1第一章 精密测量技术概论1
《精密测量技术》PPT课件
圆分度误差:分度要素的实际位置相对于理想位置的偏差,用θi表示。
00 10 20
2023/8/18
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2.零起分度误差
以零刻线的实际位置为基准,确定全部刻线的理论位置,
并由此求得的分度误差称为零起分度误差,用 0 , i
表示。零起分度误差的一般表达式为
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一、角度的单位和自然基准
1、角度的单位:
国际单位制:弧度(rad) → 分析、计算 非国际单位:度(°)、分(´)、秒(") → 实际应用(加工、测试) 换算:1°= 60´, 1´= 60", 1rad = 180/π°≈ 57.296°
2、角度的自然基准:
角度自然基准:360°圆周(绝对准确,没有误差)
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正弦规按正弦原理工
作,即在平板工作面
与正弦规一侧的圆柱
之间安放一组尺寸为 H的量块,使正弦规 工作面相对于平板工 作面的倾斜角度0 等于被测角(锥)度的 公称值,(如图所示)。 量块尺寸H由下式决 定
sin0 H/L
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第三节、圆分度误差测量
• 一、圆分度误差的概念
直接测量:测量0~360之间的任意 角度
1、测角仪:精密仪器,最小分辨率可达0.01"
构成:1-工作台:固定被测件 4-自准直光管:对准目标 5-读数装置:瞄准读数
原理:先瞄准被测件的一个平面,读数α1
转动工作台,再次瞄准另一个平面,读数α2,
被测角度: A B 1 C 8 (0 21 )
角度基准:分度盘、圆光栅、码盘
精密测量技术
精密测量技术一、背景研究跟着社会的发展,一般机械加工的加工偏差从过去的mm级向“ m级发展,精密加工则从 10 p,m级向炉级发展,超精美加工正在向nm级工艺发展。
由此,制造业对精美丈量仪器的需求愈来愈宽泛,同时偏差要求也愈来愈高。
精美丈量是精密加工中的重要构成部分,精美加工的偏差要依靠丈量正确度来保证。
目前,对于丈量偏差已经由“ m级向 nm级提高,并且这类趋向一年比一年迅猛[1] 。
二、概括现代精美丈量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交错学科,它和精美超精美加工技术相辅相成,为精美超精美加工供给了评论和检测手段;精美超精美加工水平的提高又为精美丈量供给了有力的仪器保障。
现代丈量技术波及宽泛的学科领域,它的发展需要众多有关学科的支持,在现代工业制造技术和科学研究中,丈量仪器拥有精美化、集成化、智能化的发展趋向,作为来世纪的要点发展目标,各国在微 /纳米丈量技术领域展开了宽泛的应用研究[1]。
三、丈量技术及应用特色3.1扫描探针显微镜1981年美国 IBM 公司研制成功的扫描地道显微镜 (STM), 将人们带到了微观世界。
STM 拥有极高的空间分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分别达到 0.1nm和0.01nm,即可分辨出单个原子),宽泛应用于表面科学、资料科学和生命科学等研究领域 ,在必定程度上推进了纳米技术的产生和发展。
与此同时,鉴于 STM 相像原理与构造 ,接踵产生了一系列利用探针与样品的不一样互相作用来探测表面或界面纳米尺度上表现出来性质的扫描探针显微镜(SPM),用来获取经过 STM 没法获取的有关表面构造和性质的各样信息,成为人类认识微观世界的有力工具。
下边介绍几种拥有代表性的扫描探针显微镜。
(1)原子力显微镜( AFM ):AFM 利用微探针在样品表面划过时带动高敏感性的微悬臂梁随表面起伏而上下运动 ,经过光学方法或地道电流检测出微悬臂梁的位移 ,实现探针尖端原子与表面原子间排挤力检测 ,进而获取表面容貌信息。
精密测量技术1-绪论-几何测量
精密测量技术主讲人:蒋永刚jiangyg@现代制造的内涵微/纳机械系统E0512 机构学与机器人E0501 E0502传动机械学机械测试 理论与技术 E0511制造系统与自动化E0510 E0503机械动力学零件加工制造E0509 E0504机械结构强度学机械摩擦学与表面技术E0505E0508 零件成形制造 E0507 E0506机械仿生学机械设计学可观测性是制造的前提!测量的概念测量技术的发展•精密测量技术是机械工业发展的先决条件之一。
•从生产发展的历史来看,精密加工精度的提高总是与精密测量技术的发展水平相关的。
–由于有了千分尺类量具,使加工精度达到了0.01mm;–有了测微比较仪,使加工精度达到了1μm左右;–有了圆度仪等;测量仪器、使加工精度达到了0.1μm;–有了激光干涉仪,使加工精度达到了0.01μm。
•目前国际上机床的加工水平已能稳定地达到1μm的精度,正在向着稳定精度为纳米级的加工水平发展,表面粗糙度的测量则向亚纳米级的水平发展。
纳米技术正在形成新的技术热点。
•材料、精密加工、精密测量与控制是现代精密机械工程的三大支柱。
•目前在基础工业的某些领域,例如研究切削速度与进刀量对加工误差的影响、摩擦磨损等,精密测量已成为不可分割的重要组成部分。
• X射线干涉仪的工作台能在10 nm的分辨力下连续移动,而且在50 mm的位移行程上的角偏量为千分之几的秒级。
•在高纯度单晶硅的晶格参数测量中,以及对生物细胞、空气污染微粒、纳米材料等基础研究中,无不需要精密测量技术。
