镀膜机维护方法

真空镀膜机维护方法

第一章电子枪

1．电子枪枪头罩

内容：电子枪头罩，须每日清洁一次；清洁的目的是清除膜料的残留物及其他异物资进入枪头内部而容易导致产生电压上升，扫描偏移和加快电阻丝的氧化反应，以及蒸发膜料时产生气体而产生静电现象。

1．1清洁方法：

1）分解枪头罩后进行喷沙方式清洁；

2）喷沙必须只操作枪头罩的外部；

3）枪头罩的内里面绝对不可以喷沙，如果对内部经常性喷沙处理，会导致固定螺丝的磨损使得组装时不再扣紧，如长时间喷沙处理，严重影响或损坏螺纹结构，导致组装后出现枪头的中心与电阻丝的中心部位不吻合。

此因素会导致以下问题：

①电子束扫描偏移或变化；

②电子束闪动现象；

③镀膜条件变化；

④电子器件的故障等。

1．2 枪头分解事项

内容：电子枪头在更换电阻丝时进行清洁。

1）电阻丝更换周期如下：

例）A品电阻丝更换使用时，Zro2蒸发时所显示的电流值为 240A左右； IC/5

中 Zro2的速率设定为（6.5 Rate）时，电阻丝使用较长， Zro2的电流值会上升到 270~280左右。（电阻丝上有异物资或电阻丝已发生氧化，都会产生电流上升现象）这时可对电阻丝氧化反应现状进行直观确认。

2）枪头清洁方式

①

对枪头建议不采用喷沙方式进行清洁。如确切需要采用喷沙方式清洁，可在不分解枪头的状态下进行，之后将枪头分解，对表面的残留物资进行清洁后组装即可。

②

进行喷沙清洁时，尽可能对枪头固定部分和螺纹部分避免喷沙，对固定部分用细砂纸轻微擦拭。（固定电阻丝部分如果喷沙会有损伤，导致紧固电阻丝时不紧密和偏形等结果）以上因素会导致以下问题：

(.)光斑形状不规则；

(.)光斑定位偏移；

(.)会成为数据条件变化的因素。

1．3 电子枪扫描架

1）电子枪角铁在清洁中必须慎重管理。

电子枪角铁（合金材料）物性虽然是强性，但通过延续使用过程中，因电子枪的高热而会转变为软性，所以，如遇较强冲击会导致变形，特别注意在喷沙过程中不可仍抛物现象，清洁过程中一定要注意。

2）如果上述因素而导致角铁变形，延续产生以下问题：光斑不稳/光斑大小调整异常/ 扫描等不稳定状态。

3）有时，电子枪的角铁与基台之间没有固定部分前提下组装，再加上操作者不注意，将导致每次的光斑位置不同，延伸可导致光斑不移动状态。

（角铁上部的组装要比下部更重要）

1．4 电子枪部件

组成部件：

1）坩埚盘

2）电子枪角铁

3）扫描线圈接点

4）磁力线圈

5) 冷却水入口

6）坩埚盘旋转轴

7）高压端子

8）坩埚盘旋转感应器

9）旋转电机

10）扫描线圈

第2章离子源

2．1 离子源

目前，我们使用两种模式的离子源。

1．

霍尔源模式：一般在树脂光学领域使用霍尔源的比率较多，霍尔源的输射角度宽，设定均匀性的操作上表现非常优越，但，电源电流上升限制在220V，所以针对金属材质等产品的使用时比较弱而无明显效果。

2．

考夫曼模式：简单说明可以理解，霍尔离子源主要为辐射角度宽，电源（压）低，相对比考夫曼模式辐射角度小，电源（压）高；调整作业条件时比起霍尔源难度较高，但电流电源可上升到800V,对金属材质的产品等使用适当。

3．

各部件：

①电源线固定点；

②电阻丝固定点；

③气体分配器 .；

④冷却水盘；

⑤磁控立柱；

⑥冷却水盘固定柱；

2．2 气体分配器

离子源气体分配器：

1）方法：约使用 15日左右后更换，（刻蚀，辅助功能同时使用时）；

2）清洁周期：清洁周期为 12小时一次；

3）问题：如果气体分配器不洁净，会影响离子反应，导致影响产品表面膜层的牢固度。

离子反应不到位，电弧加深，可对产品造成很严重的影响；

如产生较多异物质，中合电流值会上升；

中合电流值显示上升，说明气体分配器的状态不好；

中合电流值应保持在 1以下最好。

4）离子源灯丝

基本上电阻丝正常使用 2~3天，更换电阻丝时应如下：（参考值）

（阳极）电源-80，（阴极）电流-29.5, 放射电流-4.8,

（阳极）电流-4.8，中合电流 00.0

（根据电阻丝的种类区别多少会有差距）

★阴极电流值约 (21)~(20)状态时，需要更换电阻丝。

5）气体分配器

① 气体分配器的使用寿命月 50小时；

②以眼镜镀膜为准，可使用 16日~17日后给于更换；

③（氩气 2分30秒）（氧气 1分10秒）（清扫后预热时间）等等。

④ 离子源清扫每日进行一次。

第 3章泵

3．1 增压泵

1）方法：确认 oil量。

2）周期：每周一次，

3）效果：如发现泵油急剧减少现象出现，将说明问题存在需要检验，通过视窗发现泵油里积水，或有明显气泡需将油全部更换。停止运转，并对电路等进行检修或从新安装操作时，必须对泵的旋转方向进行确认无误后方可启动运转（请参考旋转标示）。

3．2 机械泵

1）方法：确认油量；

2）周期：每天一次；

3）效果：

必须保障油量满足在上下基准显示值范围内；

每3个月将油全部排除，并作过滤处理之后回填，将不足油量补充；油量补充到油标视窗的 2/3 的高度；