ESD内审检查表
ESD対策 点检表
货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC货仓前加工IQC SMT組立OQC测试地板2点之间的表面阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○地控点检记录表公共接地点与地板表面的电阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○摩擦电压(地板/工鞋步行电压)＜100VESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各静电皮2点间的表面阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○作业台静电对策确认表静电皮的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各表面2点间的阻值ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD固定货架 点检记录表静电皮/面的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○各静电皮2点间的表面阻抗ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD移动推车 点检记录表静电皮的接地状态ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○针对可接触到部品的位置放置静电垫等，测量其表面电位＜100ＶESD担当○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表整个真空包装机的接地阻值＜20ΩESD担当○○○○○2点间的表面电阻值ESD担当○○○○○○○○○○ESD脚垫 点检记录表确认静电脚垫是否有接地ESD担当○○○○○○○○○○2点间的表面阻值1.0×106～109ΩESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD座椅 点检记录表表面摩擦电压＜100V ESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○拉台的接地电阻值＜20ΩESD担当○○○○○○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表测量与基板接触部分的表面电位＜100ＶESD担当○○○○○○○○○○设备接地点与设备的接地是否OK包括1.电源接地是否有效2.本体外壳的接地是否有效＜20ΩESD担当○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表上下板机接地点与上下板机的接地阻值＜20ΩESD担当○○○○○ESD设备/仪器/工治具 点检记录表离子风机测量离子平衡度＜100VESD担当○○○○○○○○○○○○○○○离子风机点检记录表静电腕带/工鞋导通测试(确认静电腕带的导通与人体接触的导通是否良好)/测试人体和工鞋的电阻值0.8-1.2M Ω＜1.0×109Ω全体○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○防静电手环/鞋检测记录表备注ESD対策 点检记录表※ 如下检查项目及内容由品质部实施定期点检确认 年别：2013年阻抗基准(Ω/V）点检确认人检查对象7月8月6月＜1.0×109Ω1.0×106～109Ω一、ESD现场接地·防护控制10月1.0×106～109Ω地板防静电作业台防静电固定货架点检项目9月防静电移动推车1.0×106～109Ω＜1.0×109Ω流水拉/接驳台真空包装机防静电脚垫防静电座椅DONGGUAN EVERGREAT ELECTRONICS CO.,LTD.东莞绿成电子有限公司※ 点检确认人对所测定项目按要求定期点检确认，点检OK用“○”表示，NG用“N”表示并及时找相关责任人处理跟进至OK。
防静电ESD控制审核检查表
4. Summarize each times data for further improvement project in future
01Biblioteka 23Nothing
The APPROACH The approach is The approach is
something new to exists,meaning: SYSTEMATICALLY ASSESSED,meanin
supplier
process/procedure/ DEPLOYED,
g KPIs exist and are
WI is written.
meaning: process, measured for the
WI are deployed to approach or
all relevant people / performance is
projects - evidence assessed, etc…
is available or
Data available !
adequate people
are in place etc…
Remark: For SBI supplier, OQA audit score should not be less than 2.00
Description for use
Purpose
This is tool of PCLZ SQM. To assess the performance of supplier's quality management including production line, productivity, OQA, ESD and RoHS. Use this tool to identify gaps, strengths and opptunity to improving quality management in supplier factory This tool include: A. Production line audit check list B. Production line capacity check list C. OQA check list D. ESD check list E. RoHS check list
ESD内部稽核查检表
Page: 1/2NB R源自 Phone RD W/H1.1 部門內是否有切實可行的ESD/EOS系統標准文件 1.2 部門內是否有專業的ESD窗口 1.3
從事接觸到ESD敏感物件的工作人員,上崗前是否有接受過 ESD訓練
1.4 工齡滿一年的員工是否有年度重新訓練認証 1.5 ESD敏感區域進出口是否設有警示標識 1.6
所有治工具是否采用抗靜電材料制成﹐且機台是否做好接地 處理.