•激光直写 DWL2000•计量技术发展的趋向有以下几个方面:• 1、从实物基准到自然基准•米的定义的沿革:“米”作为长度计量单位起源于1790年,当时法国国民议会采纳了达特兰提出的“以经过巴黎的地球子午线自北极至赤道这段弧长的一千万分之一为一米”的建议。
• 1799年,巴黎科学院完成了从法国的敦科尔克经过巴黎到西班牙的巴尔雪隆纳这一段子午线的实测工作,并按照测量结果所得的1米的长度制作了一把米尺,作为长度计量基准。
精密测量理论与技术(1)
目录第一章绪论 (2)1.1引言 (2)1.2工业4.0背景下精密测量技术的意义 (2)1.3工业4.0背景下纳米三坐标测量机国外发展现状 (3)第二章纳米三坐标测量机的系统结构 (6)2.1纳米三坐标测量机“331”布局原则 (6)2.2“331”原则结构系统组成 (6)2.3测量机的不完善性对“331”结构的影响 (9)2.4纳米三坐标测量机结构系统 (10)2.4.1测量机总体结构组成 (10)2.4.2测量机测量系统简介 (11)2.4.3纳米三维测头 (12)2.4.4测量机力平衡系统及隔振控温系统 (13)2.5纳米三坐标测量机的精度分析 (14)2.5.1激光干涉仪波长稳定度误差 (15)2.5.2激光反射镜误差 (16)2.5.3测量机几何误差 (17)2.5.4测量机几何误差总表达式 (19)第三章三坐标测量机在工业4.0背景下的应用 (21)参考文献 (22)第一章绪论1.1引言德国“工业4.0”从倡议到形成国家战略,其发展过程可以简单描述如下: 2011年,在汉诺威工业博览会开幕式致辞中,德国人工智能研究中心负责人和执行总裁Wolfgang Wahlster教授首次提出“工业4.0”这一词,旨在通过互联网的推动,形成第四次工业革命的雏形。
" 2013年,是“工业4.0”在德国发展非常快速的一年。
德国信息通讯新媒体协会(巳工丁KOM)、德国机械设备及制造协会(VDMA)和电气电子行业协会(ZVEI)建立了“工业4.0”研讨平台,并在法兰克福设立秘书处,在互联网上开设了一个门户(http : / /. plattform-i40. de/)。
" 2013年,德国成立了“工业4.0”工作组,并于同年4月在汉诺威工业博览会上发布了最终报告《保障德国制造业的未来:关于实施工业4.0战略的建议》(Securing the future of German manufactur-ing industry:Recommendations for implementing thestrategic initiative INDUSTRIE 4.0)。
精密测量技术1-绪论-几何测量
精密测量技术主讲人:蒋永刚jiangyg@现代制造的内涵微/纳机械系统E0512 机构学与机器人E0501 E0502传动机械学机械测试 理论与技术 E0511制造系统与自动化E0510 E0503机械动力学零件加工制造E0509 E0504机械结构强度学机械摩擦学与表面技术E0505E0508 零件成形制造 E0507 E0506机械仿生学机械设计学可观测性是制造的前提!测量的概念测量技术的发展•精密测量技术是机械工业发展的先决条件之一。
•从生产发展的历史来看,精密加工精度的提高总是与精密测量技术的发展水平相关的。
–由于有了千分尺类量具,使加工精度达到了0.01mm;–有了测微比较仪,使加工精度达到了1μm左右;–有了圆度仪等;测量仪器、使加工精度达到了0.1μm;–有了激光干涉仪,使加工精度达到了0.01μm。
•目前国际上机床的加工水平已能稳定地达到1μm的精度,正在向着稳定精度为纳米级的加工水平发展,表面粗糙度的测量则向亚纳米级的水平发展。
纳米技术正在形成新的技术热点。
•材料、精密加工、精密测量与控制是现代精密机械工程的三大支柱。
•目前在基础工业的某些领域,例如研究切削速度与进刀量对加工误差的影响、摩擦磨损等,精密测量已成为不可分割的重要组成部分。
• X射线干涉仪的工作台能在10 nm的分辨力下连续移动,而且在50 mm的位移行程上的角偏量为千分之几的秒级。
•在高纯度单晶硅的晶格参数测量中,以及对生物细胞、空气污染微粒、纳米材料等基础研究中,无不需要精密测量技术。
•激光直写 DWL2000•计量技术发展的趋向有以下几个方面:• 1、从实物基准到自然基准•米的定义的沿革:“米”作为长度计量单位起源于1790年,当时法国国民议会采纳了达特兰提出的“以经过巴黎的地球子午线自北极至赤道这段弧长的一千万分之一为一米”的建议。
• 1799年,巴黎科学院完成了从法国的敦科尔克经过巴黎到西班牙的巴尔雪隆纳这一段子午线的实测工作,并按照测量结果所得的1米的长度制作了一把米尺,作为长度计量基准。
精密测量技术
教师:黄民双 北京石油化工学院
2019/12/15
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课程目标
《精密测量技术》为测控技术与仪器专业 必修课。
各类几何量测量的基本原理和方法
现代计量测试新技术
目的:建立精密机械量测量的基本概念, 形成具有初步解决工程测量中几何参量精密 测试问题的能力 。
2019/12/15
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教材
教材: 李岩 花国梁.精密测量技术(修订版).北京:中国计 量出版社,2001.8 参考书:宁广庆.机械制造质量控制技术基础.北京: 北京航天 航空大学出版社2007.4
2019/12/15
