纳米加工技术

4、可重复复制，符合工业上大批量生产要求，制 造成本相对较低等。 用途：
广泛应用于微传感器、微电机、微执行器、 微机械零件、集成光学和微光学元件、真空 电子元件、微型医疗器械、流体技术微元件、 纳米技术元件等的制作。
利用LIGA技术制作的铜电极阵列和加工出的70µm厚WC-Co齿轮
纳米加工的方法及设备
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R.Feynman
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纳米技术的意义
纳米技术将引发一场新的工 业革命
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2010年现在的微电子器件芯
片的线宽将达到0.1～0.07nm， 小于此尺寸，器件应按新原
理设计。其性能将大大提高，
这将是对信息产业和其它相 关产业的一场深刻的革命。
纳米技术是21世纪经济增长的一个主要的发动机，它将使 微电子学在20世纪后半叶对世界的影响相形见绌。
基于扫描显微原理的纳米加工
扫 描 隧 道 显 微 镜
扫描隧道显微镜（STM）工作原理： 把极小的针尖和被研究的物质表面作为两个电 极，当样品表面与针尖的距离非常小(<1nm)时，在 外电场作用下电子即会穿过两极间的绝缘层流向另 一极，产生隧道电流，并通过反馈电路传递到计算 机上表现出来。
扫描显微技术的特点： 1.具有原子级的高分辨率
日本松下精机研制的微细放电加工机床
利用微细放电加工方法制作的汽车模型
纳米加工的方法及设备
1、光刻 2、去光阻
LIGA加工工艺
优点：
3、电铸
4、模仁
1、可制造较大高宽比的结构；
2、取材广泛，可以是金属、陶瓷、聚合物、玻璃 等； 3、可制作任意截面形状图形结构，加工精度高；
5、射出成型
6、成品脱模
LIGA工艺过程
纳米加工技术
纳米加工技术指能够在纳米尺度上改变物质结构或物 质特性的加工技术，能够实现原子级的迁移、增添或删除 操作。如何进行有效控制以达到原子级的去除，是实现纳 米级加工的关键。
微型发动机
wk.baidu.com
IBM实验室用铁原子 拼出汉字“原子”
桌面工厂 微型直升机
纳米加工的方法及设备
纳米级机械加工
金刚石刀具超精密切削加工——用于 平面、圆柱面和非球曲面的镜面 切削加工。 可延性纳米级磨削——用于量块、光
2.可以观察单个原子层的局部表面结构
3.可以实时、实空间地观察表面的三维图像 4.能在不同条件下工作，探测过程对工件无损伤。 5.不仅可用于成像，还可以对表面的原子进行操纵， 从而进行纳米级加工。
扫描隧道显微镜工作原理示意图
发展纳米加工技术的途径
发展前景的展望
航空航天
纳 米 卫 星
1.增加有效载荷，成指数倍地降低耗能。 2.低能耗、抗辐照的高性能计算机及其它 测控电子设备 3.抗热障、耐磨损的纳米涂层材料 4.微型航天器、“纳米卫星”等
纳米加工技术概述
• 概念的提出与发展 1959.12.29 诺贝尔物理奖得主 R.Feynman在其 演讲“There’s plenty of room at the bottom ” 中提出人类如能在原子/分子的尺度上加工材料， 将有新的发现。那时，化学将成为根据人类的意愿 逐个地准确放置原子的问题。 1974年 TANIGUCHI最早使用nanotechnology一词 描述精细机械加工。 70年代后期 MIT 的德雷克斯勒教授提倡纳米技 术研究但多数主流科学家持怀疑态度。 80年代初 STM 和AFM等微观表征和操纵技术的发 明和使用推动了纳米技术的快速发展。 1990.7 第一届国际纳米科学技术会议与第五届国 际STM显微学会议同时在美国Baltimore举行。 Nanotechnology和Nanobiology 国际专业刊物相继 问世。
纳米加工技术
纳米技术定义
目前人类研究的物质世界的 最大尺度：1025 米（～10亿光年） 最小尺度：10－19 米
纳米(nm)：10－9 米 纳米技术：研究结构尺寸在0.1～100 nm 范围的物质的特性和相互作用，以及利 用这些特性的多学科交叉的科学与技术。 当物质小到10－9～10－7 米时，由于量 子效应和巨大的表面和界面效应，性能 发生质变，呈现出许多既不同于宏观物 体、也不同于单个孤立原子的新颖的物 理、化学和生物学等特性。
高效助燃剂：
纳米粉末具有极强的储能特性，将其作为添加
航 天 纳 米 绝 热 材 料
剂加入燃料中可大大提高燃烧率。将一些纳米粉末 添加到火箭的固体燃料推进剂中，可大幅度提高燃
料的燃烧热、燃烧效率，改善燃稳定性。有研究表
明，向火箭固体燃料中加入0.5%纳米铝粉或镍粉， 可使燃烧效率提高10%-25%，燃烧速度加快数十倍。
金刚石刀具超精密切削加工
学平晶，集成电路的硅基片。 在线电解修整（ELID）砂轮磨削——
纳 米 研 磨 机
用于硬脆材料超精密镜面磨削。
纳米加工的方法及设备
能量束加工
电子束、聚焦离子束、激光束微细加工 优点：1.高能量，可进行超高速加热和冷却 2.高能束直径可到达纳米级 3.高能束偏转扫描柔韧性好、无惯性，能 全方位加工 4.非接触加工，无需刀具，无加工变形 5.几乎可对任何材料加工 加工方法： 1.光学光刻 2.X光光刻 3.电子束光刻 4.离子束加工 5.原子层刻蚀 6.原位制作技术