ZYGO干涉仪-使用说明
ZYGO干涉仪使用说明书
1目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。
本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（application）应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view 界面观察条纹。
4.6 标准镜 干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
4.7 长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
干涉仪的使用教程详解
干涉仪的使用教程详解干涉仪是一种重要的科学研究工具，它能够根据光的干涉现象来进行精密测量。
干涉仪广泛应用于光学、物理、天文等领域，具有优良的测量精度和灵敏度。
本文将详细介绍干涉仪的使用方法和注意事项。
一、基本原理干涉仪的基本原理是利用光的干涉现象进行测量。
光的干涉是指光波的相遇和叠加，分为相长干涉和相消干涉两种情况。
相长干涉时，光波叠加后得到的干涉条纹亮度增强；相消干涉时，叠加后的干涉条纹则呈现暗纹。
通过观察和分析干涉条纹的形态和变化，可以得到待测物体的特性参数。
二、使用步骤1. 设置实验装置：首先将干涉仪放置在稳定的台架上，并垂直于水平方向。
保证光源稳定，并对其进行准直处理，以获得单色、平行光。
2. 调整反射镜：根据干涉仪的类型不同，调整反射镜的位置和角度，确保光线能够正确地通过干涉仪的光程差调节装置。
3. 干涉条纹的观察：将待测物体放置在干涉仪的光程差调节装置上，通过调整该装置的位置或者改变待测物体的位置，观察和记录干涉条纹的形态和变化。
4. 数据处理与分析：根据记录的干涉条纹数据，利用干涉仪的相关公式进行计算和分析，得出待测物体的参数。
三、注意事项1. 实验环境的稳定：干涉仪对实验环境的稳定性要求较高，应确保光源的稳定性、噪声的减小以及实验装置的固定。
2. 防止光源污染：在进行干涉仪实验时，要注意保持光源的洁净，避免灰尘或其他污染物对光的质量和干涉条纹的观察造成干扰。
3. 干涉仪仪器的校准：定期对干涉仪的仪器进行校准，以确保其测量结果的准确性和可靠性。
4. 干涉条纹的观察技巧：观察和记录干涉条纹时，应利用光学仪器和图像处理软件等工具，以提高观察和分析的精度。
四、应用领域1. 光学研究：干涉仪被广泛应用于光学相关的实验研究中，如光学材料的折射率测量、光学组件的表面形貌检测等。
2. 物理实验：干涉仪可用于测量物体的形变、位移等参数，如材料的热膨胀系数、振动的频率和幅度等。
3. 天文观测：干涉仪在天文观测中有着重要的地位，例如进行星际介质的研究、天体形貌的探测等。
zygo干涉仪gpi-p-d使用说明
ZYGO干涉仪使用说明目的制定本文件是为了详细说明如何使用ZYGO干涉仪测量平面、球面、柱面晶体元件的曲率半径、面形（平行度、平面度）、以及透过波前畸变，并提高检验过程的准确性和可重复性。
范围本文件涉及用ZYGO干涉仪检测平面、球面、柱面元件的一般方法。
记录在检验过程中将会生成以下记录：干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
相关文件与本文件相关的文件有：•待测零件图纸定义应用（application）应用是ZYGO干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是用于一般的平面和球面的测量，用于柱面面形的测量，用于平行角度的测试。
猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
Align/View 模式按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View模式是按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
