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以上面图像为例子,设置时只需要设置一个周期,然后将边界设为周期结构即可。

1.打开fdtd软件

2.单击structures设置结构。

3.选中物体单击右键设置参数。

给结构命名,x,y,z确定结构在各个方向上的范围。

5设置选中结构的材料,如果material里有想要的材料直接选中即可,没有的可以通过查询,将其折射率直接输入到index中。

6.当结构重叠时,可勾选下面按钮,设置重叠部分的优先性,数字越小优先性越高。

7.设置基底上的光栅结构,先设置下层Al。

8.设置中间层PMMA

9.设置上层Al

10.单击Simulation选中region设置模拟区域。Geometry设置单元结构参数,一般选取一个周期即可,所以X span和Y span就是周期,然后在boundary conditions中将x,y都选为periodic。点击OK.

11.在Source中选取plane wave,genaral中入射方向改为向下入射,geometry中X span和Y span选取的要比周期大,Frequency/wavelength中改变入射波长范围。

12.在Monitor中选取frequency domain field and power探测器。勾选第一项,将frequency points变为200,将探测器放于光源上方探测反射率。还可以在选取一个探测器放于下方探测投射,一次模拟可以放入多个探测器。

13.结构设置完成之后,点击RUN,运行,待运行完毕后,选择对应的探测器,可以看出探测到的结果。

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