2.6 所有人員進入鋪設導電地板之ESD防護區時,是否有穿靜電鞋 2.7 ESD檢測儀器是否時刻處于設備良好狀態 2.8 靜電衣穿著時是否符合公司標准 2.9 ESD工作站之靜電環,靜電桌墊是否采用并聯接地 2.10 靜電環是否有與設備接地線或各种被誤認為己接地設備上 2.11 靜電接地時采用之鱷魚夾與接地香蕉插頭是否有混合使用 2.12 所有ESD檢測儀器是否均有進行校驗﹐且均在有效期內 2.13 離子風扇安裝位置是否符合要求 2.14 離子風扇送風量是否符合要求 2.15
ESD 內 部 稽 核 查 檢 表
稽核人員: 稽核人員: 日期: 日期: 受稽區域 負責/ 負責/受稽人員 一、ESD 系統要求 IQC IQC COB 物料室 COB COB 產線 COB QC SMT SMT 物料室 SMT 產線 SMT QC QC SMT 維修 BB 物料室 BB A區 A區 BB B 區 BB C 區 BB BB D區 D區 BB E区 E区 BB QC/OBA BB 維修 BB 包裝
作業員在作業時是否有依要求佩戴靜電環﹑靜電手套或靜電 手指套
2.16 所有人員每次上班前是否主動檢測靜電環/鞋接地狀況 2.17 所有ESD敏感零組件,是否放于靜電盒/框或防靜電容器內 2.18 取放ESD敏感零件時,是否使用防靜電鑷子進行操作 2.19 對含有ESD敏感材料之PCB進行清潔時是否使用防靜電刷 2.20 2.21 2.22
ESD 2023版本年度检查表
序号 Serial Number
审核要点 Review points
1
固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到 指定的接地点，且接线或接点必须卷边或者焊接？
2
生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出 来，且粘贴ESD标签？
3
是否定期对工作站接地进行检查，并记录《符合性验证记 录表》？
ESD元件的存储、运输、处理
《ESD静电放电手册》
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√ ■合格 □不合格
27
当运送ESD敏感器件时如果使用如金属手推车一类的移动 工具时，手推车有无通过拖链或导电的脚轮接地？
ESD元件的存储、运输、处理
所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋 28 、防静电帽，所有人员在接触静电敏感材料时有无佩戴防 ESD元件的存储、运输、处理
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
《 ESD符合性验证方案控制程序》
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√ ■合格 □不合格
备注 Notes
审核员Auditor：
序号 Serial Number
《ESD静电放电手册》
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防静电ESD控制审核检查表
2.4 provision?
内部审核是否按照规定
的要求开展？
Does the equipment being used for measurements match the equipment 2.5 listed in the Compliance Verification Plan?
测试设备是否满足测符合性验证计划定义的设备要求?
ESD Con trol audi
#
1. ESD Control Plan/控制计划
Check Point 檢查內容
Whether drew up the valid ESD control procedure to combine according to 1.1 the request of the document control carry on is control?
Do you identify the program Technical elements that need to be verified? do 2.1 ESD coordinator know them?
是否有识别要测量哪些技术项目，ESD协调员是否清楚这些技术项目?
2.2
Do you determine the verification frequency for each Technical element ? 是否确定了每个技术项目检测的频率 ?
Audit Date: Auditor: Audited supplier:
Reference 参考
Specification 標準
Tool 工具
符合
现场查阅
符合
现场查阅
符合
现场查阅
符合
ESD checklist 内审检查表
1/4
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18
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20 21 22
23
24
Are personnel checking their wrist straps for continuity at regular intervals and are the results of these checks logged consistently and kept? 人员所使用的静电手环是否有定期检测导通性,检测记录是否保持? M5. Check the wrist straps if ok on checker. 使用测试仪检测静电手环是否通过。 Are the wrist strap/conductive footwear checkers checked and maintained regularly? 静电手环及导电鞋测试仪是否有定期检查及维护? Do wrist straps and foot grounders fit correctly? 静电手环及足部接地装置使用是否正确? Do personnel wear ESD protective garments or smocks in ESD controlled areas ？ 人员在ESD控制区域是否有穿着静电防护衣? Are ESD protective garments correctly worn? 防静电衣是否有正确穿着? M6. Measure the resistance of the ESD protective garment/smock; Spec: <10^11 Ohms 测量静电衣表面电阻;规格：<10^11欧姆 Are the ground points of all equipment grounded to the common ESD ground of the 所有设备的接地点是否连接至工厂ESD共同接地点? M7. Measure the resistances between equipment ESD ground points and the common ESD ground; Spec: < 1 Ohm 测量设备静电接地点至共同接地点的阻值;规格：<1欧姆 M8. Measure the resistances between AC ground points and the common ESD ground; Spec: < 1 Ohm 测量交流接地点到至共同接地点的阻值;规格：<1欧姆 Is the soldering irons conforming with requirements in ESD control plan? 电烙铁是否符合ESD控制计划规定？ M9. Measure the resistance between soldering iron tip and the common ESD groud; Spec：<5 Ohm 测量烙铁头至共同接地点的阻值：规格：<5欧姆 Is the surface of the worktable where ESD-sensitive devices are handled covered with a static dissipative mat? 处理静电敏感组件时是否于工作台上铺设静电消散垫子? Are there any insulative materials in ESD controlled areas, e.g., plastic bags, plastic envelopes, plastic folders, boxes? Is there a plan for any process required insulative materials that are considered a threat? 在ESD控制区域是否存在绝缘材料，例如，塑料包装袋，塑料信封，塑料活页夹，盒子？ 是否有对制程中所必要的绝缘材料的处理计划？ Where insulative materials are present in ESD controlled areas, are ionizers in use? 若绝缘材料存放于ESD控制区域是否有使用离子发生装置以消除静电压？ Where ionizers are in use, are these ionizers being checked and maintained regularly? 在使用的离子发生器是否有定期检查及维护？ Is the RH of ESD controlled areas maintained 45± 15RH, and is the RH in these areas monitored? ESD控制区域是否监测湿度维持湿度在45± 15RH? Is the temperature of ESD controlled areas maintained 23.5± 2 ℃, and is the temperature in these areas monitored? ESD控制区域是否监测温度维持温度在23.5± 2℃?