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日常生活中我们离不开测量,例如,量体 裁衣、钟表计时、购物称重等,是对长度、 时间、重量等物理量的测量。在工业生产 中,为了保证加工零部件的准确一致,保 证零部件的互换性能,保证产品的质量和 提高产品的使用寿命等,必须进行准确地 测量,测量技术水平已成为影响产品竞争 能力和经济效益的重要因素之一。
技术重要组成部分的几何量计量测试,更有着
悠久的发展历史。距今约有四千年的商朝出现
了象牙制成的尺,秦始皇称帝后统一了度量衡
制度,已有互换性生产的萌芽,这从西安秦兵 马俑出土的箭簇和弩机(远射箭簇的扳机)已得 到证实.而这又是要有相当水平的几何量测试技 术为依托的。公元九年我国已制成钢质卡尺。
术的广泛渗透,机械加工 向数控化、高效率化和高精度化发展,促使精密测量 从以往的以静态为主,向更着重于动态测量和在线测 量的方向发展。
与此同时,随着机械一电气变换机构的发展,测量结 果的数字化处理变得比较容易,借助于电子计算机, 使计算、统计、分析、显示、记录,以至向其它工程 远程输送和反馈等,都可以迅速完成。从而使传统的 计显检测技术在很多方面发生了革命性转变,测量仪 器大多向机光电一体化发展,测量后的数据处理成为 提高测量精度的主要手段之一。而且,生产管理上的 决策也依赖于通过测量提供更多的信息。
精密测量技术
精密测量技术1. 概述精密测量技术是一种应用于工业、科研和其他领域的测量方法,其目的是准确地获取物理量的数值信息。
这些物理量可以是长度、质量、温度、压力等各种常见的物理量,也可以是特定工艺参数如表面粗糙度、形状等。
精密测量技术不仅要求精确度高,而且对于不同的测量对象和环境条件都能提供可靠的测量结果。
2. 精密测量技术的应用领域2.1 工业制造在工业制造过程中,精密测量技术被广泛应用于产品的质量控制和工艺改进。
例如,在汽车制造中,精密测量技术可以用于测量发动机的缸径、活塞的配合间隙等关键参数,以确保汽车的性能和可靠性。
在航空航天制造领域,精密测量技术可以用于测量飞行器的气动外形,以优化飞行器的飞行性能。
2.2 科学研究精密测量技术在科学研究领域具有重要作用。
在物理学实验中,精密测量技术可以用于测量微小的力、电流、磁场等物理量,以验证理论模型的准确性。
在化学研究中,精密测量技术可以用于测量化学反应中产生的微量物质,以研究反应动力学和产物结构。
2.3 医疗诊断在医疗诊断过程中,精密测量技术为医生提供了重要的辅助手段。
例如,在放射科学中,精密测量技术可以用于测量患者体内的放射性物质的浓度,以评估某种疾病的严重程度。
在眼科诊断中,精密测量技术可以用于测量患者眼球的曲率半径,从而帮助医生选择适当的眼镜。
3. 精密测量技术的原理和方法3.1 原理精密测量技术基于精确测量仪器和设备的使用,通过对测量物理量进行准确和可重复性的量值获取。
它利用物理现象的变化规律,通过感应、放大、记录等方式,将待测量的物理量转化为可以被测量的电信号或机械运动,并通过测试方法获得相应的数值。
3.2 方法精密测量技术有多种方法,常见的包括:•光学测量:利用光学原理进行测量,如光栅测量、激光测量等。
•电子测量:利用电子原理进行测量,如电阻测量、电压测量等。
•机械测量:利用机械原理进行测量,如千分尺测量、衡器测量等。
•气体测量:利用气体性质进行测量,如气体压力测量、气体流量测量等。
精密测量技术01
由于微观效应的内在本质的联系彼此独立的
计量基本单位有可能逐步趋向统一。前面提 到的新米定义,就是以光度作为常数,将长 度与时间(或频率)联系起来了。长度是光速与 时间的乘积,l=c.t,或者,=c/f,即波长等 于光速除以频率。时间t或频率f都是时间量, 只有光速c是常量。所以长度与时间两个基准 有可能统一。
1、从实物基准到自然基准 米的定义的沿革:“米”作为长度计量单位起
源于1790年,当时法国国民议会采纳了达特兰 提出的“以经过巴黎的地球子午线自北极至赤 道这段弧长的一千万分之一为一米”的建议。 1799年,巴黎科学院完成了从法国的敦科尔克 经过巴黎到西班牙的巴尔雪隆纳这一段子午线 的实测工作,并按照测量结果所得的1米的长度 制作了一把米尺,作为长度计量基准。这就是 第一个米定义的实物基准称为——档案米尺;
是这个文明的重要组成部分,而作为计量测试 技术重要组成部分的几何量计量测试,更有着 悠久的发展历史。距今约有四千年的商朝出现 了象牙制成的尺,秦始皇称帝后统一了度量衡 制度,已有互换性生产的萌芽,这从西安秦兵 马俑出土的箭簇和弩机(远射箭簇的扳机)已得 到证实.而这又是要有相当水平的几何量测试技 术为依托的。公元九年我国已制成钢质卡尺。 但是由于长期的封建统治,和帝国主义的侵略 和压迫,计量测试枝术和其他科学一样,发展 缓慢,计量技术逐渐处于落后状态。到近代, 已远落后于西方的发达国家。
2013-9-9
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6、用标准实物和计量信息进行量值传递
目前各国正在研究采用标准物质和计量信息
重要手段,它是以确定被测物属性量值为目的 的一组操作。通过测量和试验能使人们对事物 获得定性或定量的概念,并发现客观事物的规 律性。广义地讲,测量是对被测量进行检出, 变换分析处理、判断、控制等的综合认识过程。 测量涉及到国民经济的各个部门和人民生活的 各个方面。自然科学所闻明的一般规律、定理、 定律往往以测量为基础。前苏联著名科学家门 捷列夫说:“从开始有测量的时候起,才开始 有科学。”
精密测量技术基础
随着科技的不断进步,精密测量技术不断 发展,出现了许多高精度测量仪器和方法 ,如激光干涉仪、原子干涉仪等。
精密测量技术的应用领域
电子工程
