工艺排气系统简报

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管路安装需遵循横平竖 直，针对带水气系统（ SEX、AEX）于水平管路 最低点增设排液孔。
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风量平衡调整
5、风量平衡调整：
风量（Q）：通俗指的是相对的截面积与该截面速度之积，一般在使用上以 下式来表示：
Q（风量）=V（风速）*A（截面积） Q=VA=V*π* r²=V* π*(D/2) ²=V*π*D²/4 (圆形风管）
工艺 设备 机台
Rotor (沸石转轮)
风机
Rotor (沸石转轮)
风机
排至 大气
烟囱
SUS304 Coating
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（4）碱性剥离排气：主要来源为阵列工程的剥离工序所使用之剥离液,废气首先 经过冷凝吸收器,将废气中的剥离液冷却下来,冷凝器吸收处理后的废气所含的废 气浓度会大为下降,然后送至Central Scrubber做水洗中和处理，再由风机排入 大气。
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工艺排气系统简报
汇报人：夏世星 汇报时间：2011.11
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目录
一. 排气定义 二. 制程排气系统分类 三. 制程排气风管材质介绍 四. 材料管控及施工品质 五. 风量平衡调节
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1.排气定义
排气定义
将工厂内生产机器散热时所产生粉尘、颗粒或含酸碱值的气体，经 风管由机械或洗涤设备排至室外。其主要作用:排除工艺热气、废气,为 生产区域人员提供一个安全的生产环境。
不锈钢风阀
内衬特氟龙不锈钢管件
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不锈钢测试孔
内衬特氟龙不锈钢测试孔
内衬特氟龙不锈钢风阀
内衬特氟龙不锈钢三通
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3.2镀锌螺旋风管是用金属带料卷制成螺旋形咬缝的薄壁管 ,圆形，无焊 接，多用于一般送风。
镀锌三通
镀锌90◦弯头
镀锌螺旋直管
镀锌45◦弯头
CFM: Cubic Feet Per Minute 立方英尺/分 （ft3/min)
L/s: Liter Per Second
公升/秒 （L/s)
L/min :Liter Per Minute
公升/分 （L/min)
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风量单位换算表：
CMS
CMM
立方米每秒 立方米每分
应急排气系统流程：
排至
大气
FROM SEX PEX /切 换部分
风机 风机
烟囱
SUS304 Coating
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风管材质介绍
3.制程排气风管材质介绍
3.1特氟龙内衬管为不锈钢全焊管（SUS 304 或SUS 316L ）内 衬特氟龙（PTFE）。特氟龙（氟塑料）为氟磷高分子之化学品，具 有优异的高热性、绝缘性、耐蚀性、低燃性等特性.目前主要应用于 半导体工业、化工工程之防腐耐酸碱工艺排气；不锈钢全焊管（SUS 304 或SUS 316L）因其优异的耐蚀性、耐热性、高强度。主要用于 无尘室，半导体业，印刷电路板业，石化业，制药业，造纸业，食 品加工等工业的一般排气系统，强酸碱排气系统，有机溶剂排气系 统。
上图采用力矩对角锁法兰闭 合度均匀；下图非力矩对角 锁法兰闭合度不均匀，有可 能造成漏气现象。
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与风管接触之附属金属 配件需与风管材质相同 ，若不同需夹隔PVC垫 片，以防止时间久了发 生电解现象。
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管路安装依据规范 要求施工外，并应 顾及美观、坚固、 安全。
风量单位：
CMS: Cubic Meter Per Second 立方公尺/秒（m3/s)
CMM: Cubic Meter Per Minute 立方公尺/分 （m3/min)
CMH: Cubic Meter Per Minute 立方公尺/时 （ m3/h)
CFS: Cubic Feet Per Second 立方英尺/秒 （ft3/s)
0.0167
0.277
16.7
1
9.81mili
0.588
0.0283
1.698
28.3
1.69k
101.9
1
60
0.47mili 0.0283
0.472
28.3
1.698
0.167
1
K=1000;mili=0.001; µ=10^-6=0.000001；1英尺=0.3048公尺（米）；1米=3.2808398英尺
镀锌螺旋风管 SUS304 Coating
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（2）酸碱性排气：其主要来源于化学清洗工作站，清洗晶片时所产生之挥发性气 体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体，故必须经过 Scrubber中水洗中和处理，再由风机排入大气。
酸排（SEX）、碱排（AEX）系统流程：
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4.5Coating风管安装注意事项：
4.5.1尚未安装前，切勿随意拆除盲封以免造成法兰面损坏。 安装人员应小心搬运，以免造成风管表面的铁氟龙受损而产生针孔。 4.5.2螺丝应以适当的力矩对角锁紧。 4.5.3如果法兰面发生泄漏，但泄漏一方的螺丝已被适当地锁紧，则勿再逼 紧螺丝，以免损坏法兰面。正确的方法是将对角线的螺丝放松半圈，然后 再将泄漏一方的螺丝以相同的力量锁紧。如果还是泄漏，则需更换PTFE垫 圈。
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4.材料管控及施工品质
4.1Teflon Coating风管进场管制：
材料管控及施工品质
