镀膜机安全技术操作规程正式版

Guide operators to deal with the process of things, and require them to be familiar with the details of safety technology and be able to complete things after special training.镀膜机安全技术操作规程

正式版

镀膜机安全技术操作规程正式版

下载提示：此操作规程资料适用于指导操作人员处理某件事情的流程和主要的行动方向，并要求参加施工的人员，熟知本工种的安全技术细节和经过专门训练，合格的情况下完成列表中的每个操作事项。文档可以直接使用，也可根据实际需要修订后使用。

一、目的

消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威胁、使环境遭到污染的因素或现象，避免设备事故的发生，实现安全正常生产。

二、适用范围

本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。

三、安全操作规程

1、开机前先检查各真空泵的油位高度，如有不足要补充后再开机。

2、开高阀前必须对溅射室抽低真空，

待压力达到5Pa时，方可打开高阀，不允许直接用扩散泵抽高于5Pa压力的溅射室。

3、操作或维修高阀时，阀两侧压力基本一致时才能开高阀。

4、对溅射室充气前，应首先切断真空计的高真空测量，以免损坏电离规管。

5、设备使用中途停水时，应立即切断扩散泵和溅射电源。

6、设备使用中途停电时，应将真空计的电离规管关闭，关压电阀，关“充气阀”，关溅射电源，关工件旋转和烘烤电源等，待来电后重新启动。

7、应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换新靶材。

8、拆装弧靶时，应先关闭冷却水，拆下水管，用压缩空气吹净靶体内的水，防止水滴在溅射室内；并且不能损伤靶体，尤其是密封面。

9、更换靶材时，不能损坏密封表面、靶阴极体及靶零件，必须清除油污及汗渍。

10、开启溅射室盖时，室内应处于常压，决不允许真空室处于真空状态时开启室盖。

11、操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业，注意设备本身及设备运行中的安全，特别要重视安全装置的检查与使用。

——此位置可填写公司或团队名字——