用于测量电子元件、电路板等 参数,保证电子产品性能。
计量测试
用于测量各种物理量,保证计 量测试的准确性和可靠性。
机械制造
用于测量机械零件的尺寸、形 状、位置等参数,保证产品质 量。
有助于推动科技进步和社会发展。
05
精密测量技术的发展趋势与展望
新型测量原理与技术的研究
原子干涉测量技术
01
利用原子干涉效应进行高精度长度测量,具有极高的稳定性和
精度。
光学频率梳技术
02
利用光学频率梳产生高精度光谱,实现高精度光谱分析和时间
频率测量。
纳米光刻技术
03
利用光刻技术在纳米级别上制造微小结构,实现高精度微纳加
光学仪器
用于测量光学元件、透镜等参 数,保证光学仪器性能。
科学研究
用于测量各种物理量,推动科 学研究的深入发展。
02
精密测量技术的基本原理
测量误差理论
误差来源
误差传递
误差理论主要研究测量误差的来源, 包括仪器误差、环境误差、方法误差 和人员误差等。
误差传递是指测量误差对测量结果的 影响,通过误差传递公式可以评估不 同误差对最终结果的影响程度。
逻辑分析仪
用于测量数字电路的逻辑电平和时序 关系,广泛应用于数字系统和计算机 硬件的调试和测试。
万用表
用于测量电压、电流和电阻等电学参 数,具有便携式和易于使用的特点。
激光测量仪器
激光干涉仪
利用激光干涉现象测量长度、角度、表 面粗糙度等参数,具有高精度和高分辨
精密检测技术课件1
第一章 精密测量技术概论
§1-1 精密测量的意义与发展 -
测量是人们从客观事物中提取所需信息, 测量是人们从客观事物中提取所需信息,认识客观事物并掌握其客观 规律的一种科学方法, 规律的一种科学方法,精密测量技术则是通过测试手段实现上述方法的 技术。 技术。 1、古代测量技术的发展 、 在古代,劳动人民在实践中积累了丰富的测量经验, 在古代,劳动人民在实践中积累了丰富的测量经验,古代人在建造 长城、金字塔时所用的工具及测量方法都已经达到了十分的先进的水平; 长城、金字塔时所用的工具及测量方法都已经达到了十分的先进的水平; 埃及的建筑工人只有简单的铅垂线、木制方尺和直尺, 埃及的建筑工人只有简单的铅垂线、木制方尺和直尺,但他们的测量可 精确到毫米。金字塔是由数以万计的只有极少建筑常识的工人完成的, 精确到毫米。金字塔是由数以万计的只有极少建筑常识的工人完成的, 而它的尺寸、边线差异不超过平均长度的 而它的尺寸、边线差异不超过平均长度的0.05%——这意味着在横跨 % 这意味着在横跨 230m的区间内,只有0.1mm的偏差。 的区间内,只有 的偏差。 的区间内 的偏差
精密检测技术
(precision measurement technology) ) 课程编码: 课程编码: 010214008 课程类别: 课程类别:专业课 学时数: 48学时 学时数: 学时 学分数: 学分数: 3 学分 教学时数: 学时 教学时数:40学时 实验时数: 实验时数:8 学时 考试成绩=考试 %+平时10%+实验10% %+平时 %+实验 考试成绩=考试80%+平时 %+实验 %
准确的测量离不开准确的基准, 准确的测量离不开准确的基准,只有统一的长度基准才可得到精准的尺 寸。在古代,人类最多的测量就是丈量田地,最初是以人的手、足等作为长 在古代,人类最多的测量就是丈量田地,最初是以人的手、 度的单位。但人的手、足大小不一,在商品交换中遇到了困难, 度的单位。但人的手、足大小不一,在商品交换中遇到了困难,于是便出现 了以实物作为测量单位,如公元前2400年出现的古埃及腕尺, 了以实物作为测量单位,如公元前2400年出现的古埃及腕尺,中国商朝出现 2400年出现的古埃及腕尺 的象牙尺和公元九年制造的新莽铜卡尺等。 的象牙尺和公元九年制造的新莽铜卡尺等。 长度单位经历了多次演变后,1496年和1760年 长度单位经历了多次演变后,1496年和1760年,英国开始采用端面和线 年和1760 纹的码基准尺作为长度基准。1789年法国提出建立米制,1799年制成阿希夫 纹的码基准尺作为长度基准。1789年法国提出建立米制,1799年制成阿希夫 年法国提出建立米制 米尺。自从出现精准的实物基准米尺,奠定精密测量的开始。 米尺。自从出现精准的实物基准米尺,奠定精密测量的开始。 2、近代测量技术的发展 、近代测量技术的发展 最早在机械制造中使用的是一些机械式测量量具,例如角尺、卡钳等; 最早在机械制造中使用的是一些机械式测量量具,例如角尺、卡钳等; 16世纪,在火炮制造中已开始使用光滑量规;1772年和1805年 16世纪,在火炮制造中已开始使用光滑量规;1772年和1805年,英国的瓦特 世纪 年和1805 和莫兹利等,先后制造出利用螺旋副原理测长的瓦特千分尺;19世纪中叶以 和莫兹利等,先后制造出利用螺旋副原理测长的瓦特千分尺;19世纪中叶以 后,又出现了类似于现代机械式外径千分尺和游标卡尺的测量量具;19世纪 又出现了类似于现代机械式外径千分尺和游标卡尺的测量量具;19世纪 末期,出现了成信息获取到多信息融合 传统测量问题涉及的测量信息种类比较单一, 传统测量问题涉及的测量信息种类比较单一,现代测量信息系统则复杂 得多,往往包括多种类型的被测量,信息量大, 得多,往往包括多种类型的被测量,信息量大,如大批量工业制造的在线测 量,一天的测量数据高达几十万,又如产品数字化设计与制造过程中,包含 一天的测量数据高达几十万,又如产品数字化设计与制造过程中, 了巨量数据信息。巨量信息的可靠、 了巨量数据信息。巨量信息的可靠、快速传输和高效管理以及如何消除各种 被测量之间的相互干扰, 被测量之间的相互干扰,从中挖掘多个测量信息融合后的目标信息将形成一 个新兴的研究领域,即多信息融合。 个新兴的研究领域,即多信息融合。 几何量和非几何量集成 传统机械系统和制造中的测量问题,主要面对几何量测量。 传统机械系统和制造中的测量问题,主要面对几何量测量。当前复杂机 电系统功能扩大,精确度提高,系统性能涉及多种参数, 电系统功能扩大,精确度提高,系统性能涉及多种参数,测量问题已不仅限 于几何量,而且,日益发展的微纳尺度下的系统与结构, 于几何量,而且,日益发展的微纳尺度下的系统与结构,其机械作用机理和 通常尺度下的系统也有显著区别。为此,在测量领域,除几何量外, 通常尺度下的系统也有显著区别。为此,在测量领域,除几何量外,应当将 其他机械工程研究中常用的物理量包括在内,如力学性能参数、功能参数等。 其他机械工程研究中常用的物理量包括在内,如力学性能参数、功能参数等。