标准镜干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
设定长度基准的目的就是告诉干涉仪图形中的一段长度相当于镜片中长度的多少，方便控制测量区域和设定掩膜。
干涉仪器的使用方法和标准
干涉仪器的使用方法和标准
一、功能介绍：用于检查研磨后镜片面形精度（牛顿环、局部误差），
检查范围≤∮75，放大比例：１：１
二、精度描述：标准板精度为λ/ 20
三、操作规程
a)确认校验有效期：看干涉仪的标识校验有效期是否超过，若
超过有效期，则先向校验员提出校验后再使用。
b)开电源：打开变压器（２２０Ｖ变为１１０Ｖ），此时激光
干涉仪电源驱动器进入对激光管驱动工作。
c)电源驱动激光管约15分钟左右，干涉仪专用电源稳定后指
示灯亮，进入稳定状态。
d)清理台面，将待检品、不良、良品按标示区域整理准备检测
镜片。
e)擦拭干净放置镜片的检测治具，戴好手指套、口罩。
f)放置镜片到载物台或载物台的治具上，将对焦/成像开关切
换到对焦，在目视视场中可见三个光点，调节载物台的旋
扭，让屏幕上可移动按扭中较亮点与原视场点重合；再将
对焦/成像开关切换至成像。
g)调整载物台旋扭，读取需要数据，最好是将干涉条纹调到
3-5条相对数据比校准确。
四、保管保养
a)仪器玻璃表面严禁用手触摸，可用镜头纸或脱脂棉蘸酒精清
擦。
b) 清洁毛巾不能沾水，放置场地需保持干燥、清洁。
c) 若需在2H以内需使用则不需关闭电源，但需关闭显示器的
电源；若需超2H再使用则需关闭电源。
开电源：打开变压器（２２０Ｖ变为１１０Ｖ），此时
五、注意事项
a)放置干涉仪桌子与墙壁不能接触，干涉仪及干涉仪桌子不能受外力震动，否则会影响检测精度。
b)室内需恒温在１℃以内，否则会影响检测精度。
ZYGO干涉仪使用说明
1目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。
本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SA VE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SA VE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（application）应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
4.6 标准镜 干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
4.7 长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
ZYGO干涉仪使用指导书
ZYGO干涉仪使用指导书
ZYGO干涉仪使用指导书
本文档旨在为用户提供关于ZYGO干涉仪的详细使用指导。
请按照以下章节逐步操作，以确保正确使用干涉仪并获取准确的测量结果。
1：干涉仪简介
1.1 仪器概述
1.2 技术原理
2：仪器安装与连接
2.1 安装步骤
2.2 供电与连接
3：仪器参数设置
3.1 参数调节与选择
3.2 光路对齐
3.3 系统校准
4：测量准备
4.1 样品准备
4.2 测量环境设置
5：测量操作
5.1 测量步骤
5.2 数据记录与分析
6：维护与保养
6.1 日常维护
6.2 故障排除
7：附件使用及注意事项
7.1 附件清单
7.2 使用方法
7.3 注意事项
8：法律名词及注释
8.1 法律名词解释
本文档涉及附件：
附件一、ZYGO干涉仪操作示例视频附件二、ZYGO干涉仪参考手册
注释：
1：干涉仪：一种用来测量光程差的仪器，利用光干涉的原理
实现测量。
2：技术原理：指干涉仪工作的基本原理，主要包括光干涉理
论和干涉信号处理技术。
3：参数调节与选择：指根据具体测量要求，对干涉仪参数进
行调节和选择。
4：光路对齐：指调整光路以保证光的传输和干涉的有效进行。
5：系统校准：指对干涉仪进行系统性静态和动态校准，以提
高测量精度和可靠性。
6：数据记录与分析：指记录测量数据并进行数据处理和分析，如计算干涉图中的相位信息等。
