浅谈无尘室如何清洁的基础知识

静电放电（ESD） 两个物体表面接触就会产生静电放电，空气的移动也能产生静电，人员接触后的物体表面或走 过地面时能产生摩擦静电，用 ESD 防护材料避免 ESD 危害，无尘室管理人员要根据自已的个人工 作经验去理解哪些条件下能出现静电和怎样去防止静电的危害。
无尘室清洁程序 以下将介绍一些清洁无尘室的程序，在这里特别强调这些程序只是指导方针而不是强制标准或准 则。在这里提到的清洁程序明细都是日常清洁任务，在实际的无尘室清洁程序中可以替代推荐中 的某些条款。对于清洁管理人员来讲，回顾所有在无尘室管理中要用到的清洁程序是非常重要的， 每个无尘室都要准备详细的清洁计划，以下是清洁万级无尘室需要完成的清洁程序。
控制污染唯一的方法是控制整个环境，包括室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流 分布、噪音振动及照明等需要控制，尘粒来源需要控制或消除。只要可能，清洁室内的工作要多 于清洁过滤器，无尘室的设计和制造使用时需要科学的设计方案和方法，在电子学，药学，生物 制药，医学医疗仪器工业和其它的关键制造业的环境生产中已被证实. 在比较无尘室和一栋典型的办公大楼的不同时只需抓住一个核心“空气粒子数监控”，典型办公 大楼空气每立方英尺包含 500,000---1,000,000 个 粒子 (直径 0.5 微米以上)；100 级无尘室设 计空气粒子允许数不超过每立方英尺 100 个粒子 (直径 0.5 微米以上)；1000 和 10,000 无尘室 分别被设计限制粒子为 1000 和 10,000 每立方英尺。 一根人类的头发直径约为 75-100 个微米，小于头发 200 倍的粒子（0.5 微米）在无尘室却能引 起重要的灾难.，污染能导致昂贵的停工时间而且增加制造成本，事实上，十亿美元的美国航空 暨太空总署哈柏太空望远被损坏就是因为小于 0.5 微米的粒子污染造成。
1） 人体产生物质---皮屑、皮脂油、汗液和头发 2） 行为---运动速度、打喷嚏和咳嗽 3） 姿势---工作习惯和工人之间的沟通姿势
日用品 在无尘室中选择和使用日用品时需要谨慎,无尘抹布,无尘纸和无尘笔以及其它在无尘室需用到 的物料需经过仔细的筛选和选择,在这些物品进入无尘室之前,评估是否满足无尘室条件是很基 本的工作,实际上,很多无尘室管理人员都要有经批准可在无尘室使用的物料清单。
1.所有个人物品，如钥匙，手表，戒指，火柴，打火机和香烟需储存在无尘室外的个人储存柜中。
2.个人贵重物品如钱包允许随身携带至无尘室，但是决不能将它们从无尘工衣里面拿出来。
3.洁净室内禁止吃喝，吸烟，禁止咀嚼口香糖或糖果。 4.进入无尘室只能穿戴经过批准使用的无尘工衣。 5.在洁净室内不允许使用化妆品，包括: 口红、眼影、眉毛铅笔，睫毛膏，假眼睫毛，指甲油， 喷发剂，以及在修面和喷香水之时大量重复使用气雾化妆品。 6.在无尘室中只能用专用的无尘纸张。 7.无尘室中的书写工具必须是专用的无尘圆珠笔。 8.禁止使用纸制或织物手巾，建议在无尘室中使用带高效过滤器的手动干衣设备。 9.戴手套或手指套后不允许接触任何不清洁的物体或物体表面。 10.在传递产品时要戴手套、手指套，或用钳子、镊子等工具，手指印是产品污染的主要来源。 11.应该避免溶液接触裸露的皮肤，它可移动皮肤上的汗液及油污并且增加皮肤的皮屑等脱落物。 12.允许使用主要成份是皂甙类的皮肤清洁剂，它可以减少皮肤新陈代谢产生的脱落物。 13.所有清洁程序中用到的工具、容器和夹具需要清洁至无尘室表面同等级别，因为这些物品都 是污染的来源之一。 14.工具不允许直接放在在工作台或工作椅的表面，应该先垫放在无尘抹布上。
15.在无尘室中只能使用专用的无尘抹布，这些抹布也必须在无尘室中清洗。
16.所有设备、物料和容器在进入无菌车间时必须在入口处进行严格的杀菌消毒。