ESD内部审核日程计划表+内审检查表+内审报告全套资料
（3）、审核员发现的不符合项都已在现场向受审核部门的有关人员指明，并由他们确认。同时，审核人员还就不合格项与受审核部门商讨了纠正方法。
品质部
ESD相关条款
6.1/6.2/7.1/7.2/7.3/8.1/8.2/8.3/8.4/8.5
6月14日
9:00-12:00
相关部门
ESD相关条款
6.1/6.2/7.1/7.2/7.3/8.1/8.2/8.3/8.4/8.5
研发部
ESD相关条款
6.1/6.2/7.2
实验室
ESD相关条款
6.1/6.2/7.1/7.2/7.3/8.1/8.2/8.3/8.4/8.5
建议的纠正措施计划：
1.立即要求员工佩戴静电手环。
2.对此员工安排ESD培训并考核。
3.对车间员工再次培训ESD并考核。
部门负责人： 日期：
批准： 日期：
纠正措施完成情况：
1.现场员工已佩戴静电手环。2.已培训，有培训记录，考核合格。3.已培训，有培训记录，考核合格。
部门负责人：日期：
验证：
已完成。
3.仪器、仪表、电源等设备的电源插头应完全插入到插座上，不允许浮着；
6
周转车
1.周转车链条牢固，并自然下垂至地面
2.每层台垫应单独和链条连接；接地夹2端连接可靠，无脱落；
3.各分支与链条连接端与采用焊接方式固定；
4.台垫表面无污渍、无大面积破损；
7
货架
1.每层货架的台垫单独和地线连接；接地夹2端连接可靠，无脱落；
ESD内审检查表
ESD内审检查表审核位置：ME序号审核要点审核证据参考文件符合性备注1 固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到指定的接地点，且接线或接点必须卷边或者焊接？ESD控制规范2 生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出来，且粘贴ESD标签？ESD控制规范3 是否对每个工作站接地进行检查，并记录《ESD接地及表面电阻检测记录表》？记录保存年限：3年ESD控制规范4 是否对所有的防静电桌垫每周一次进行表面电阻检测，并作检测记录，对检测不符合要求的，是否用好的桌垫进行更换？ESD控制规范5 有无定期（每6个月）用表面电阻测试仪检测所有防静电周转箱、防静电托盘、防静电料盒的表面电阻，并将测试结果记录在M4FM123《检测记录表》中？ESD控制规范6 防静电地板是否干净且无破损，是否对其表面电阻每一季度检测一次，并记录《静电地板表面电阻检测记录表》？ESD控制规范7 是否每周一次使用已校准的静电场测试仪进行静电电压检测，并记录《静电电压测量记录》？ESD控制规范8 移动存储装置（周转推车、移动存储架、移动存储桌子等非固定装置）是否每周检测一次接地点及表面电阻值，并同时记录在M4FM386《ESD接地及表面电阻检测记录表》中？ESD控制规范9 是否对工厂总接地电阻进行测量，并记录在M4FM387《总接地电阻检测记录表》中？ESD控制规范审核位置：车间线体/工作站序号审核要点审核证据参考文件符合性备注1 桌垫表面是否清洁，并且保证接到ESD地上？ ESD控制规范2 是否确保静电手环没有损坏，或没有松动的连接？ ESD控制规范3 是否确保不必要的个人物品不可放置在ESD工作台上，确保防静电工位远离能产生静电的物品，像泡沫、塑料文件夹等？ESD控制规范4 有无确保正在使用的工作台或传输带没有“停止操作”的标志牌？ESD控制规范5 电烙铁使用人员每日在烙铁温度调试之前是否对电烙 ESD控制规范铁接地电阻测试一次，并记录《每周工具检测表》？审核位置：个人腕带的确认及ESD防护序号审核要点审核证据参考文件符合性备注1 腕带使用者换班之前和中午（午夜）吃饭后是否进行腕带检测，并将检测结果记录在E4FM019《防静电手环测试记录表》中。
2019年ESD防静电审核检查表(ESD Checklist)
3
Where ESD protective flooring is used, is the flooring grounded to the plant's common ESD ground?
