Etalon激光跟踪干涉仪介绍
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The LaserTRACER –以亚微米精度
进行校准和检定
Z公司概况
Z The LaserTRACER
Z TRAC-CAL 作误差图和补偿
Z TRAC-CHECK 作精度检定Z当前发展
Z我们的客户
Etalon公司概况
National Metrology Institute
Of Germany
Etalons 的业务伙伴:
西门子给予机床
的空间补偿系统
(VCS)
Z Etalon 软件可以直接生成西门子Sinumerik 控制器的空间补偿数据Z以ETALON 技术生成的补偿数据都经Siemens在各种设备测试验证
Z于2008年四月Etalon 成为Siemens 方案伙伴
成为蔡
Etalon 成为蔡
斯在三坐标测
量仪补偿的业务
伙伴
Z蔡斯利用Etalon 技术为其不同的产品系列作校准
Z蔡斯作为客户和服务提供者认证Etalon格式
斯和合作进步开发技术
Z蔡斯和Etalon合作进一步开发Etalon技术
法拉克海德汉和其他机床控制器生产厂家的深入合作
三坐标测量机和机床的精度
Z对三坐标测量机和机床精度是一项关键指标
对坐标测量机和机床精度是项关键指标
Z没有数字补偿,最高的精度无法经济地达到
Z15年了,机床领域现在也已开正当完整的误差补偿已成功应用于三坐标测量机
始使用
Z传统的误差图方法耗费时间并要求操纵者具多年的经验
首先搞清楚21项误差是那些误差；因为测量机都直角坐标机床的几何偏差首搞清楚项是那为测机都
是气浮的，按照气浮的误差产生种类分为转动误差和平动误差，按照不同的旋转轴向和平动方向每轴共有6项误差，三轴共18项，加上三轴的垂直度共计21项
VDI 2617-3标识
来源: PTB
机械误差
力丰制造科技有限公司
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ETALON 方案
LaserTRACER 补偿
TRAC ‐CAL ®检定TRAC ‐CHECK ®TRAC ‐CAL
误差图和补偿检测与标定
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Th LaserTRACER The L TRACER
Z 干涉仪具 0,001 微米分辨率 (1) Z 拥有专利的标准球(2具形状偏差< 0 0,050微米 050微米 Z 针对气温,气压和湿度的环境补偿 长度测量不确定度: U= 0.2 µm + 0.3 µm/m
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规格
重量和尺寸 LaserTRACER重量 控制器重量 LaserTRACER高度 操作范围 仰轴角度范围 旋转轴角度范围 测量范围 精度 24小时激光频率稳定度 标准球稳定度 干涉仪分辨率 不确定度(k=2) 2∙10‐8 ± 0.1 微米 0,001 微米 0.2 微米+0.3 微米/米 ‐ 20° 至+ 85° ± 200° 0.2 米 up to 15 米 approx. 12 公斤 approx. 10 公斤 200 毫米
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ETALON 方案
补偿 TRAC‐CAL ®
LaserTRACER
检定 TRAC‐CHECK ®
TRAC‐CAL
误差图和补偿
检测与标定
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原理:
“全球定位系统原理” 作机器校准
Z 仅基于长度数据的完全误差评定 仅基 长度数据的完全 差评定 Z 利用干涉原理的长度测量在4-6个不同位置进行 Z LaserTRACER 的位置和盲点不必清楚
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TRAC CAL模拟动画片 TRAC-CAL模拟动画片
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TRAC-CAL短片 AC CA 短片
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立式加工中心: 校正前后对比
力丰制造科技有限公司
卧式铣床: 校正前后对比
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高精度三坐标测量机经 TRAC-CAL校正后用垂直球板 测量复核
测量测头偏置150毫米 偏差 < 0.4 微米 偏差小于球板的校准不确定度!
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与传统激光跟踪仪的接口
就最高精度的要求而言, Etalon由于其独 特的技术会是首选. 对轴行程达数米的设备,传统激光跟踪仪 是能满足的. 是能满足的 Etalon赋予它的软件方案与传统激光跟踪 仪的接口. Z徕卡 Z法如
精度比较
LaserTRACER vs Lasertracker
以TRAC-CAL作误差图总结
Z最高的精度
定位直线度仰角偏转翻转垂直度:全部基于稳定化的激光波长Z定位, 直线度,仰角, 偏转,翻转, 垂直度: 全部基于稳定化的激光波长Z适合三坐标测量机和数控机床的误差图确定
Z可用于任何工作体积
Z快速(三坐标测量机3-4 小时, 机床2-3 小时)
Z简单的准备和数据处理
简单的准备数据处
Z包含以蒙地卡罗方法作的不确定度计算
Z多种数控系统和三坐标机接口和误差图格式供使用
(library 扩展中)
应用范例
ETALON 方案
LaserTRACER
补偿TRAC ‐CAL ®
检定TRAC ‐CHECK ®
TRAC ‐CAL
误差图和补偿检测与标定