精密测量技术电子教案
精密测量技术电子教案第一章:精密测量技术概述1.1 精密测量技术的定义与重要性1.2 精密测量技术的应用领域1.3 精密测量技术的基本原理1.4 精密测量技术的发展趋势第二章:测量误差与数据处理2.1 测量误差的概念与分类2.2 测量误差的估计与分析2.3 数据处理的基本方法2.4 测量数据的优化与校准第三章:精密测量仪器与设备3.1 精密测量仪器的基本构成与分类3.2 常见精密测量仪器的工作原理与应用3.3 精密测量设备的选用与维护3.4 精密测量仪器的校准与检定第四章:长度测量与角度测量4.1 长度测量方法与仪器4.2 角度测量方法与仪器4.3 长度与角度测量误差分析4.4 长度与角度测量实例解析第五章:形状与位置误差测量5.1 形状误差测量方法与仪器5.2 位置误差测量方法与仪器5.3 形状与位置测量误差分析5.4 形状与位置测量实例解析第六章:表面质量测量技术6.1 表面质量的概念与分类6.2 表面粗糙度的测量方法与仪器6.3 表面缺陷的测量方法与仪器6.4 表面质量测量实例解析第七章:温度与湿度测量技术7.1 温度测量的原理与方法7.2 湿度测量的原理与方法7.3 温度与湿度测量仪器及其应用7.4 温度与湿度测量实例解析第八章:非接触式测量技术8.1 非接触式测量技术的原理与分类8.2 激光测量技术及其应用8.3 光电测量技术及其应用8.4 非接触式测量实例解析第九章:振动与噪声测量技术9.1 振动与噪声的概念及其危害9.2 振动与噪声的测量方法与仪器9.3 振动与噪声测量实例解析9.4 振动与噪声的控制与处理方法第十章:数据采集与信号处理10.1 数据采集的基本原理与方法10.2 信号处理的基本原理与方法10.3 数据采集与信号处理在精密测量中的应用10.4 数据采集与信号处理实例解析第十一章:光学测量技术11.1 光学测量技术的基本原理11.2 干涉测量技术及其应用11.3 光学三角测量技术及其应用11.4 光学测量技术实例解析第十二章:超声波测量技术12.1 超声波测量技术的基本原理12.2 超声波测量仪器及其应用12.3 超声波测量技术在工业中的应用12.4 超声波测量技术实例解析第十三章:电测量技术13.1 电测量技术的基本原理13.2 电流、电压、电阻的测量13.3 电测量仪器及其应用13.4 电测量技术实例解析第十四章:纳米测量技术14.1 纳米测量技术的基本原理14.2 纳米测量仪器及其应用14.3 纳米测量技术在材料科学中的应用14.4 纳米测量技术实例解析第十五章:精密测量技术综合应用15.1 精密测量技术在制造业中的应用15.2 精密测量技术在航空航天领域的应用15.3 精密测量技术在生物医学领域的应用15.4 精密测量技术在未来发展趋势中的作用重点和难点解析重点:1. 精密测量技术的基本原理及其在不同领域的应用。
1第一章 精密测量技术概论1
§1-3 应考虑的几个问题
三、测量力的影响
1、表面接触变形 测量力是指测量时工件表面承受的测量压力。产生压 缩变形,这种变形量看起来不大,但在精密测量小,尤其 对小尺寸零件就必须予以修正。
§1- 3 应考虑的几个问题
§1-3 应考虑的几个问题
(1)球对圆柱、球对球以及直径差较大的圆柱相接触。 计算公式为: 变形量
厚度为1mm的圆弧样板
0 0.01
mm
§1-4 测量方法的选用实例
一、初步选定测量方案
测量装置中必须包含以下几个组成部分:
1、标准量系统:要有平面直角坐标系统
2、定位系统:被测工件的安置部分 3、瞄准系统:确定标准量相应于被测工件的位置 4、显示系统:将标准量与被测量比较后的结果显示出来
§1- 4 测量方法的选用实例
r 20mm测量力
p 2 N ,求变形量。
f 2 K1 3
p d
2
2 2 0.4153 0.38 0.4m 40
2
§1-3 应考虑的几个问题
例1-3在立式光学计上测量 2 的钢球,若选用硬质合金平面 测量头,工作台为钢制平面,测量力
2
p 2 N ,求变形量。
§1-4 测量方法的选用实例
3、计算测量结果的系统误差
23.664 2 1 23.664 R 0.0004 0.002 2 4 10 2 8 10 0.0024 0.0004 0.0028mm
4、计算影响测量结果的合成随机误差
被测对象的特性包括其大小、形状、重量、材料、 批量及精度要求等。
例如:对于一般中小尺寸工件,可放在仪器上测 量,特大尺寸应考虑将量仪放在工件上进行测量。 过软材料应采用非接触式测量。 大批量生产可考虑设计专用测量装置。
精密测量技术案例
第一章 概论
一、精密测量的重要意义
现代精密工程三大支柱
材 料
精 密 加 工
精 密 测 量 与 控 制
二、测量技术的现状与发展趋势
1.不断应用新的物理原理及新技术 2.测量过程智能化 3.不断提高瞄准、采样、读数与定位精度 4.测量复杂零件 5.不断提高数据传输技术 6.标准化不断提高 7.由线外测量转向线上测量 8.向高精度、高速度、高效率发展 9.向二级拓延 10.柔性测量系统
