常见MEMS气体传感器有哪些类型

常见MEMS气体传感器有哪些类型

 目前，气体传感器的应用日趋广泛，在物联网等泛在应用的推动下，其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。

 具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料（MOS）气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测，该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节点，MEMS技术为解决MOS气体传感器的该类问题提供了强有力的有效途迳和方案。MEMS技术的应用也为该类传感器的集成化提供坚实的基础。毫无疑问，基于MEMS的设计方案将成为未来气体传感器的主要发展方向之一。

 目前，市场上以单晶硅材料为衬底，非硅材料为敏感层的MEMS气体传感器最为常见，现就市场常见MEMS气体传感器类型加以介绍：

 MEMS电导型气敏传感器

 这种气敏传感器的敏感材料是金属氧化物半导体或导电聚合物。当这些材料暴露于被测气体中，气体会与它们发生作用，引起电导率或电阻率的变化，产生包含气体成分和浓度的电信号，经过信号处理电路处理后，即可识