是否有使用ESD保護地板並且連接至車間共同接地點?
□符合□不符合
4
Is the ESD protective flooring grounded properly at prescribed intervals?
M5. Measure the resistance between a workstation ESD ground point and the common ESD ground; Spec: < 1 Ohm
測量工作站ESD接地點至共同接地點間的阻值;規格：<1歐姆
□符合□不符合
8
Are personnel wearing grounded wrist straps at the ESD-protected workstations?
一次性腳環是否限定一次性使用?
□符合□不符合
15
Do personnel wear ESD protective garments or smocks in ESD controlled areas
人員在ESD管制區域是否有穿著靜電防護衣?
□符合□不符合
16
Are ESD protective garments correctly worn?
防靜電衣是否有正確穿著?
M6. Measure the resistivity of the ESD protective garment/smock; Spec: 0-1e5 Ohms/Square
内审检查表(Q、E、S)
内审检查表(Q、E、S)内审检查表检查部门：综合办公室标准条款检查内容检查记录Q：6.2.2E / S：4.4.2 8、查公司员工培训计划及相关的培训记录，核查对三个管理体系标准、公司的管理体系文件的全员培训实施情况。
(1)查《年度培训计划》的培训内容是否全面，是否涉及了全员进行三个管理体系标准及公司的管理体系文件。
(2)抽查3项培训计划的实施情况：培训实施计划、记录及相关的试卷等。
(3)对培训效果的评价。
9、查公司的《特种作业人员台帐》，核查登记内容对特种作业人员的识别是否充分。
抽查各种类型特种作业人员的操作证是否齐全查检验员的操作证。
10、新员工及转岗员工三级教育的实施情况检查：新员工及转岗内审检查表检查部门：化验室Q：8.2.4、8.3 定合格证（记录证件编号）。
(2)抽查几种（如水筛、比表面积仪、试模等）自校设备的的校准记录是否按校准规程及规定的周期校准，记录是否完整符合要求。
询问校设备人校准方法。
(3)抽查对多元素分析仪、氯离子测定仪、水泥组份测量仪的校准。
(4)抽查三种标准溶液的标定记录及复标记录，是否按规定校准。
查最后一次标定的记录与在用的溶液核对一致性。
询问标定人标定方法及符合要求的判断标准5、查<化验室质量管理手册>进厂原材料的检验和控制策划、实施，有不合格品时的处理。
(1)询问负责人本厂所用的原材料，查质量控制标准中是否覆盖了所用的原材料。
是否规定了检验的频次、周期。
(2)查相关的检验方法文件确认检验方法是否符合规定的要求。
(3)查进厂原材料台帐，查每一种进厂原材料质量，记录检验的批次，最高值、最低值及平均值。
量指标（最少有生料的CaO、FeO3、细度；熟料的fCaO、28天强度、熟料比表面积；出磨水泥三天强度、细度、SO3等内容）完成结果，记录最高月、最低月和平均值。
(4)抽查各种过程产品最低月份的质量控制记录，查配比通知单及是否正确执行，是否有不合格品情况发生。
ESD查检表
ESD 季稽核查检表部门：组长：日期：A.ESD负责人需求：YES NO N/A1. 是否有ESD负责人之设置？[] []2. 是否每部门，每班都有设置[] []B.训练和资格：YES NO N/A3. 是否有提供ESD资格训练课程，训练资料和资格有效时间是否有监管？[] []4. 训练是否有实作说明和考试？[] []5. 全部的ESD稽核员是否受训合格？[] []6. 静电区的所有工作人员是否皆ESD资格？[] []C.防静电工作桌YES NO N/A7. 防静电工作区内每个ESD敏感的工作站都有标示吗？[] []8. 是否所有电气设备都有做接地？[] [] []9. 全部防静电工作桌是否有接地静电环插座且其连接是否合于规定？[] [] []10. 距离工作桌1公尺内之所有物品其静电电压是否都低于100V？[] [] [][] [] [] 11. 如有局部防静电处置（如防静电喷剂），是否每周实施一次？合乎静电电压低于100V以下之规定？[] [] [] 12. 