工艺废气

（1）工艺废气

线路板生产过程中产生的废气种类较多，废气产生量和污染物浓度由设备配置以及挥发性原材料的性质、用量等决定。本工程大气污染物主要为：开料、裁边、钻孔等工序产生的粉尘、酸洗、微蚀等工序产生硫酸雾、贴膜、烘烤、文字印刷等工序产生的有机废气、酸性蚀刻、活化等工序产生盐酸雾、化学铜工序产生甲醛废气、镀金工序产生氰化氢、碱性蚀刻铜工序产生氨气以及剥锡工序产生的氮氧化物、浸锡过程中产生的含锡废气等。

1）粉尘

粉尘废气主要是开料、钻孔等工序产生，主要成分为基板碎片和铜箔碎片，排放方式为敞开，收集方式为关闭门窗负压收集。本项目粉尘主要排放源在1栋，其中开料工序布设在1栋3楼，钻孔、磨板等工序布设在1栋1楼。结合项目生产设备的布置情况，本项目拟设置1套布袋除尘设施，布设在1栋楼顶，最后经过25m的烟囱排放。一般情况下，布袋除尘器的处理效率在98%以上，废气的设计排放标准为广东省地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）工艺废气大气污染物第二时段二级排放限值要求。

2）酸碱废气

酸性废气主要为硫酸雾、盐酸雾、氰化氢、氮氧化物。硫酸雾主要是酸洗、微蚀等工序产生、盐酸雾主要是酸性蚀刻、活化等工序产生；氨气主要是碱性蚀刻铜工序产生；氮氧化物主要是退锡工序使用退锡水，内含硝酸成分而产生氮氧化物。

酸雾主要是酸洗、微蚀等工序产生。酸洗工序主要是采用质量分数为5%的硫酸对基板进行清洗，操作温度一般为室温，排放方式有半敞开式(电镀工段)和密闭式(蚀刻工段)，收集方式为密闭式；微蚀工序是采用质量分数为5%的硫酸和双氧水去除基板表面的氧化层，操作温度一般为室温，排放方式和收集方式均为密闭式。本项目生产线上硫酸使用浓度不高，室温状态下硫酸雾挥发浓度不高；自动生产线上的硫酸雾排放基本实现密闭式收集，因此无组织排放的硫酸雾较少。

盐酸雾主要是酸性蚀刻、活化等工序产生（在各个工序的微蚀段也会产生酸性气体，例如内层前处理的微蚀、内层蚀刻后的酸洗、沉铜段的微蚀、板电的酸

洗、DF显影前的酸洗、pp的酸洗、ET的微蚀、WF前的酸洗、沉银前酸洗微蚀、沉金前的酸洗微蚀、成品包装前的酸洗）。酸性蚀刻主要用于内层线路板蚀刻，采用氯化铜、盐酸溶液作为蚀刻液，盐酸浓度一般在左右，本项目自动蚀刻线基本可实现排放的盐酸雾密闭式收集。活化工序主要使用氯化钯、氯化锡和盐酸在孔壁上沉积一层金属钯以加速铜沉积反应，工作温度一般为50～60℃，盐酸雾挥发速度较快，本项目可实现排放的盐酸雾密闭式排放与收集。

氨气主要是碱性蚀刻铜工序产生。碱性蚀刻一般多用于外层板工段，是将露铜的铜面蚀刻掉，被锡覆盖的铜面被保留。碱性蚀刻液的主要成分是氯化铜、氨水和氯化铵，工作温度一般在50～60℃，氨气挥发速度较快，本项目自动蚀刻线基本可实现排放的盐酸雾密闭式收集。

氮氧化物主要是退锡工序产生（板电和电镀后的退镀都会产生氮氧化物）。镀锡的目的是用作后续碱性蚀刻工序的抗蚀剂使用退锡水，退锡工艺主要是利用退锡水把板上锡全部去除以进行后续表面加工工序。由于退锡水中内含硝酸成分而产生氮氧化物。

本项目酸碱废气主要排放源有1栋1楼内层工段、2栋1楼电镀线、2栋2楼外层工段。结合项目生产设备的布置情况，本项目拟在1栋、2栋楼顶各设置1套酸碱废气处理设施。本项目绝大部分生产线拟设置为密闭生产线，盐酸雾、硫酸雾及氨气废气经管道收集输送到楼顶废气喷淋系统进行处理。由于本项目产生的氮氧化物为间歇时排放、且浓度波动范围大，参考《氮氧化物的湿式吸收法讨论》（《电镀与环保》，1982年03期）文献，本项目氮氧化物单独收集采用碱液吸收处理方法处理后通过酸碱废气烟囱排放，处理效率一般为60% 3）有机废气

有机废气主要是贴膜、烘烤、文字印刷、压合等工序产生，项目产生的有机废气种类复杂，产生方式为敞开(压合、贴膜)和半敞开(烘干)，收集方式为关门窗负压收集。本项目产生的有机废气拟采用活性炭吸附后，再通过25米高的烟囱向外排放。有机气体的去除率大于75%。本项目酸碱废气主要排放源有1栋2楼内层工段、1栋4楼压合工段、2栋2楼外层工段。结合项目生产设备的布置情况，本项目拟在1栋、2栋楼顶各设置1套有机废气处理设施。

4）甲醛废气

甲醛废气主要是化学铜工序产生。化学铜即化学镀铜，其目的是在通孔壁上沉积一层铜，使内层线路板上下电气互连。化学铜溶液主要成分是硫酸铜、甲醛、氢氧化钠和EDTA二钠盐，该溶液呈强碱性（pH=12~13），工作温度为60~65℃。本项目主要甲醛废气排放源为2栋1楼沉铜工段，可以实现负压密闭式收集，该废气与化学铜线的酸雾共用收集系统，经收集后由管道输送到喷淋处理系统进行处理。

5）锡及其化合物

本项目浸锡生产过程中产生锡及其化合物，本项目含锡废气主要排放源为2栋2楼外层工段、2楼3层喷锡等工序，该废气经收集后由管道输送到有机废气处理系统处理。

6）氰化氢

氰化氢废气主要是镀金工序产生。常用的化学金溶液也是微氰的，主要成分是氰化金钾、柠檬酸铵、次磷酸钠和少量添加剂，反应温度为室温，反应过程中会产生少量含氰废物。本项目氰化氢废气主要排放源为2栋3楼镀金工段。考虑到氰化氢为有毒废气，单独收集单独处理方式，根据《深圳市电镀行业废气治理工程建设管理指引》，本项目采用湿法吸收的处理方法，处理效率一般可达90%。

建议考虑到系统的稳定性，在车间内安装引风机的时候，考虑到设备的损坏及故障时，应考虑到临时抽气系统。

同时，使用喷淋塔若放置在车间内部，需要注意由于喷淋后气体的温度降低，可能会出现结露。