定 位 系 统
瞄准系统 标准量
运算器
显示
1.被测对象和被测量
4.瞄准系统
2.标准量系统
3.定位系统
5.显示系统
6.测量条件
五、两个重要的测量原则
1.阿贝测长原则—长度测量的最基本原则 被测线应与测量线重合,或者在其延长线上。 1)串联排列方案
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
2)串联排列方案
2. 圆周封闭原则 在同一圆周上所有夹角的误差之和为零。
光环境—照度、眩光、色彩等
静电环境—微电量、电磁波、放射线等
案例分析1:长度尺寸测量 在常用尺寸中(≤500mm): 特点:孔比轴难加工,难测量。 测量:常规量仪
在大尺寸中 特点:加工难易基本相当,轴比孔难测 量。
对滚法测量大直径
缠绕法测量大尺寸轴径
激光干涉法测量大尺寸
案例分析2:几何误差测量
三、有关测量的基本概念 1.测量 (检验、检定、对比) 2.测量过程四要素 1)被测对象与被测量 2)测量单位与标准量 3)测量方法 4)测量精度 3.评价测量精度的两个指标 1)量仪的不确定度 2)测量方法(测量过程)的不确定度
四、测量方法的设计
钢制的非整形圆薄片
第一章 精密测量技术概论
§1-1 精密测量的意义与发展 §1-2 测量的基本概念 §1-3 拟定测量方法时应考虑的几个问题 §1-4 §1-5 测量方法的选用实例 测量不确定度
教学目标:
第一章 精密测量技术概论
本章阐述精密测量的意义和测量技术 的发展,测量的基本概念、 的发展,测量的基本概念、拟定测量方案 时应考虑的一些主要因素;包括阿贝原则 时应考虑的一些主要因素; 和封闭原则, 和封闭原则,给出测量方案拟定的应用举 通过学习本章内容, 例。通过学习本章内容,使大家对精密测 量技术有一个概貌的了解, 量技术有一个概貌的了解,为学习后面章 节的内容奠定基础。 节的内容奠定基础。
§1-2 测量的基本概念
第一章 精密测量技术概论
(4)按工件上 (4)按工件上 被测参数多少分类 单项测量:对工件上的各被测量进行独立测量 单项测量:对工件上的各被测量进行独立测量 综合测量: 综合测量: 检测零件几个参数的综合效应 (5)、按测量在工艺过程中所起作用分类 在加工过程中进行的测量。 主动测量 在加工过程中进行的测量 。 其测 量结果直接用来控制零件的加工过程 加工完成后进行的测量。 被动测量 加工完成后进行的测量 。 其结果 仅用于发现并剔除废品, 所以被动测量又称消 仅用于发现并剔除废品 , 极测量。 极测量。
L = Ku
此式测量的基本方程式。它说明被测值 等于所采 此式测量的基本方程式。它说明被测值L等于所采 用的长度单位u与测量比值 的乘积。 与测量比值K的乘积 用的长度单位 与测量比值 的乘积。如游标卡尺测轴
d = 10.62mm
Hale Waihona Puke §1-2 测量的基本概念第一章 精密测量技术概论
一个完整的测量过程应包含被测对象 、 一个完整的测量过程应包含 被测对象、 计量 被测对象 单位、 测量方法(含测量器具)和测量精度等 单位、 测量方法(含测量器具) 和测量精度等 四个要素。 四个要素。
精密工程测量
A (XA,YA)
OB
OA
2
O
(XO,YO)
D
B
(XB ,YB)
➢ 2,将经纬仪或全站仪安置于已知点O上,后视已知点A,
测设角度β,得到方向OB,然后在此方向上测设距离D,
设立标志作为B点的设计位置。
极坐标法
➢ J、K为已知导线点,P为某设计点位。在J点用极坐标法测
设P点,J,K、P的坐标分别为J(746.202,456.588)、K
一些工程中的精度要求
名称
精度要求 实现精度 采用方法
1.大坝变形监测
坝基水平位移
0.3
0.3
倒垂,真空激光准直
坝顶水平位移
1.0
1.0
张引线、正锤、激光准直、GPS技术
坝体位移
1.0
坝体垂直位移
1.0
1.0
精密水准、静力水准
坝体裂缝
0.2
0.2
裂缝仪、应变计
坝基倾斜
1.0”
1.0”
精密水准、静力水准、电子倾斜仪
❖ 1、对工程区的环境条件、工程及水文地质、气候的特点
进行详细的分析及描述,并分析总结这些条件对测量作业
的影响。要全面完整地掌握该地区已有的测量资料,分析
和评定这些资料的精度和利用价值;
❖ 2、工程区基准的确定,在详细进行精度分析和遵循有关
“规范”条款的基础上,兼顾整个工程区建设的需要,提
出控制方案和实施方法,以及对精度进行预估等;
❖ 3、 确定出测量中的关键精度所在,并结合自己的经验以
及广泛吸收同类工程成功的实例,提出数个实施方案。实
施方案包括采用的仪器、测量的方法、关键技术的解决内
容、预期精度的估计,以及不同方案的比较;
精密测量理论与技术基础第1章 绪论
第一章 绪 论
二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势
二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势
2.1 测量精度亚纳米量级,测量尺度纳米量级
机械加工精度发展
0.7nm-0.8nm
28
二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势
大口径光学元件形面的高精度测量
45nm光刻机使用的浸没透镜
➢口径:300mm ➢波长:193nm ➢数值孔径:大于1 ➢镜片数量:40-60片
专业知识
各种测量技术、测控系统智能化、自动化、网络化、集成 化设计,现代新技术的集成应用等
精密测量理论与技术基础课程目标
