专业技术参数及专家论证意见

附件：技术参数及专家论证意见

项目一光电信息材料实验室进口设备

序号设备名称数量单价（元）总价（元）备注

1 台阶仪 1 1.1

2 阻抗分析仪 1 1.1

3 原子力显微镜+PFM+MFM 1 1.1

4 电磁仿真软件 1 1.1

合计

参数要求及功能描述

序号设备名称数量参数要求及功能描述备注

1 台阶仪 1 .最大样品尺寸：φ160mm，最大样品厚度：50mm。

Z方向测定范围：600μm，Z方向分辨率：0.1nm，检测驱动方式：直动式，再现性：0.2nm。X轴移动量：100mm，.移动真值度：0.2μm/100mm，移动、测定速度：0.005 ~ 20mm/s。

Z轴移动量：50mm，移动速度：最大2mm/S，.线性度：±0.25%。

样品台尺寸：φ160mm，机械手动倾斜：±2℃(±５mm/160mm），样品观察可放大110倍

数据监测与显示设备，配备1T硬盘，四核i7CPU，8G内存,专业级独立显卡，数据输出打印设备

2 阻抗分析仪 1 .基本阻抗精度（四端对）：+/-0.08%，测试频率范围：40Hz～110MHz，.频率分辨率：1mHz，频率精度：+/-20ppm，振荡器电平范围：5mV～1Vrms或200uA～20mArms，振荡器电平分辨率：1mVrms/20μA。

电压：待测端开路时为+/-(10+0.05*f(MHz)%+1)mV，电流：待测端短路时为/-(10+0.3*f(MHz)%+50)μA，直流偏置范围：0V～+/-40V或0mA～±100mA，直流偏置电平分辨率：1mV/40μA，直流偏置电压精度：+/-(0.1%+(5+30*Imon(mA))mV，直流偏置电流精度：+/-(2%+(0.2*Vmon(V)/20)mA。42941A 夹具，设备与电脑连接线，以及用于数据监测与显示的电脑一台（配备1T硬盘，四核i7CPU，8G内存）

3 原子力显微镜

+PFM+MFM

1

1.原子力显微镜主机

大量程扫描器和小量程扫描器各一个

针尖扫描式AFM扫描头。

扫描隧道显微镜(STM)测量头

适用于电压测量和电流测量的针尖座各一组

系统自带防尘隔音罩并配置主动式防震平台

高清视频显微镜（包含CCD）

附件和耗材（包含AFM工具包、AFM探针、校正光栅等）

2. 磁力显微镜(Magnetic Force Microscope, MFM)

*外加磁场（水平方向和垂直方向）磁力显微镜(External Magnetic Force Microscope )，及外加

磁场的发生设备

静电力显微镜(Electrostatic Force Microscopy, EFM)

扫描开尔文探针显微镜/表面电势显微镜(Scanning Kelvin Probe Microscope, SKM/ Surface

Potential Microscope, KFM)

压电响应力显微镜(Piezoresponse Force Microscopy, PFM)

扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope, STM)

3．* 整机可同时具备样品扫描和针尖扫描的功能。

压电响应力显微镜的偏压范围为：+/-50V。

* 配置专用于磁力显微镜测量的去磁化的AFM扫描头。

* 可实现微区电、磁畴结构表征（晶粒/晶界、畴/畴壁）、微区性能（电容、电流、极化强度等）分

析。可实现EFM和SKM的单次成像技术，显著提高测试的分辨率和灵敏度。可实现外加可变磁

场MFM功能：其中水平方向为：6000 Gauss；垂直方向为8000 Gauss，磁性表征更具备静态和

动态MFM的功能。微区结构分辨率≤30nm。

* 具备高清AFM成像模式(HybriD® mode)，在形貌扫描的过程中，能同时得到样品的硬度值和粘

度值。

4. 视频观察系统：连续变倍视频显微镜辅助观测系统。常规条件下视频显微镜的光学分辨率≤3μm，

配置特殊物镜后光学分辨率最高可以达到1μm。

防震系统：系统专用主动式防震平台。主动隔振频率范围：0,6-200 Hz，被动隔振频率范围＞200Hz。

平台尺寸适合于整套系统的摆放和操作。

配套的工具箱和工具包，耗材（AFM探针200枚、校正光栅等）、数据监测与显示设备（1T硬盘，

四核i7CPU，8G内存）以及软件等。

4 电磁仿真软件 1 FDTD Solutions 8.7 标准包十年使用权（windows系统下应用）

相关培训，后期升级及技术支持

项目二新能源光伏并网发电实验室进口设备

序号设备名称数量单价（元）总价（元）备注

1 能量回馈型高精度可编程三相交

流电源

1 1.9进口设备

2 六楼配电柜 1 1.3

3 一楼配电柜 1 1.3

4 电缆170 1.3

5 建设费 1 1.3

6 高频电子线路实验箱12 1.8

7 软件无线电平台 1 1.8

合计

参数要求及功能描述

序号设备名称数量技术参数要求功能描述备注

1 能量回馈型高

精度可编程三

相交流电源

1用途：高精度可编程三相交流电源能够进行模拟各种交流电源的状态、电源波形失真

并进行电力特性的量测与分析。符合PV inverter、Smart Grid及EV 相关产品测试

应用。

技术规格：

1. 输入参数（电网侧参数）

1.1 输入电压：线电压380V±10%

台湾chroma

美国California

Instruments