所有离子风扇动作是否正常而置放是否正确？离子平衡测试是否按月校验？13. 工作桌对地阻抗是否在1MΩ与1000MΩ之间？[] [] []D.个人接地部份YES NO N/A14. 戴上静电环的人其指尖至地的阻抗是否在0.5MΩ与50MΩ之间？[] [] []15. 穿上导电鞋的人其指尖至地的阻抗是否在0.5MΩ与50MΩ之间？[] [] []16. 导电地板对地阻抗是否在25K Ω与5M Ω之间？ [] [] []17. 静电环和导电鞋检查器功能是否正常，每季是否校正？[] []18. 在防静电区内的所有人（包括工程师和访客）是否都接地（戴上静电环或穿上导电鞋）？ [] [] []19. 假如使用静电鞋，则是否同时使用导电地板？[] [] 20. 距离ESD 敏感零组件1公尺内之物品例如外套头发等，其静电电压是否低于100V ？ [] []E. ESD 敏感确认YES NO N/A 21. 是否对ESD 敏感项目予以确认？ [] []F. 包装和标示YES NO N/A22. 若不在防静电桌或区域内，是不是所有的ESD 敏感零组件都置于封闭的 ESD 摒蔽容器内，而不外露？ [] [] 23. 是否有静电源和ESD 敏感零组件一起放在ESD 摒蔽容器内？ [] [] 24. 导电和静电消散包装材料再次回收使用前是否有检查？ [] [] 25. 有否使用过时的防静电包装材料？[] [] []26. 是否使用之包装材料皆为ESD 合格的材料？ [] [] 27. 装ESD 材料之ESD 容器是否有清楚可见的标识？ [] []G. 稽核和资料保管YES NO N/A28. 在有ESD 要求的工作场合之每位工作人员是否每天执行“每日点检”？ [] []29. 每个季的内部稽核结果是否有向经理层和ESD Coordinator 报告？ [] [] 30. 每季内部稽核资料是否完全而准确？ [] [] 31. 年度稽核是否彻底及准时（15个月内）？ [] []H. 矫正措施YES NO N/A 32. 有没有证据来说明矫正措施已被完全正确执行？[] []合计 YES NO N/A[] [] []{}{}{}%%100NO YE S YE S 100＝得分＝⨯+⨯。
ESD静电检查表-中英文版
01
01
Surface Resistiviy for Shielding Material 静电屏蔽材料的表面电阻率
R<104 Ohms/sq
Audit Data 审核数据
03
B--Equipment grounding conductor resistance 设备接地导体电阻
<1 Ohms
04
Equipment continuity resistance between any conductive or dissipative elements (such as nozzle ,conductive element and chain ) 设备任何传导性/耗散性部件之间连贯性 电阻(如吸嘴,传导性部件和链条)
Pass / Fail 0.9 Mohms <RTG<1.1 Mohms <4ohm
Audit Items 审查项目
Wrist strap as worn 防静电手带 ESD Socket to ground resistance 防静电插座对地电阻 A--Equipment to ground resistance 设备对地电阻
Surface Resistiviy for Conductive Material 传导材料的表面电阻率
R<105 Ohms/sq
防静电系统稽查数据表
Date/日期: Week/周: Result
结果
ea 拉号／区域：
稽查者: Audit Data 审核数据
ESD内部审核检查表
Ⅰ静电电压抽测
测量标准：无保护的ESD元件：12英寸以内≤±1000伏特（或按照供应商的建议） 标准设备：设备名称：数字静电测量仪. 序号 1 2 工作区域/工作站 校验有效期： 电压测量值（KV） 评价（通过/不通过）
Ⅱ接地及表面电阻抽测
测量标准：一.接地检测类型：工作站ESD接地电阻<1Ω；二.防静电类型：工作台垫表面电阻106Ω≤测量值≤1011Ω 标准设备：设备名称：数字多用表、 表面电阻测试仪. 工作站接地检测 校验有效期：
检验工序
工作站 L L
pt#
阻值（欧姆）
表面电阻
传输带
工作站 L L Ⅲ静电地板表面电阻抽测
标准设备：设备名称：表面电阻测试仪.
