高效过滤器检漏标准程序

高效过滤器检漏标准程序

1.目的：规范高效过滤器的检漏操作，发现高效过滤器及其安装的缺陷所在，及时采取补救措施以保证洁净区域的洁净度。

2.范围：适用公司内所有洁净区内安装的高效过滤器的检漏操作。

3.职责：质量部QA人员负责高效过滤器的检漏，生产部工程人员负责高效过滤器的补漏或更换。

4.检漏时机：①新安装、修补或堵漏后的高效过滤器；

②使用中的高效过滤器，每1年检漏一次；

③对洁净区洁净度日常监测发现异常，应及时对可疑的高效过滤器

检漏。

5.检漏仪器：尘埃粒子计数器。

6.检漏程序：

6.1开启待测洁净区的空调净化系统，至少运行30分钟。

6.2按说明书将尘埃粒子计数器预热，设置2.83l/min的采样量，准备对≥0.5μm 的粒子数进行检测。

6.3将尘埃粒子计数器的采样头靠近高效过滤器送风面1~3厘米处（注意不要碰到高效过滤器、层流罩或天花板上），以3~5厘米/秒的速度，沿着边框和送风面移动扫描。

6.4观察仪器显示≥0.5μm的粒子数变化情况。当扫描到某点，发现≥0.5μm的粒子数急剧增加时，应对该点重点检测。测试时间不低于1分钟。

6.5每个高效过滤器的检漏扫描应进行至少2次。

7.结果判定与处理：

7.1合格标准：各点扫描测得的≥0.5μm的粒子数应不超过10个/2.83L。

7.2对确定存在泄漏的高效过滤器，应通知使用部门停用。由工程人员组织修补或更换。修补或更换后的高效过滤器需重新扫描检漏，合格后方可投入使用。

8.及时填写《高效过滤器检漏记录》及相关记录。