多弧离子镀调研报告

多弧离子镀技术的现状调研

引言

物理气相沉积技术早在 20世纪初已有些应用，但在最近 30年迅速发 展，成为一门极具广阔应用前景的新技术，并向着环保型、清洁型趋势发 展。20世纪90年代初至今，在钟表行业，尤其是高档手表金属外观件的表 面处理方面得到越来越为广泛的应用。

离子镀技术是在真空蒸

镀和真空溅射的基础上于 20世纪60年代初发展起来 的新型薄膜制备技术，于 发表了电子束离子镀技术， 作了 TIN 及TIC 超硬膜。 多弧离子镀属于离子镀的一种改进方法， 是离子镀技术中的皎皎者。最早由苏联 人开发，80年代初，美国的Multi-Arc 公司首先把这种技术实用化，至此离子 镀达到工业应用水平。

离子镀种类很多，蒸发远加热方式有电阻加热、电子束加热、等离子

电子束加热、高频感应加热等

然而多弧离子镀与一般的离子镀有着很大的区别。多弧离子镀采用的

是弧光放电，而并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积。简单的说，多弧 离子镀的原理就是把阴极靶作为蒸发源，通过靶与阳极壳体之间的弧光放 电，使靶材蒸发，从而在空间中形成等离子体，对基体进行沉积。由于多弧 离子镀技术具有镀膜速度高，膜层的致密度大，膜的附着力好等特点，使多弧离 子镀镀层在工具、模具的超硬镀膜、装饰镀膜等领域的应用越来越广泛， 并将占 据越来越重要的地位。

离子镀技术是当前使用面最为广泛、最为先进的表面处理技术之一，

而多弧离子镀更是其中的佼佼者。据不完全统计，国内外有近一半以上表 面处理使用多弧离子镀技术， 尤其是那些需要耐磨、耐蚀及特殊要求的场 合。随着社会的进步，科学的发展，离子镀技术必将加完善。

1963 年由 D. M Mattox 提出，1971 年 Chamber 等

1972年又出现了反应蒸发镀（ARE 技术，并制 同年，

MOLEY 和SMITH 将空心阴极技术应用于镀膜。

目录

1物理气相沉积技术

物理气相沉积技术种类

物理气相沉积（Physical Vapor Deposition ， PVD）技术是在真空条件下，采

用物理方法，将材料源一一固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积的主要方法有（1）真空蒸镀；（2）溅射镀膜；（3）离子镀膜。

发展到目前，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、、聚合物膜等。

真空蒸镀

真空蒸镀基本原理是在真空条件下，使金属、金属合金或化合物蒸发，然后沉积在基体表面上，蒸发的方法常用电阻加热，高频感应加热，电子束、激光束、离子束高能轰击镀料，使其蒸发成气相，然后沉积在基体表面，历史上真空蒸镀是PVD法中使用最早的技术。

溅射镀膜

溅射镀膜基本原理是充氩气的真空条件下，使氩气进行辉光放电，这时氩原子电离成氩离子，氩离子在电场力的作用下，加速轰击以镀料制作的阴极靶材，靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。如果采用直流辉光放电，称直流（Qc）溅射，射频（RF）辉光放电引起的称射频溅射。磁控（M）辉光放电引起的称磁控溅射。离子镀膜离子镀基本原理是在真空条件下，采用某种等离子体电离技术，使镀料原子部分电离成离子，同时产生许多高能量的中性原子，在被镀基体上加负偏压。这样在深度负偏压的作用下，离子沉积于基体表面形成薄膜。

物理气相沉积技术主要厂商

PLATIT涂层设备公司

PLATIT公司总部位于瑞士，属于BCI集团旗下企业。该公司是目前唯一只做设备不做涂层服务的公司。目前在国内的市场主要由代理商科汇负责，科汇最早在香港开了涂层中心，于2006年在深圳成立分厂，但现在基本都转移到深圳。PLATIT的最大优点是开发纳米结构涂层，而且宣传的非常好，PLATIT的设备是

目前在国内销售的最多的外国涂层设备。

赛利涂层技术有限公司？？

赛利涂层技术有限公司原是天威赛利涂层技术有限公司，由天威集团与德国CemeCon AG共同投资成立。公司成立于2003年09月。2005年04月，天威赛利成功通过德国T u V （莱茵公司）的£09001:2000质量认证，2008年06月顺利完成了由德国CemeCon独资的股权变更，公司名称变更为：保定赛利涂层技术有限公司。公司主营业务为：PVD （物理气相沉积）与金刚石涂层产品、涂层设备、配件与耗材的制造、销售与售后服务。

欧瑞康巴尔查斯有限公司？？

欧瑞康巴尔查斯涂层（苏州）有限公司是瑞士独资公司，注册成立于2003年，目前全国有7个涂层中心，分别位于天津、江苏苏州、浙江温岭、陕西汉中和西安、四川成都、广州东莞。目前我们正在建设两个新的涂层中心，分别位于在重庆市和山东济南市。欧瑞康已涉足六大领域：涂层、真空、光学和航空元件、纺织品、推进系统、半导体等。欧瑞康巴尔查斯产品在国市场的占有份额约为15%〜20%,这一份额已经是国内最大的PVD 涂层公司，比其它涂层公司要高出很多，目前巴尔查斯在全球市场所占份额约为三分之一。

德国PVT涂层有限公司

德国PVT涂层有限公司，是由德国PVT公司在中国投资设立的涂层加工中心，公司总部在德国的本斯海姆，目前该公司自己在国内有四个涂层中心：黑龙江哈尔滨、江苏常州、浙江温岭、广东东莞。德国PVT公司是当今世界上最先

进的超硬涂层技术研发和设备制造公司之一，是专门开发设计具有世界领先水平的离子和等离子真空镀膜设备的高科技公司，主要集涂层设备制造，涂层新工艺研发及涂层加工于一体。特别是其动态磁场设计，电弧运动速度快，而且遍布整个靶面，能够提高膜层均匀性、提高靶材利用率、减小液滴等特点。

瑞士Sulzer

瑞士Sulzer公司成立于1984年, 1987年在德国Bevgisch Gladbach建立独立

的涂层中心，主要以MAXIT耐磨涂层为主。1992年开始生产制造设备，并扩大了涂层服务，1997年兼并了Klocknev lonon GmbH公司，业务范围扩展到等离子渗氮领域，即IONIT R耐磨保护，1999扩展到装饰涂层领域。2001年该公司被瑞士Sulzer公司收购，2002年扩大了Bergisch Gladbach 的IONIT 和IONIT OX 的生产规模，成为最大