推荐-芯硕激光直接成像系统 精品

Mercury2000P系列无掩膜光刻机

支持：

》第二代无掩膜光刻技术

》全局对准功能

》手动对准功能

》预对准功能

》对准补偿设定

》高精度图形套刻匹配

》全自动聚焦功能

》灰度补偿功能

》支持GDSII,CIF,DXF多种格式处理

产品介绍:

芯硕Mercury系列无掩膜直写光刻设备基于先进的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术实现直写光刻。

该系列产品主要应用于大规模集成电路150nm工艺节点以上掩膜版制作，亦可用于微纳加工、MEMS、LED、生物芯片等领域的直写光刻，在应用中省去了繁琐的掩膜加工步骤，相比单束直写具有效率高、技术先进、应用灵活等特点。该系列产品采用芯硕专利技术的大功率LD(波长405nm)光源，可达0.65um解析度和0.25um的套刻精度。

指标 :

SEM效果图:

Neptune280封装基板激光直接成像系统

支持：

》涨缩模式选择：

1.无涨缩

2.固定涨缩

3.自动涨缩

4.固定分区间涨缩

5.分区域对位与设定涨缩

涨缩：

指PCB板的形变。

PCB尺寸涨缩的原因：

（1）经纬方向差异造成几班尺寸变化；由于裁剪时未注意纤维方向，造成剪切应力残留在基板内，一旦释放，直接影响基板尺寸的收缩。

（2）基板中树脂未完全固化，导致尺寸变化

（3）多层板在层压前，存放的条件差，使薄基板或半固化片吸湿，造成尺寸稳定性差

（4）多层板经压合时，过度流胶造成玻璃布形变所致

》两面配合度自动对准

》自动记录生产讯息与参数设定；用于查询统计与追溯

》自动报错

》可指定添加标记与批号

》板子全面微形变时，图形因应调整功能

》系统自动定期校正

》联网远程问题点协助排除

》可联线成自动线

产品介绍:

芯硕LDI(Laser Direct Imaging) Neptune280系统，基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术，实现多束激光直接成像，免除传统的底片制造，直接成像，在图像转移质量、生产周期和成本上，优于传统的工业，适用于先进封装基板黄光制程的激光直写成像系统，满足封装基板制造工艺中对精细化线宽和高精对准的要求。

指标:

SEM效果:

10/10um线路SEM效果

LDI(Laser Direct Imaging) Tyche80系统

支持：

》涨缩模式选择：

1.无涨缩

2.固定涨缩

3.自动涨缩

4.固定分区间涨缩

》两面配合度自动对准

》自动记录生产讯息与参数设定；用于查询统计与追溯

》自动报错

》系统自动定期校正

》联网远程问题点协助排除

》可联线成自动线

产品介绍:

芯硕LDI(Laser Direct Imaging) Tyche80系统，基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术，实现多束激光直接成像。免除传统的底片制造，直接成像，在图像转移质量、生产周期和成本上，优于传统的工业。产品适用于：

1)高精密、ANY LAYER的HDI；

2)少量多样、高稼动率的Sample、QTA；

3)用于量产的Tyche 80HS，全自动化激光直接成像解决方案，给用户带来更大的收益；

4)适用于PCB全制程图像的转移。

指标:

SEM效果

30/30um线路SEM效果

LDI (Laser Direct Imaging) Saturn90系统

支持：

》涨缩模式选择：

1.无涨缩

2.固定涨缩

3.自动涨缩

4.固定分区间涨缩

5.分区域对位与设定涨缩

》两面配合度自动对准

》自动记录生产讯息与参数设定；用于查询统计与追溯》自动报错

》可指定添加标记与批号

》板子全面微形变时，图形因应调整功能

》系统自动定期校正

》联网远程问题点协助排除

》可联线成自动线

产品介绍:

芯硕LDI(Laser Direct Imaging) Saturn90系统，基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术，实现多束激光直接成像。免除传统的底片制造，直接成像，在图像转移质量、生产周期和成本上，优于传统的工业。产品适用于：

1)高精密、ANY LAYER的HDI；

2)少量多样、高稼动率的Sample、QTA；

3)用于量产的Saturn 90HS，全自动化激光直接成像解决方案，给用户带来更大的收益；

4)适用于PCB全制程图像的转移。

指标:

SEM效果:

25/25um横、竖、斜线SEM效果