17.任何患有生理疾病的人员，特别禁止患有呼吸或消化系统疾病人员进入无菌室，现在这点在 业界已经形成了很好的惯例。
无尘室中几种被禁止的典型个人行为
1.快速运动例如跑动，快速走动或嬉闹。 2.坐在或倚靠在设备或工作台上。 3.在设备或工衣上乱写乱画。 4.打开无尘工衣从里面的衣服中拿取个人物品。 5.穿着无尘工衣进入非无尘环境。 6.穿着破损或污染的工衣。
以上明细是百级无尘室清洁中需要完成的普遍任务，该明细并不是最详尽的，但给出了很多如何 准备清洁计划和制定清洁频率的方法，一份与无尘室管理相结合的评估程序将有助于更好定义这 些任务和频率。
无尘室个人行为规范
以下为推荐的在无尘室操作时需要遵守的个人行为规范，所有专业的清洁人员都应该知道并时刻 遵守这些规定。
程序
1a 废弃物的处理
拖洗公共走廊
擦拭天花板
1b 撕去脏的粘尘垫
1c 拖洗和废弃物的处理
擦拭墙面
1d 拖洗和废弃物的处理
擦拭墙面
2a 拖洗地面
擦拭墙面
真空吸尘
2b 拖洗和废弃物的处理
2c 擦拭墙面、窗户、门，整理风淋室、传递窗和灭火器
频率 每日一次 每周一次 每月一次 两小时一次 每日一次 每周一次 每日一次 每周一次 每班两次 每周一次 每月一次 每班一次 每周一次
无尘室一经建造,在维护和清洁上也必须有同样高的标准. 东莞和生工业服装有限公司撰写 本文专门准备给专业清洁人士提供无尘室如何清洁的基础知识。
污染是什么? 污染是物件表面被污染物质污染的过程或行为，有两种广义范畴的表面污染:膜状类型和微粒子, 这些污染物能在小型电路上产生"凶手缺点", 只有 10nm(奈米) 的膜装污染物能大幅减少晶圆 或芯片涂料的附着. 一般广泛可接受的污染物的大小是 0.5 微米的粒子,现在一些微电子工业 控制目标是更小的粒子。
无尘室工衣 在无尘室中不同位置间移动也需要无尘工衣穿着发生变化，知道无尘室管理的工衣需求是非常 重要的，手套、口罩、头罩在几乎每个无尘室环境中都是标准着装，工作服用得越来越广泛，连 体服在很多无尘环境中也被要求用到。
洁净室中的人员 当人员出现在无尘室中时身体和心理上因素都需注意，身体举动比如快速移动和剧烈动作都能 产生污染，心理因素例如温度、湿度、气味和工作场所的姿势都是重要的，以下有多种人为产生 的污染方式：
部分污染物明细可参见下面污染的来源, 任何这些尘粒可能是损害一个线路的来源， 我们的目 标是阻止这些污染物进入无尘环境, 它需要每个进入无尘室的人员承诺避免发生，专业清洁人员 需知道污染控制的重要性, 无论谁进入无尘室或在无尘室清洁时都需要严格执行这样要求，不可 接受任何妥协。
污染的来源 多数污染物已经证实主要有以下将要提到的五个基本来源，设备、人、工具、液体和制造的产品 都可能产生污染，重新回顾这些因素将有助于我们更好理解污染的产生根源。
浅谈无尘室如何清洁的基础知识
洁净室是产品在生产过程中环境被控制的房间，在无尘室中空气的尘粒被集中控制在一定标准范 围内，并消除微米级的空气污染。这些尘粒通常由人体产生，加工过程中产生，设备装置产生， 必须不断从空气中除去它们。尘粒除去需要达到什么水平需依靠标准要求，美国联邦标准 209E 现在被广泛应用，该标准规定了空气洁净度的等级，洁净室或洁净区域空气粒子数量的多少，科 学严谨的标准有利用防止产品污染。
化妆品 很多化妆品含有钠、镁、硅、钙、钾或铁等化学元素，这些化学物质能产生有害的尘粒，无尘 室管理人员可以在无尘室中禁止或限制使用化妆品，当然取决于这些物质对在无尘室中生产出来 产品的危害，最近发现造成空间望远镜的镜片出现不清晰的物质就是因为在无尘室受到化妆品的 污染。
测量和仪器 一些与污染控制相关的重要测量，如尘粒数、空气流动/速度、湿度、温度和表面洁净度，无尘 室管理人员通常有测试标准和（或）测量仪器去测量这些重要项目。
处理废弃物，用合适的清洁工具擦拭、拖洗工作台和工作 每班一次 台底部、桌脚、边缘
用真空吸尘法清洁入口处地垫，清洁与拖洗地板
每班一次
