单晶硅棒标准
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单晶硅棒
型号P型型号P型
结晶方位100±3°结晶方位100±3°
掺杂剂硼掺杂剂硼
电阻率0.5/3Ω．cm 3/6Ω．cm 电阻率0.5/6Ω．cm
氧含量≤1×1018atoms/cm3 氧含量≤1×1018atoms/cm3 碳含量≤5×1016atoms/cm3 碳含量≤5×1016atoms/cm3 少子寿命10μsec 少子寿命10μsec
位错密度＜3000 pcs./cm2 位错密度＜3000 pcs./cm2 直径153~160 直径209~215
计价直径153 计价直径205