➢ 测量的基本概念、测量标准、量值传递与溯源; ➢ 各种测量方法,测量系统的组成及其静动态特性; ➢ 误差理论、测量不确定度的评定方法及相关的数据处
理方法。 ➢ 掌握各种被测量的基本概念、常用测量方法、各种方
第一章 绪 论
一、计量学基础知识
测量、计量的国内外术语定义对比
➢ JJF1001-2011《通用计量术语及定义》
✓ 测量(measurement): 通过实验获得并可合理赋予某量一个
或多个量值的过程。
✓ 计量(?):实现单位统一、量值准确可靠的活动(中国特色,
习惯上唯有计量部门从事的测量才被称作“计量”)
ZEISS Starlith 1700i 浸没物镜
单片透镜(最大口径达 到300mm)的面形精度要 求达到1nm
数十片透镜的装配精度 在纳米量级
29
二、精密测量技术及仪器发展的若干趋势
最小粒子探测的发展
基本粒子的尺度
第一张原子分辨STM 图像(1983,Binnig & Rohrer)Si(111)表 面的7×7重构
精密加工中的测量技术
度
电子水平仪、自准直光管或激光小角度检测仪。
的
检
测
16
一、直线度的测量
反射镜移动距离应小于反射镜座的长度。
零 件 表 面 直 线 度 的 检 测
17
一、直线度的测量
直 可在运动导轨上安 线 装高精度平尺,用 运 动 测微仪检测其直线 的 运动的直线度误差; 直 线 简单实用; 度 检 精度有限,通过翻 测 转平尺进行两次测
量,可消除平尺本 身的误差。
18
一、直线度的测量
直 还可用激光小角度检测仪检测。将激光小角度测量 线 反射镜放在运动导轨上,检测反射激光的偏角测出 运 动 直线运动不同位置处的运动倾角,数据处理后即得 的 到直线运动的直线度误差。 直 线 便于实现检测自动化; 度 检 可实现测量数据的自动处理,自动输出直线度误差 测 曲线。
差 常数项r0为平均圆半径;
的 一次谐波表示偏心的影响; 定 义 反映表面粗糙度和表面波度的高次谐波也不属于圆度
和
误差;
图 所以圆度误差可用下式表示: 形
表
n
示
∑ ∆r(θ ) = Ci sin(iθ + αi ) i=2
36
一、圆度的测量方法和圆度误差的评定
圆 度 误 差 的 定 义 和 图 形 表 示 采用极坐标记录的圆度仪测的圆度误差曲线
90°角尺的顶端有光隙δ1,将L
角 形90°角尺翻转(第二位置),
尺 如光隙δ1= δ2,则圆柱90°角
和 尺角度准确,误差全在L形90°
形 角尺。
角 尺
2)如在第二检测位置,光隙变
互 到90°角尺根部且δ1= δ2 ,则
检 角度误差全在圆柱90°角尺。
3)如果δ1≠ δ2 ,则圆柱90°角 尺和L形90°角尺都有误差。
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0 0.01
mm
§1-4 测量方法的选用实例
一、初步选定测量方案
测量装置中必须包含以下几个组成部分:
1、标准量系统:要有平面直角坐标系统
2、定位系统:被测工件的安置部分 3、瞄准系统:确定标准量相应于被测工件的位置 4、显示系统:将标准量与被测量比较后的结果显示出来
§1- 4 测量方法的选用实例
L L 1 2 t 1 20
2
2
t1 t 2
2 2
§1-3 应考虑的几个问题
2、其他环境因素的影响 (1)室内的相对湿度 (2)避免外界的振动
(3)注意防尘和防腐蚀性气体
§1-4 测量方法的选用实例
h 10mm s 23.664mm R 12
实测得 h 10.002mm, s 23.660mm ,试求R值及其测量精度。
§1-4 测量方法的选用实例
二、测量结果与测量误差的分析计算
1、确定间接测量的函数关系式
s2 h R 8h 2
2、写出与R与h、s等参数的误差关系式
s 和h 对 R 的误差传递函数
s2 1 s R s h 2 4h 2 8h
参考书目
1、《精密测量技术》 李岩 著 中国计量出版社 2、《几何量精密测量技术》,武晋燮主编哈尔 滨工业大学出版社 3、《几何量精密计量仪器》,浦昭邦著哈尔滨 工业大学出版社 4、《检测技术》,施文康编著上海交通大学出 版社 5、《误差理论与数据处理》费业泰著 机械工业 出版社
教学目标:
本章阐述精密测量的意义和测量技术 的发展,测量的基本概念、拟定测量方案 时应考虑的一些主要因素;包括阿贝原则 和封闭原则,给出测量方案拟定的应用举 例。通过学习本章内容,使大家对精密测 量技术有一个概貌的了解,为学习后面章 节的内容奠定基础。
§1-1 精密测量的意义与发展
自然科学所阐明的一般规律、定理、定律往往以测量 为基础。 门捷列夫说:“从开始有测量的时候起,才开始有科学。” 衡量测量技术水平高低的重要标志之一就是测量结果的可靠 程度,即测量结果的准确度和统一性。
保证量值的准确和统一,是计量工作的重要任务。
计量学就是研究测量、保证测量统一和准确的科学。
§1-3 应考虑的几个问题
(2)串联排列方案
l 1 cos
cos 1
2
2
4
24
l 2 2
l 1000mm, 10 '' 1000 10 0.00005 0.001m 2
3 2
§1- 3 应考虑的几个问题
§1-3 应考虑的几个问题
2、圆周封闭原则
i 0
n
i
0
由圆周分度的封闭特 性得测量的封闭原则 为:在测量中如能满 足封闭条件,则圆周 分度间隔误差的总和 必然为零。
§1-3 应考虑的几个问题
方形角尺的垂直度检定为例说明其自检方法。
1 4 ei 4 i 1
i ei
§1-3 应考虑的几个问题
§1-3 应考虑的几个问题
2、纵向变形及弯曲变形
(1)测量两端面的距离为L时,变 形量最小的支撑点按下式确定: 2 a 0.2232 L L 9 贝塞尔点 b 0.5536 L