4.1.1所有管件均需盲封包装运送，工地在收货后经详细点数量及做目视检 验，合格后放置于架子上。 4.1.2发现有撞伤及凹陷之管件则需判定能否修缮，若不能修复就退件重做 ，若能修复则完成修复后再次做针孔测试，合格后才能使用。 4.1.3材料进场后仍需不定期对Coating管件进行抽查检验。 4.1.4进场的Coating材料仍然需抽检20%管件做针孔测试确保品质。 4.1.5风管盲封之处必需在进行安装工程时才能拆掉。
1
60
L/s
公升每秒
1k
L/min
公升每分
60k
CMH
立方米每时
3.6k
CFS
立方英尺每秒
35.3
CFM
立方英尺每分
2.118k
0.0167
1
16.7
1k
60
0.588
35.35
1mili
0.06
1
60
3.6
0.0353
2.118
16.7µ
1mili
0.0167
1
0.06
588µ
0.0353
277µ
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4.3Teflon Coating进场风管品检内容：
4.3.1外观：包装应完整无损，管件外表不可有任何损伤。 4.3.2针孔：Coating风管针孔的检测，使用针孔检知器，调整电压2.5KV，来 检测风管涂膜是否有针孔，若以检知器扫过Coating表面产生Alarm则标示 Duct有针孔。 4.3.3膜厚：采用膜厚测定仪 225µ~300µ之间（平均值250µ，取样8 point) 4.3.4焊道：使用液渗透检测，以检视焊道品质是否合乎规定。 4.3.5管壁厚度：使用游标卡尺进行测量，以检视是否符合国标标准。
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制程排气系统分类
2.制程排气系统分类
目前厂房中，依据排放之特性大致上区分为:
GEX – General Exhaust
一般排气
SEX – Acid Scrubbed Exhaust
酸性排气
AEX – Alkali Scrubbed Exhaust 碱性排气
SOX – Solvent Exhaust
工艺 设备 机台
Scrubber （洗涤塔）
风机
Scrubber （洗涤塔）
风机
排至 大气
烟囱
SUS304 Coating
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（3）有机溶剂排气：其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用有机溶剂 清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。
有机溶剂排气系统流程：
标注：红色为常用单位
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n风量平衡调节作用一：风机达到一个相对的输出频率，长年达到一个节能 效果； o风量平衡调节作用二:确保系统的风量平衡，可达机台需求；
调整程序：
1、检查管路是否漏气。 2、用风速计测量各出风口或分歧管干管管路。 3、将测试风量与设计风量做统计分析，自动或手动调整风阀开度 ，再Recheck风量使其达到平衡风量之需求。
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（1）一般排气：其来源于机台运转发热产生不含有害物质或是高温气体，但考虑无 尘室空调负荷与过滤装置负荷，因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而 不需处理。
一般排气GEX、热排HEX系统流程：
排入 大气
风机
工艺 设备 机台
风机
烟囱
注：GEX采用镀锌螺旋风管，HEX采用 SUS304
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4.4制程排气风管施工细则：
4.4.1依设计图施做，不得随意改变管径大小。 4.4.2螺钉螺帽之使用均需与风管材质一致，镀锌铁皮风管应采 用镀锌材 质，不锈钢风管应采用不锈钢材质。 4.4.3风管法兰之连接必须气密，镀锌铁皮风管法兰之垫片采用PVC材质， 不锈钢风管法兰之垫片应采用PTFE软质垫圈。 4.4.4管路配置需遵循横平竖直原则。 4.4.5圆弯头之中心线半径至少未风管直径的1.5倍。 4.4.6风管吊支架需严格按照国标施加，风速之增加而有震动，须依规用 角铁链接及角铁加强。
碱排剥离STR系统流程：
排至 大气
工艺 设备 机台
冷凝回 收器
冰水回水
冰水供水
Scrubber （洗涤塔）
风机
Scrubber （洗涤塔）
风机
烟囱
SUS304 Coating
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（5）应急排气：当洁净室机台端风管内探头感应气体浓度过高时，紧急启用以 使生产正常并维持室内环境。
有机溶剂排气
STR – Alkali Stripper Exhaust 碱性剥离排气
EEX – Emergency Exhaust
应急排气
HEX – Hot Exhaust
热排气
OEX – Ozone Exhaust
臭氧排气
镀锌螺旋风管 SUS304Coating SUS304Coating SUS304 SUS304Coating SUS304Coating SUS304 SUS304
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4.2设置风管放置区：
4.2.1依管件类别、尺寸大小，顺序整齐排列于风管放置区。 4.2.2标示风管置放区，须拉警戒线，提醒人以防受外物碰撞损坏,并挂上物 料暂存申请单。 4.2.3搬运过程中须小心轻放。 4.2.4严禁将风管于地面滚动，平法兰面严禁放置地上或与其他物体接触。 4.2.5拆下包装材料须摆置整齐不可随意堆放。
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报告完毕 谢谢大家
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施工工序：
材料厂验
支吊架路线放 样
安装支吊架
安装风管
调整水平
法兰螺丝吊架 点检
Takeoff检查
盲板封堵检查
管路标签、挂 牌
源自文库风量平衡调整
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照片说明：
管路焊缝一般安置 水平朝上，以防焊 缝有针孔而渗漏。
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