光驰机镀膜基本操作

Ar2
2.启动中和器:显示屏右下角有一绿灯亮起为中和器启动成功
手动 按纽
中和器启 动按纽
亮绿灯
①.打开手动形式 ②.启动中和器 ③.显示屏上的显示
手动启动离子源
3、启动离子源:右下脚有两绿灯亮器为离子源启动成功。 4、离子源的启动要在中和器启动后120秒才能进行; 5、如果离子源启动失败,可以通过加大Ar1进行重新启动。
MAIN菜单
关门抽真空,
按
Leabharlann Baidu
CHAMBER EXHAUST
弹出英文对话框 选择 NO HEATING
EVAPORATION CONTROL界面
熔料
预熔 SIO2 ： 1、将SIO2坩埚转速调整为 400，然后按 RORARION 键启动； 2、将SIO2电子枪各参数调整为： SCAN:X=56; Y=15,POSITION:X=30;Y=44 。然
等待门自动打开
光驰机镀膜基本操作
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镀膜基础知识培训教程<一>
光驰机镀膜基本操作
课程大纲
?1.抽真空 ?2.熔料 ?3.手动启动离子源 ?4.开始镀膜 ?5.消除报警 ?6.镀完膜后放气
抽真空
1、先要对真空室进行彻底清洁，然后装入镀膜镜片，关好真空室门。 2、在触摸屏控制面板上，MAIN菜单里的EVAPORATION CONTROL界面 选择CHAMBER EXHAUST，如下图所示。 3、抽气是各阀门的关闭和启动，机器会自动进行。
消除报警方法
MAIN
BUZZER
MENU
6 ALARN INDICATION
COMPEL STOP
查找报警原因并解决问题
ALARM RESET
开始镀膜
镀完膜后放气
镀完膜后，进行正常放气。
如果电脑上自动放气 CHAMBER VENT 气
按键不被锁定,只需等待自动放
放气 .按
CHAMBER VENT
此处控制 SIO2 电子枪参数
熔料
预熔TIO2： 1、在电脑界面按select键选择熔料膜系SO580 PRE Melting 6，在膜
系中选择正确的坩埚位置，保存并关闭。 2、点START键 3、TIO2需熔两遍，然后点击cancel取消熔料膜系，熔料完成。
手动启动离子源
注意：熔料时可以手动启动中和器，注意不可启动离子源。 1.开Ar气：分别将Ar1和Ar2加到20和8
后记下位置，作为熔料的初始位置，。 3、 SIO2熔完一圈后，先按 ACC/FIL 键关闭电子枪，然后按 RORARION 键，关闭
SIO2坩埚旋转。 注意： CCW为顺时针旋转， CW为逆时针旋转，镀膜时为顺时针旋转。
点此按钮 调整SIO2 坩埚转速
点此按钮启 动SIO2坩埚
必须为此按钮， 为顺时针方向
离子源启 动按纽
正常启动 值为500左 右
①.启动离子源
②.显示屏上的显示
开始镀膜
1、选择膜系：在DELL电脑界面上，根据镜片分光要求，按select选 择膜系； 2、按start键后,会弹出对话框,按continue键，继续弹出对话框,再按 continue,会提示烧灯丝60s,之后等待镀膜 注意：若镀膜过程中发生报警,则首先消除报警,再查找报警原因。