生产工序
pt#
表面电阻测量值
记录
测量标准：1.检测值≤1011欧姆/平方。2.检测周期为每季度检测一次。3.测量次数为每90平方米1次。 校验有效期：
检测工段
检测序号
检测值（欧姆）
序号
测试地点编号
测试阻值
状况描述
备注
备注
防静电周转箱、托盘、 Ⅳ防静电周转箱、托盘、元件盒表面电阻抽测
测量标准：1.防静电周转箱的测试点为四周的中间和隔段两区域任意两点，检测值≤1011Ω。2.检测周期为：次/半年 标准设备：设备名称：表面电阻测试仪. 校验有效期：
工段
检测序号
检测值（欧姆）
备注
Ⅴ总接地电阻检测
测量标准：1.测试数值≤4Ω为 接受，>4Ω为 不接受。2.测试点数为5个。3.工厂总接地检测周期：次/每年。 标准设备：设备名称：接地电阻测试仪 校验有效期：
esd点检表
点检日期： 项目
点检对象 静电环 接地线 烙铁 地面
防静电容器 防静电台垫
工作台 流水线自动传送带
表面电阻(Ω ) 泄漏电阻(Ω )
点检表
静电压(V)
频率
测试仪器
检测标准
每月一次
兆欧表
泄漏电阻为1×106Ω ±10％
每月一次 每月一次 每月一次
万用表和接地电阻测试仪 ＜4Ω
兆欧表
烙铁头接地电阻＜20Ω ，手柄 绝缘电阻1×107~1×108Ω
静电压表，万用表和兆欧表 200V ，1×104Ω ~ 109Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻>1012Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻：1×105Ω ~1×109Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻：1×106Ω ~1×109Ω
每月一次
兆欧表
表面电阻：1×106Ω ~1×109Ω
批准：
审核：
表单编号： 编制：
ESD检查报告表
检查 日
部门/生产线:
项目
内容
静电手环功能检测
静电手 环／套
静电手环夹子须连接ESD接地线
标准 －－
工具 静电手环测试仪
无松脱/接触良好
万用表
结果
稽核结果
静电手套允许最大静电电压
＜100V
静电电压测试仪
静电地面电阻阻抗值/静电电压 值
1X105~1011Ω/＜
表面阻抗测试仪 /静电电压测试
1、以上 注： 报告无表数中
据2、要稽求核 结果注栏栏由 内；
检查 人：
审核：
稽核：
FW-SG-04
静电电压测试仪
静电材料包装允许最大静电电压
＜100V
静电电压测试仪
防静电测试用之仪器校验有效性 校验合格且有标签
操作员/修理员有佩带静电手环 及佩带方法正确
SMT房及敏感元器件仓人员是否 穿静电衣、防静电鞋/帽
－－ －－
电批/烙铁与安全地线连接
无松脱/接触良好
接触静电敏感元器件使用ESD电 烙铁
目视 目视 目视 万用表 目视
100V
仪
防静电容具
＜100V
静电电压测试仪
备注
静电区域有ESD警告标识
－－
目视
仪器\设备\治具与安全接地线连 接
无松脱/接触良好
万用表
防静电工作台垫允许最大静电电 压
＜100V
静电电压测试仪
防静电工作台垫与ESD地线连接 生产线 /IQC/ 防静电椅垫允许最大静电电压 仓库
无松脱/接触良好
万用表
＜100V
(34)ESD检查记录表
检查时间 检查项目 进门ESD测试,抽查3人测试记录. 补焊人员手环配置 补焊处电烙铁接地 补焊处电烙铁接地电阻/电压抽查2台 分板人员手环配置 装配人员手环配置 装配处离子风机配置并OPEN 高压处绝缘垫防护 高压设备接地 修理人员手环配置并接地 修理处电烙铁接地 各流动人员手环或脚环配置 各工序岗位人员的椅子链条接地 流水线ESD垫及流水线接地 说明：检验结果填写"NG"或"OK"
车间ESD点检记录表
检查人:
上午 7:30-11:00
备注
异常处理
编号: SM6.3-034
下午 12:00-17:00
日期: 备注
异常处理
编号: SM6.3-034
检查时间 检查项目 进门ESD测试,抽查3人测试记录. 补焊人员手环配置 补焊处电烙铁接地 补焊处电烙铁接地电阻/电压抽查2台 分板人员手环配置 装配人员手环配ห้องสมุดไป่ตู้ 装配处离子风机配置并OPEN 高压处绝缘垫防护 高压设备接地 修理人员手环配置并接地 修理处电烙铁接地 各流动人员手环或脚环配置 各工序岗位人员的椅子链条接地 流水线ESD垫及流水线接地
检查时间 检查项目 进门ESD测试,抽查3人测试记录. 补焊人员手环配置 补焊处电烙铁接地 补焊处电烙铁接地电阻/电压抽查2台 分板人员手环配置 装配人员手环配置 装配处离子风机配置并OPEN 高压处绝缘垫防护 高压设备接地 修理人员手环配置并接地 修理处电烙铁接地 各流动人员手环或脚环配置 各工序岗位人员的椅子链条接地 流水线ESD垫及流水线接地 说明：检验结果填写"NG"或"OK"
九江世明玻璃有限公司 车间ESD点检记录表
ESD内部审核检查表
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设备部
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设备部 设备部
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ESD保护台操作区域是否设置静电手环接地点 （报警器、接地插座、接地端子）? 防静电保护台上是否有设置一个静电手环接地 点供客人和管理人员使用? 是否有检查ESD保护台上其它通电仪器设备治 工具是否有接二次保护红色设备接地线?