(2)测量两端间平行度的最小 支撑变形公式为:
4 a 0.2113L L 19 艾利点 b 0.577 L
大工显纵向测量误差公式计算得:
lim s
23.664 1 23.664 3 3.8m 30 4000
§1-4 测量方法的选用实例
大工显横向测量误差公式计算得:
lim h
L 工件长度mm
p 测力kgf
§1-3 应考虑的几个问题
四、测量环境
1、温度误差:我国规定的标准温度为20摄氏度。
L L 1 t1 20 2 t 2 20
工件的温度 工件的被测尺寸 工件材料的线膨胀系数 量仪的温度
2量仪材料的线膨胀系数源自§1-4 测量方法的选用实例
3、计算测量结果的系统误差
23.664 2 1 23.664 R 0.0004 0.002 2 4 10 2 8 10 0.0024 0.0004 0.0028mm
4、计算影响测量结果的合成随机误差
2 f (0.306 0.415) 0.9m 2
3
为了减小测量力的影响,可以从以下两个方面考 虑: (1)采用相对测量法,即利用条件相同的两次 读数法。
(2)减小测量力和改善对测量力影响的因素。
§1-3 应考虑的几个问题
一般情况下,可根据被测工件的标准公差 来规定测力的大小
工件公差IT 2m时,p 2.5 N IT 2 ~ 10m时,p 4 N IT 10m时,p 10 N
§1-3 应考虑的几个问题
一、两个重要的测量原则
1、阿贝测长原则
“将被测物与标准尺沿测量轴线成直线排列”。意即:被测 尺寸与作为标准尺寸应在同一条直线上。 (1)并联排列方案
s tan
s 100mm, 10 '' 0.00005rad s tan s 100 1000 0.00005 5m
4、测量精度(不确定度)
测量精度表示测量结果与真值的一致程度。 不考虑测量精度而得到的测量结果是没有任何 意义的。真值的定义为:当某量能被完善地确 定并能排除所有测量上的缺陷时,通过测量所 得到的量值。 由于测量会受到许多因素的影响,其过 程总是不完善的,即任何测量都不可能没有误 差。因此对于每一个测量值都应给出相应的测 量误差范围,说明其可信度。
§1-1 精密测量的意义与发展
测量技术是工业发展的基础,高科技的工业 一刻也离不开测量技术。
千分尺的出现, 使加工精度达到了 0.01mm
§1-1 精密测量的意义与发展
测微比较仪的出 现,使加工精度达 到了1 μm
§1-1 精密测量的意义与发展
有了激光干涉仪,使 测量精度达到0.01 μm
机械工业的发展与精 密测量息息相关。
§1-3 应考虑的几个问题
三、测量力的影响
1、表面接触变形 测量力是指测量时工件表面承受的测量压力。产生压 缩变形,这种变形量看起来不大,但在精密测量小,尤其 对小尺寸零件就必须予以修正。
§1- 3 应考虑的几个问题
§1-3 应考虑的几个问题
(1)球对圆柱、球对球以及直径差较大的圆柱相接触。 计算公式为: 变形量
课堂练习
用自准直仪分别在四个角位置上的读数分别 为e1=1.1’’,e2=-2.6’’,e3=2.3’’,e4=-2.8’’,求各 直角的偏差值 i 。
§1-3 应考虑的几个问题
二、被测对象和被测量的特性
被测对象是多种多样的,所以有种类繁多的测量 方法。因此在拟定测量方法时,必须对被测对象的持 性进行认真研究和分析。
§1-2 测量的基本概念
二、测量过程
测量是以确定量值为目的的全部实验操作。 测量过程实际上就是一个比较过程,也就是将被 测量L与标准的单位量u进行比较,确定其比值K 的过程 ,即可表示为:
比值
L Ku
被测量
标准量
被测值L等于所采用 的长度单位u与测量 比值K的乘积。
§1-2 测量的基本概念
测量过程四要素:一个完整的测量过程应包含被测 对象、计量单位、 测量方法(含测量器具)和测 量精度等四个要素。 1、被测对象 本课程研究的被测对象是几何量,包括长度、 角度、表面粗糙度、形状和位置误差以及螺纹、 齿轮的各个几何参数等。
1 1 f K1 3 p 2 d D
测量力 被测零件直径
球形测量 头直径
(2)球对平面 计算公式为:
f K1 3
p2 d
不同情况下的材 料系数
(3)平面对圆柱 计算公式为:
p3 1 f K2 l D
接触长度
§1-3 应考虑的几个问题
例1-2 在测长机上用绝对法测量钢制零件平面,两球面测头 ,
广义地说,测量方法可以理解为测量原理、测 量器具和测量条件(环境和操作者)的总和。 在实施测量过程中,应该根据被测对象的特点 (如材料硬度、外形尺寸、生产批量、制造精度、 测量目的等)和被测参数的定义来拟定测量方案、 选择测量器具和规定测量条件,合理地获得可靠 的测量结果。
§1-2 测量的基本概念
d
L
α
§1-2 测量的基本概念
2、测量单位 我国法定计量单位对长度和角度单位做 了规定:
长度: 基本单位 米(m) 常用单位 毫米(mm) 微米(μm) 纳米(nm)
角度: 基本单位 弧度(rad ) 常用单位 度(°) 分(′) 秒(″)
§1-2 测量的基本概念
3、测量方法
测量方法是根据一定的测量原理,在实施测量 过程中对测量原理的运用及其实际操作。
§1-3 应考虑的几个问题
对于支撑在顶尖上的工 件,由自重引起的弯曲 变形可按下式计算 当中点受力时,由测力引起 的弯曲变形值为
f 2.08
L
4
Ed
4 m 10 2
pL3 f 425 4 10 5 m Ed
材料的比重g / cm 3
d 工件直径mm E 材料的弹性模数 kgf / mm 2
r 20mm测量力
p 2 N ,求变形量。
f 2 K1 3
p d
2
2 2 0.4153 0.38 0.4m 40
2
§1-3 应考虑的几个问题