用专用抛光剂和自来水拖洗地板
每班一次
在无尘室中移动废弃物时要戴手套，决不能拿取废弃的容 每班一次 器
湿法拖洗地板
每班一次
109 处理酸性废弃溶液 110 清洁无尘室中所有的休息室并增加清洁用品 111 采用真空吸尘法清洁地板（如果条件允许）
Class 10,000 无尘室清洁程序
无尘室和受控区域的日常清洁维护的重点首先是确保质量，无尘室清洁的日常工作需要认真执 行。不正确的无尘室清洁可能导致污染和终端产品质量的缺陷，正确选择设备和物料的清洁方式 的是非常重要。在无尘室中只能用已经被证实有良好无尘性能的产品，这些产品需要列举出来， 并且告之所有产商这些产品需要有严格污染控制方法，所有程序应该严格执行。以下为无尘室中 如何组织及执行清洁任务的例子，这些并非为强制程序或时间计划，它们只是准备工作程序和时 间表的指导方针，实际的清洁需求包含在以下任何的清洁计划中。
无尘室气流装置设计 无尘室设计成让气流以一个方向流动（或是垂直的或是水平的），并以一般是 0.3 米/秒/至 0.5 米/秒的均速流过整个空间，这种称为单向流洁净室，气流有越多的障碍就会产生更多的紊流， 紊流能产生尘粒的移动。
过滤器 除了 HEPA 过滤器广泛地用于无尘室外，还有很多其它类型的过滤器用于从气体和液体中除去尘 粒，这些过滤器都是提供高效率污染控制的基础。
用清洁工具和合适的抹布清洁不锈钢传递箱
每班一次 每周三次 每周二次 每周一次
以上 明细 是千 级无
尘室清洁中需要完成的普遍任务，该明细并不是最详尽的，但给出了很多如何准备清洁计划和制
定清洁频率的方法，一份与无尘室管理相结合的评估程序将有助于更好定义这些任务和频率。
Class 100 无尘室清洁程序
区域
清洁无尘室需用到的设备和清洁用品
（所有无尘用品必须符合万级最低要求）
1.清洁及消毒溶液 2.无尘拖把 3.无尘室真空吸尘器（如果条件允许） 4.无尘抹布 5.无尘拖把专用桶及拧干器
无尘室的清洁维护任务
（频率可以变化主要取决于实际需要）
1.受控环境中清洁所有工作台面 2.地板和工作表面用真空吸尘器清洁（如果条件允许） 3.无尘室垃圾和废弃物的处理 4.用指定的溶剂清洁门、门框、传递窗和更衣室 5.用拖把拖洗无尘室地板
Class 1000 无尘室的清洁程序
以下表格为推荐的千级无尘室的清洁频率，实际清洁标准及频率必须依照推荐的要求。
区域 101 102 103 104
105 106 107
1wenku.baidu.com8
工作描述
频率
更换脏的粘尘垫
每两小时一次
用专用拖把采取湿法拖洗（用 DI 水）
每班二次
去除拖把上的脏污（条件允计下）
每班二次
清洁
在污染控制中清洁是最基本的要素之一，必须下决心制定详细的洁净室维护和清洁计划，无尘 室清洁及操作程序须文件化，且无尘室管理条例也需与合作的供应商达成统一，在进行无尘室清 洁项目之前有很多问题需要清洁管理人员事先考虑。 清洁什么？ 清洁的标准是怎样的？ 在无尘室中需要用到什么样的清洁物料？ 什么时候清洁无尘室？ 无尘室的清洁频繁？
1. 设备 墙壁，地板和天花板 油漆和涂料 建筑材料 (粉尘颗粒,可见灰尘) 空气调节装置残片 房间空气和水蒸气 溢出物和泄漏物
2. 人员产生 皮肤产生的皮屑和油脂 化妆品和香水 唾沫 衣服碎片 (棉绒、 纤维等) 头发
3.工具产生 摩擦产生物和包装产生尘粒 润滑物和喷射物 机械震动 扫帚，拖把和除尘器
4.流体物 空气漂浮物 细菌, 有机物和水蒸气 地板抛光剂和涂料 化学清洁药品 增塑剂 除离子水
5. 产品产生 硅片 石英碎片
无尘室材料产生碎片 铝制品产生残存物 污染控制的关键要素 综合考虑多方面因素，有利于整个污染控制计划做得更好，当我们提供一份高效污染控制项目 时，有以下项目需要考虑到。
HEPA（高效空气过滤器） HEPA 在污染控制的维护上是非常重要的，对于直径大于 0.3um 的尘粒的过滤效率可以达到 99.97%