设备部
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设备部 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 品保 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保 品保
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离子风机/风扇/风棒/风枪是否有固定位置 距产品30cm、定最大风速、定45-90角度
离子风机/风扇/风棒/风枪是否有每日保养、 每月拆机清洁及记录与存档 ESD控制区的人员是否都参加过ESD培训、
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1
是否有培训签到表、考核试卷、上岗证? 进入EPA防静电工作区的外来人员是否符 合ESD操作要求或有ESD合格人员陪同?
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五:ESD控 制区
4
人员进入EPA区域是否按照无尘服/静电衣帽鞋 生产、IQC、 仓库、品保 着装标准执行?
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手腕带测试仪、人体综合测试仪、手环报警器 生产、IQC、 、接地插点、接地电阻测试仪、静电压测试仪 仓库、品保 是否足够?
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在保护台和工作区是否有非防静电的绝缘物料 （如普通Tary、泡棉、泡沫、胶袋、胶布、纸 生产、IQC、 、笔等个人物品）是否与ESD敏感器件相距 仓库、品保 30cm以上? EPA区域防静电地板/静电地垫/工作椅/货料/ 周转车是否接地？ 生产、IQC、 仓库、品保
EPA内是否有温湿度控制系统，当温湿度超标 厂务部、生产 时有无文件规定如何操作、ESD敏感元件或ESD 、IQC、仓库 产品如何操作? EPA、仓库、IQC是否配置温湿度计，是否有校 生产、IQC、 验，是否每班有温湿度记录? 仓库 EPA区域是否安装防静电地板/静电地垫？是否 有定期检测接地电阻？ EPA区域是否有配置人员（含客户/供应商等外 来人员）使用的防静电衣帽鞋、手环手套，外 来人员是否有ESD合格人员陪同? 是否配置手腕带测试仪、人体综合测试仪、手 环报警器、接地插点、接地电阻测试仪、静电 压测试仪？ 防静电检测仪器是否遵循了校验和维护程序，并 处于有效期内? EPA区域是否配置静电接地线、设备接地线供 人员、设备接地？是否有定期检测接地电阻？ 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库 生产、IQC、 仓库、品保 生产、IQC、 仓库、品保
ESD防护项目检查表
频率 每日必巡检 项目 a）腕带 b）ESD防护鞋 c）个人ESD防护衣穿着 d）个人穿着之腕带或ESD防护鞋 a）ESD防护工作站(如：接地） b）ESD防护地板(如：清洁地板，避免破损） c）ESD接地连接（如：腕带，台垫接地线） a）ESD防护区域及工作站静电电压的测量 a）ESD防护静电消散工作表面之ESD接地的电阻值 b）ESD导电工作表面至ESD接地电阻值 c)ESD防护地板至ESD接地的电阻值 d）腕带测试器 e）ESD接地至接地点 a）空气游离器使用 b）空气游离器充电衰减使用 ESD系统符合本规范
建议周检
建议月检
建议季检
建议年检 建议年检
目检查表
允许标准 参考章节 ≥500K to ≤10M 6.4/6.4.1 9 6.4/6.4.1 ≥500K to ≤10 Ω 目视检查 11.4 目视检查 6.3 目视检查 7.3/7.4.1/7.4.2 目视检查 7.3/7.5 目视检查 7.3/7.6 未受保护的ESD敏感元 6.5 件在12英寸内必修≤± 1000 7.3/7.4.1 ≥105 to ≤109Ω ﹤1000K（无串联电阻） 4.3/7.3/2 4 9 7.5 ≥10 to ≤10 Ω ≥500K to ≤10M 6.4.3 ﹤1.0 4.10/7.6/7.7/7.8/7.9 平衡﹤±35v 11.3e 参考制造商规格参数 11.3f 使用ESD稽核表 9.2
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审核位置： ESD相关物品的购买 审核位置： ESD相关物品的购买
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
1 所有和ESD有关的物品供应商有无提供符合国家标准的相关检测报告？ 2 所有和ESD有关的物品有无IQC人员实际检测，合格后才能办理付款手续？
是否确保不必要的个人物品不可放置在ESD工作台上，确保防静电工位远离能产
4 有无确保正在使用的工作台或传输带没有“停止操作”的标志牌？ 5 录《每周工具检测表》？
电烙铁使用人员每日在烙铁温度调试之前是否对电烙铁接地电阻测试一次，并记
