薄膜与涂层现代表面技术

材料表面技术分类

材料表面技术：材料表而涂镀技术、材料表而改性技术、材料表而微细加工技术、表而检测分析与质量评估。

材料表面涂镀技术：物理气相沉积PVD、化学气相沉积CVD、电镀及阳极氧化、化学镀、热喷涂喷焊、电刷镀、电泳涂层、涂镀（喷塑油漆）、表而复合处理技术、材料纳米化表面工程技术。

材料表而改性技术：活性气体离子处理、气体扩渗、液体扩渗、固体扩渗、机械强化、激光表而处理、电子束表而改性、离子朿表面改性。

材料表面微细加工技术：光刻加工、电子束微细加工、离子朿微细加工、激光朿微细加工、微细电火花加工、微细喷粉加工、超声波加工、微细电解加工、微电铸加工、LIGA技术加工。

表而检测分析与质量评估：表面分析技术、表而物化特性、表而几何特性、表而力学特性、质呈:标准与质量评估。

表而工程学

现代材料表而工程学：材料表而工程基础理论、材料表而工程技术、材料表而检测技术、材料表而工程技术设计、材料表面工程应用。

材料表面工程基础理论：腐蚀与防护理论，表而磨擦*1磨损理论，表而完整性与界面理论，表而物理化学，表而装饰与美学，表而机、力、热、光、声、电、磁等功能膜层设计理论，表面功能特性间耦合转换、复合性能理论，表而失效理论及其分析理论，低维材料的结构理论。

材料表面工程技术：材料表面改性技术、薄膜技术、涂层技术、材料表而复合处理技术、材料表而纳米化工程技术。

材料表面改性技术：表面形变强化，表而相变强化，表而扩散渗入，化学转化，电化学转化，等离子表而强化，藹子朿、电子朿、激光朿表面改性。

薄膜技术：光学薄膜沉积技术，电子学薄膜沉积技术，光电子薄膜沉积技术，集成光学薄膜沉积技术，传感器用薄膜沉积技术，金刚石薄膜（含类金刚石薄膜）沉积技术，防护用（耐蚀、耐磨、抗高温氧化、防潮、髙强高硬、装饰等）薄膜沉积技术。

涂层技术：热喷涂技术、电化学沉积技术、有机涂层技术、无机涂层技术、热浸镀技术、防锈技术。

材料表面复合处理技术：镀覆层一一热处理，表而热处理一一表而化学处理，热处理一—表面形变强化，镀膜一一注入一一扩渗，离子注入一一镀膜，激光一一气相沉积，电子束——气相沉积，等离子喷涂一一激光。

材料表面纳米化工程技术：纳米颗粒复合电刷镀技术，纳米热喷涂技术，纳米涂装技术, 纳米减摩自修复添加剂技术，纳米固体润滑干膜技术，纳米粘涂技术，纳米薄膜沉积技术。

材料表面检测技术：表而微观结构分析技术，表面化学分析技术，表而物理性能测试技术，表而力学性能测试技术，表而几何特性测试技术，表而无损检测技术。

材料表面工程技术设计：表而层成分结构设讣，表面复合功能层设计，表面选择与应用设计，表而涂镀层制备工艺设计，表而工程施工设计，表而工程设备与工艺流程设汁，表而工程车间设计。

材料表面工程应用：表面层特性及英综合利用，表而层原料及加工技术，表而层标准及检验，表而界而维修与再造，表面质量与工艺过程控制，表面工程管理与经济分析。

薄膜功能分类

薄膜技术：装饰功能薄膜、物理功能薄膜、机械功能薄膜、特殊功能薄膜。

装饰功能薄膜：各种色调的彩色膜，幕墙玻璃用装饰膜，塑料金属化装饰膜，包装装潢及装饰薄膜，镀铝纸。

物理功能薄膜：光学薄膜、微电子学薄膜、光电子学薄膜、集成光学薄膜、信息存储膜。光学薄膜：阳光控制膜，低辐射系数膜，防激光致盲膜一一AI2O3、SiO2、TiCh、Cr2O3.

