JEOL2010透射电镜操作过程

JEM-2010 例行簡易操作步驟

TEM 例行操作(JEOL 2010 Alignment )

儀器及真空狀態之準備動作

1. 確定SIP VACUUM < 5 X 10-5 Pa

2. 確定 SF6氣壓

3. FILAMENT ON

4. 升壓加200KV

5. 檢查試片位置是否歸零

6. 確定D V值為 +0

(一) 電子槍線圈傾斜校準(Gun tilt, 在FEG 時為Anode wobbler)

1.試片移開螢幕，倍率調至15K。

2.Spot size 選用1，調整brightness鈕，將電子束縮為最小亮點，以Gun shift X,Y將亮點移至

螢幕中央。

(二) 電子槍偏移校準(Beam shift)

1.倍率仍設為15K ，Spot size換至3(or 5)。

2.以brightness鈕將電子束縮至最小，以Beam shift 將電子束移至正中心。

3. Spot size換回1 ,以Gun shift X,Y調整，將電子束移至正中心。

4.重覆1、2、3 步驟，直到不論Spot size 1或Spot size 3(或5)之電子束皆在螢幕正中心為止。

(三) 飽和電流校準(Current density saturation, 建議以法2及法3作校正)

法1：(正規但不建議：一般初學者常會因為不正常操作，導致電流值過大而減短燈絲壽命)

1. 先將Filament值降到零，從小Filament值開始調起，再慢慢加大電流值。

2. 當螢幕上有不對稱的燈絲投影形狀時，調整bias使燈絲在螢幕上呈現對稱的形狀，此時燈絲

之電流為趨近飽和狀態。

3. 稍微加大電流值，使對稱的形狀消失而呈單一的亮點。

4. 固定Filament scale的stopper。

法2：調Gun tilt，注意小螢幕上之current density值，當達到最大值時，此時得到最大亮度，意即達到飽和電流。

法3：調Gun tilt，目視螢幕上之spot亮度，當達到最大亮度時即為飽和電流。

(四) 聚焦鏡孔徑調整(Condenser aperture)

1.倍率調至15K ，Spot size 調至1或3(或5)。

2.電子束縮至最小並調至中心。

3.調brightness鈕將電子束重複放大縮小，同時調整Condenser Aperture位置使spot不隨電子束

放大縮小而偏離圓心。

(五) 聚焦鏡像差調整(Condenser Stigmatism)

1.倍率調至15K，Spot size 調至3。

2.調brightness鈕將電子束縮至最小，以beam shift移亮點至中心。

3.順時針及逆時針地旋轉brightness，此時亮點若呈橢圓展開時，則按下Cond Stig 鍵，一邊旋

轉brightness一邊調整DEF X,Y鈕直到亮點呈圓狀。

4.調整完後按Cond Stig 鍵還原。

(六) a.影像搖擺調整(Wobbler,功能在使調beam tilt時影像不會shift)

1.倍率調至15K，調整focus 使影像在in focus狀態。

2.以brightness將spot縮成直徑約5mm 之亮點，切Image wobbler switch 至X，按右下鍵盤TILT

鈕, 調Image wobbler adj X(左邊兩個) 使兩亮點重疊在中央，切Image wobbler switch 至

Y，調Image wobbler adj Y(右邊兩個) 使兩亮點重疊在中央。

3.將Tilt 鈕及Image wobbler switch 還原。

b.繞射點搖擺調整(Wobbler, 功能在使調beam shift時影像不會tilt;此部分之操作條件不易變化)

1.倍率調至15K。

2.以brightness右轉到底，此時會聽到”嗶”一聲(代表已超越儀器之過焦狀態極限)，調Diff focus

使呈caustic spot亮點(一般為逆時針方向)，此時caustic spot呈現一類似Benzu的mark形狀，

切COND DEF ADJ 至X,按右下鍵盤SHIFT鈕，調Image wobbler adj X(左邊兩個, shift之X及

DEF之X) 使caustic spot亮點重疊，切COND DEF ADJ 至Y，按右下鍵盤SHIFT鈕，調Image wobbler adj Y(右邊兩個, shift之Y及DEF之Y) 使caustic spot重疊。

3.將Diff focus, Brightness, SHIFT 鈕及COND DEF ADJ X, Y還原。

(七) 電流中心調整(Current center)

1.選擇試片緣尖端處，將最尖點移至中央，按下Imag X或 Imag Y，此時會見到影像成雙影，

是為defocus狀態，以Z-∇及Z-Δ調整stage高度，使雙影之影像重疊成單一影像，此時試片影

像為in-focus狀態，以上為試片聚焦動作。

2.按WOBBLER-OBJ後，再按brightness tilt 鍵，調整Bright tilt-Def X,Y 使尖端置於中央且最不

易晃動的狀態。

（八）中間鏡、投影鏡校準(INT stig and Project alignment)

1. 調Brightness 將spot散開，試片移開。

2.壓DIF 鈕，調整DIF focus使繞射點變小(可加入Obj Aperture輔助聚焦)。

3.壓STIGMATOR-INT，調整Gun Shift之DEF X,Y鈕，使繞射點成正圓。

4.壓DEFLECTOR-PROJ，調整Gun Shift之SHIFT X,Y鈕，移動繞射點至正中心。

(九) 電壓中心校準(Voltage center)