无机非金属材料扫描电镜的制样流程

无机非金属材料扫描样品的制备流程

样品要求：试样经切割和磨抛处理成适宜扫描电镜观察的大小后还应进行喷金或蒸碳处理，使其导电。

切割设备：沈阳科晶自动化设备有限公司生产适用于无机非金属材料切割的的金刚石线切割机的型号有STX-202A、STX-1202A、STX-202AQ、STX-603、STX-2401、STX-402、STX-2017种。

外圆切割机的型号有：SYJ-400、SYJ-200、SYJ-150、SYJ-160、SYJ-800、SYJ-506

种。可根据材料的大小、切割的具体要求选择合适的切割设备。

耗材：金刚石线切割机用的各类直径的金刚石线、外圆切割机用的各类锯片、切割专用油、切割冷却粉、油石。

切割辅助设备：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的MTI-3040和MTI-250加热平台，设备操作简单，温度≤200℃。

耗材：陶瓷树脂衬垫、石蜡

试样的镶嵌：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的适用于无机非金属材料的冷镶嵌机的型号为CXQ-2500。

耗材：水晶胶、硬性冷镶模、软性冷镶模、弹性样品夹（冷镶嵌）

样品的磨抛：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的手动研磨抛光机型号有UNIPOL-820、UNIPOL-830、UNIPOL-1210三种。自动精密研磨抛光机型号有UNIPOL-810、

UNIPOL-802、UNIPOL-1202、UNIPOL-1502四种。自动压力研磨抛光机型号有

UNIPOL-1000D、UNIPOL-1200S、UNIPOL-1200M、UNIPOL-800M、UNIPOL-1260五种。及

双面研磨抛光机UNIPOL-160D一种。

耗材：砂纸、金刚石磨片、树脂基金刚石磨片、研磨纸、研抛底片、磨料、抛光垫、抛光液、抛光膏、磁力橡胶

样品的清洗：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的超声波清洗机的型号有VGT-1620QTD、VGT-1620TD 两种。等离子清洗设备的型号有PCE-6、PCE-8两种。可根据样品自身的特性选择合适

的清洗方法。

样品表面喷金和蒸碳：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的GSL-1800X-ZF2小型蒸镀仪，VTC-16-3HD 3溅射蒸镀膜仪是电镜实验室喷金和蒸碳常用的最佳设备。

耗材：靶材

样品观察：将已经导电的试样用导电双面胶粘接到载样台上之后就可以用扫描电子显微镜进行观察了。

以上设备和对应耗材沈阳科晶自动化设备有限公司均有销售。

碳化硅陶瓷样品MTI 加热平台SYJ-200外圆切割机

或金刚石线切割机

HXQ-50

自动热镶嵌机UNIPOL-810精密研磨抛光机PCE-6V 小型等离子清洗机VTC-16-3HD 3小型蒸镀仪场发射扫描电子显微镜样品经加热平台加后粘结在样品台上粘结好的样品经外圆切割机切割成合适大小的试样切割后的小样品经镶嵌设备镶嵌镶嵌后的试样经磨抛设备研磨成光亮的表面抛光后的试样经等离子清洗干净将不导电的试样进行喷金处理将处理好的样品用扫描电镜进行观察样品放在加热平台

上加热

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