Ta2O5. NiAi、金刚石和类金刚石薄膜Au、Ag、Cu、Al,反射膜，增反膜，选择性反射膜, 窗口薄膜。

微电子学薄膜：电极膜，电器元件膜——Si、GaAs、GeSi,传感器膜一一SbQ：、SiO、SiO2. TiCh、ZnO、AIN、Se、Gc、SiC、PbTiCh、A12O3,超导元件膜——YBaCuO、BiSrCaCuO、NbsAl、NbsGc,微波声学器件膜，晶体管薄膜，集成电路基片膜一一Al、Au、Ag. Cu、Pt、NiCr、W,热沉或散射片膜。

光电子学薄膜：探测器膜——HF/DFCL. COIL、Na%、YAG、HgCdTe,光敏电阻膜一—InSb、PtSi/Si. GeSi/Si,光导摄像靶膜——PbO、PbTiCh、（Pb、L） TiCh、LiTaOjo

集成光学薄膜：光波导膜，光开关膜，光调制膜——AI2O3、NbQ,、LiNbOs、Li、Ta2O5, 光偏转膜——LiTaCh、Pb （Zr、Ti） O3、BaTiOj,激光器薄膜。

信息存储膜：磁记录膜一一磁带、硬磁盘、软磁盘、磁卡、磁鼓等用：丫-（FC2O3）、

Co-Fe2O3. CrO?、FcCo、Co-Ni,光盘存储膜——CD-ROM、VCD、DVD、CD-E、GdTbFc、CdCo、InSb膜，铁电存储膜——Sr-TiO2, （Ba、Sr） T1O3. DZT、CoNiP、CoCr。

机械功能薄膜：耐腐蚀膜——TiN、CrN、SiO2. Cr7C3. NbC、TaC、ZrO2. MCrAlY.

Co+Cr、ZrO2+Y2O3,耐冲刷膜——TiN、TaN、ZrN、TiC、TaC、SiC、BN,耐高温氧化膜—TiCN、金刚石和类金刚石薄膜、TiSiN、TiAlSiN. TiSiCN,防潮放热膜一一Al、Zn、Cr、Ti、Ni、AlZn、NiCrAl,髙强度髙硬度膜------------------ o CrAlY、NiCoCrAlYHf. NiCoCrAlYTa,

润滑与自润滑一一M O S2,成型加工（防咬合、裂纹、耐磨损）一一TiC、TiCN、TiSiCNo 特殊功

能薄膜：真空下的干磨擦一一DLC、金刚石：辐射下的润滑与耐磨一一MoS?；髙温耐磨与透

光一一金刚石；具某方而特殊功能的纳米薄膜一一单层：金属、半导体、绝缘体、高分子，复

合膜（包括纳米复合结构与复合功能）：金属一一半导体、半导体一一绝缘体、金属一一绝缘体、金属一一高分子、半导体一一高分子。

表而改性技术

材料表面改性技术：表面形变强化、表而相变强化、离子注入、表而扩散渗入、化学转化、电化学转化。

表而形变强化：喷丸强化：馄压强化一一在金属表而、亚表而形成压应力区；孔挤压强化。

表而相变强化：感应加热表而淬火：激光表而淬火一一在金属表而、亚表面形成新的相变区，形成硬化层；电子朿表而淬火；流态床表而硬化。

离子注入：非金属离子注入一一硼、氮、磷；金属离子注入一一馅、金旦、银、铅、锡; 复合离子注入一一钛+碳、珞+碳、珞+钮、縮+磷；离子混合一一钛+氮、铝+硅、钛+耙。

表而扩散渗入：非金属元素表而扩散一一渗碳、氮、硼、硅、碳氮共渗；金属元素表而扩散一一渗锌、锡、钺、铝、絡、铸、钮、帆：复合元素表面扩散一一渗铝珞、铝硅、铝钛、铜钢、铝辂硅、鸽钮硼硅。

化学转化：化学氧化一一在铝、镁、钢、铜表面形成氧化膜；钝化一一在钢、铜、锌、镉、铝、镁、钛上形成钝化膜：磷化一一在钢铁上形成磷化膜：草酸盐处理一一在钢铁上形成草酸盐膜：着色一一在钢、铜、不锈钢、钛、辂形成颜色：钢件的发蓝一一在钢件上形成黑色氧化膜：磨光、滚光、抛光一一提髙表而完整性和光洁度。