审核位置：个人腕带的确认及ESD防护 审核位置：个人腕带的确认及ESD防护 ESD
审核位置：车间线体/ 审核位置：车间线体/工作站
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
1 桌垫表面是否清洁，并且保证接到ESD地上？ 2 是否确保静电手环没有损坏，或没有松动的连接？ 3 生静电的物品，像泡沫、塑料文件夹等？
接触ESDS元件的新入职人员是否经过ESD培训合格后才能上岗，正常每半年有各
审核位置：QA巡检员 审核位置：QA巡检员
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
1 QA巡检员是否每周一次根据ESD稽查表进行检查？ 2 发现不符合ESD控制要求的行为，QA如何处理？ 3 QA组长是否对提交的ESD稽查表进行了审核确认？
符合性
备注
1 所有的ESD设备在运输过程中，是否一直处在防静电的容器中？ 2
是否确保不需要或私人物品不可置于ESD保护工作面，始终保持静电消耗或抗静 电工作站无静电产生的材料如泡沫聚苯乙烯 、塑料支架或塑料文件夹？
3 在处理电路板时有无戴干净的防静电手套或指套？ 4 导电的脚轮接地？
当运送ESDS时如果使用如金属手推车一类的移动工具时，手推车有无通过拖链或
审核证据
参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
审核位置： 审核位置：培训
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
1 所有处理ESDS元件的人员是否进行ESD控制和处理的培训，有无培训记录？ 2 人员是否通过ESD知识考试并达到合格？ 3 工段负责人组织进行一次系统培训？
序号 审核要点
腕带使用者换班之前和中午（午夜）吃饭后是否进行腕带检测，并将检测结果记
审核证据
参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性Βιβλιοθήκη 备注1 录在E4FM019《防静电手环测试记录表》中。
2 《防静电手环检测记录表》是否每天由线长或工段负责人签字审核？ 3 ESD控制区作业人员是否穿戴好ESD防护衣服、防静电帽、防静电鞋？ 4 非必须的及个人的物品不得放置在ESD防护工作台表面？
审核位置： 审核位置：其它
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 Q3CR079 物料存储条件规范
符合性
备注
1 在ESD保护区域是否有粘贴ESD警告标签？ 2 各工作站是否有部门负责人专门指定ESD控制执行？ 3 每个ESD测试点是否粘贴ESD位置标签，该标签字迹是否清楚且编号唯一？ 4 相对湿度是否满足要求SMT:40%-55%RH； SMT备料库、敏感材料仓库：35%-55%RH？
5 在接触静电敏感材料时有无佩戴防静电手环？ 6 充电物品不可接触ESD敏感元件，是否满足？
所有人员进入生产车间时，是否穿戴好防静电服、工作鞋、防静电帽，所有人员
审核位置： 审核位置：重工
序号 1 2 审核要点
严禁徒手接触ESD元件，是否使用抗静电真空笔或无磁性的镊子取放ESDS元件？ ESD元件必须被真空包装，暴露的时间是否在受控的环境中？
6 静电地板表面电阻检测记录表》？ 7 测量记录》？ 8 9
是否每周一次使用已校准的静电场测试仪进行静电电压检测，并记录《静电电压
移动存储装置（周转推车、移动存储架、移动存储桌子等非固定装置）是否每周 检测一次接地点及表面电阻值，并同时记录在M4FM386《ESD接地及表面电阻检测 记录表》中？ 是否对工厂总接地电阻进行测量，并记录在M4FM387 《总接地电阻检测记录表》 中？
ESD内审检查表 ESD内审检查表 REV：1.0
审核位置： 审核位置：ME
序号 1 或接点必须卷边或者焊接？ 审核要点
审核员： 审核员：
审核证据
日期： 日期：
参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范
符合性
备注
固定或连接设备如金属角钢、揿钮和香蕉插头是否连接到指定的接地点，且接线
2 生产线使用或新的工作站建立有无接地点被明显的标记出来，且粘贴ESD标签？ 3 是否对每个工作站接地进行检查，并记录《ESD接地及表面电阻检测记录表》？ 4 5
记录保存年限：3年 是否对所有的防静电桌垫每周一次进行表面电阻检测，并作检测记录，对检测不 符合要求的，是否用好的桌垫进行更换？ 有无定期（每6个月）用表面电阻测试仪检测所有防静电周转箱、防静电托盘、 防静电料盒的表面电阻，并将测试结果记录在M4FM123《 检测记录表 》中？ 防静电地板是否干净且无破损，是否对其表面电阻每一季度检测一次，并记录《
审核位置：ESD元件的存储、运输、处理 审核位置：ESD元件的存储、运输、 元件的存储
序号 审核要点 审核证据 参考文件
E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范 E3CR003 ESD控制规范