确认及ESD防护 审核位置：个人腕带的确认及ESD防护 ESD
审核位置：车间线体/ 审核位置：车间线体/工作站
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
1 桌垫表面是否清洁，并且保证接到ESD地上？ 2 是否确保静电手环没有损坏，或没有松动的连接？ 3 生静电的物品，像泡沫、塑料文件夹等？
审核位置： ESD相关物品的购买 审核位置： ESD相关物品的购买
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
1 所有和ESD有关的物品供应商有无提供符合国家标准的相关检测报告？ 2 所有和ESD有关的物品有无IQC人员实际检测，合格后才能办理付款手续？
6 静电地板表面电阻检测记录表》？ 7 测量记录》？ 8 9
是否每周一次使用已校准的静电场测试仪进行静电电压检测，并记录《静电电压
移动存储装置（周转推车、移动存储架、移动存储桌子等非固定装置）是否每周 检测一次接地点及表面电阻值，并同时记录在M4FM386《ESD接地及表面电阻检测 记录表》中？ 是否对工厂总接地电阻进行测量，并记录在M4FM387 《总接地电阻检测记录表》 中？
ESD内审检查表 ESD内审检查表 REV：1.0
审核位置： 审核位置：ME
序号 1 或接点必须卷边或者焊接？ 审核要点
审核员： 审核员：
审核证据
日期： 日期：
参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
审核位置： 审核位置：其它
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 Q3CR079 物料存储条件规范
符合性
备注
1 在ESD保护区域是否有粘贴ESD警告标签？ 2 各工作站是否有部门负责人专门指定ESD控制执行？ 3 每个ESD测试点是否粘贴ESD位置标签，该标签字迹是否清楚且编号唯一？ 4 相对湿度是否满足要求SMT:40%-55%RH； SMT备料库、敏感材料仓库：35%-55%RH？
5 在接触静电敏感材料时有无佩戴防静电手环？ 6 充电物品不可接触ESD敏感元件，是否满足？
所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋、防静电帽，所有人员
审核位置： 审核位置：重工
序号 1 2 审核要点
严禁徒手接触ESD元件，是否使用抗静电真空笔或无磁性的镊子取放ESDS元件？ ESD元件必须被真空包装，暴露的时间是否在受控的环境中？
符合性
备注
固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到指定的接地点，且接线
2 生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出来，且粘贴ESD标签？ 3 是否对每个工作站接地进行检查，并记录《ESD接地及表面电阻检测记录表》？ 4 5
记录保存年限：3年 是否对所有的防静电桌垫每周一次进行表面电阻检测，并作检测记录，对检测不 符合要求的，是否用好的桌垫进行更换？ 有无定期（每6个月）用表面电阻测试仪检测所有防静电周转箱、防静电托盘、 防静电料盒的表面电阻，并将测试结果记录在M4FM123《 检测记录表 》中？ 防静电地板是否干净且无破损，是否对其表面电阻每一季度检测一次，并记录《
审核位置：ESD元件的存储、运输、处理 审核位置：ESD元件的存储、运输、 元件的存储
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
序号 审核要点
腕带使用者换班之前和中午（午夜）吃饭后是否进行腕带检测，并将检测结果记
审核证据
参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
1 录在E4FM019《防静电手环测试记录表》中。
2 《防静电手环检测记录表》是否每天由线长或工段负责人签字审核？ 3 ESD控制区作业人员是否穿戴好ESD防护衣服、防静电帽、防静电鞋？ 4 非必须的及个人的物品不得放置在ESD防护工作台表面？
接触ESDS元件的新入职人员是否经过ESD培训合格后才能上岗，正常每半年有各
审核位置：QA巡检员 审核位置：QA巡检员
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
1 QA巡检员是否每周一次根据ESD稽查表进行检查？ 2 发现不符合ESD控制要求的行为，QA如何处理？ 3 QA组长是否对提交的ESD稽查表进行了审核确认？
审核证据
参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
审核位置： 审核位置：培训
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
1 所有处理ESDS元件的人员是否进行ESD控制和处理的培训，有无培训记录？ 2 人员是否通过ESD知识考试并达到合格？ 3 工段负责人组织进行一次系统培训？