7：日常维护：指干涉仪的日常保养和常见故障的处理。
8：附件清单：列出本文档所提及的附件名称和数量。
干涉仪的操作方法
5.干涉仪的保养事项 5.干涉仪的保养事项 1. 在主体的非润滑面、光学器件和除标准镜头外的各附 件表面使用一块软布，擦去指印和灰尘等；
2. 显示器除了日常擦拭外壳及屏幕外，无需其它 维护； 3. 对干涉仪主机之螺丝、旋钮、螺杆、导轨用润 滑油或防锈油进行擦拭； 4. 检查干涉仪各紧固元件是否有松动，滑丝等现 象，保证其牢固可靠；
干涉仪标准镜头选用计算公式: 干涉仪标准镜头选用计算公式: (R:镜片 镜片R ,D:镜片外径 镜片外径) F=R/D (R:镜片R值,D:镜片外径) 若已知镜片R值为16,镜片外径为25.8,求出可选用标准镜头? 16,镜片外径为25.8,求出可选用标准镜头 例:若已知镜片R值为16,镜片外径为25.8,求出可选用标准镜头? 解:F=16/25.8=0.62 注:若无0.62的镜头时,只能选取比0.62小的镜头. 若无0.62的镜头时,只能选取比0.62小的镜头. 0.62的镜头时 0.62小的镜头 公式:D=R/F 公式:D=R/F
5.干涉仪的保养事项 5.干涉仪的保养事项
5. 点检者按规定定期负责气垫旋钮，气垫水 准，恒扭力弹簧，平衡微调旋钮，工作台 锁紧旋钮，X\Y轴微调旋钮的检查； 6. 对每项保养工作，予以如实记录TPM点检 保养状况。由担当者签名，管理人员作确 认。
6.标准镜头的保养 6.标准镜头的保养 1. 标准镜头属高精密元件，温度变化、振动、冲击都会 造成性能上的影响，因此使用时需特别小心，不要弄 脏和碰伤标准表面； 2. 上下移动工作台或者标准镜头时，应避免标准镜头被 碰伤； 3. 安装标准镜头时，应带上干净的手套或手指套将镜头 从箱子里取出旋转装到主机上，取下时应及时放入箱 内； 4. 不可将镜片掉入镜头中，操作时应杜绝标准镜头的任 何磕碰伤。
zygo干涉仪工作原理
zygo干涉仪工作原理介绍如下：
Zygo干涉仪（Zygo Interferometer）是一种高精度光学测试仪器，用于测量物体表面形状和平整度等参数。
它主要基于干涉原理，通过将光束分成两部分，再将其重新合并，来检测光束通过物体后发生的光程差，从而得到物体表面的高度差异信息。
下面是Zygo干涉仪的基本工作原理：
1.首先，干涉仪将一束激光光束分成两束，一束经过反射镜后被反射回来，另一束经
过被测试物体的表面后被反射回来。
这两束光线再次交汇，形成干涉。
2.在干涉的区域中，光束的光程差取决于被测试物体的表面高度差异。
如果被测试物
体的表面是平整的，两束光线会完全重合，形成明亮的干涉条纹；如果被测试物体
的表面存在高度差异，则两束光线的相位差会引起干涉条纹的相移，形成暗纹和亮
纹交替的条纹。
3.Zygo干涉仪使用一台高精度的控制器来计算这些条纹的位置和数量，并从中推断出
被测试物体表面的高度差异。
4.为了提高测量的精度和减少干涉条纹的噪声，Zygo干涉仪通常使用一些附加的技术，
如使用一个可调谐的激光源来保持干涉条纹的稳定性，以及使用相干的光源来减少
光源的噪声和干涉条纹的抖动等。
总的来说，Zygo干涉仪利用光的干涉原理来检测被测试物体表面的高度差异，具有高精度、高灵敏度和高可靠性等特点，广泛应用于光学制造、半导体制造、航空航天等领域的表面形状和平整度的测量和检测。
zygo干涉仪
zygo干涉仪1. 引言干涉测量是一种非常重要的光学测量技术，广泛应用于工业制造、材料检测、精密测量等领域。
zygo干涉仪是一种高精度的干涉仪器，具有可靠性高、测量精度高、操作简便等特点，在物体形貌测量、光学元件表面质量检测等方面有着广泛的应用。
2. zygo干涉仪的原理zygo干涉仪基于激光干涉原理，利用干涉比较测量的方法来获取待测物体的表面形状、表面质量等参数。
主要包括两个核心部分：激光干涉仪和信号处理系统。
2.1 激光干涉仪激光干涉仪是zygo干涉仪的核心部分，它主要由激光器、分束器、反射镜、衍射光栅、像差补偿系统等组成。
•激光器：激光器产生单色、相干性好的激光光源，通常采用氦氖激光器。
•分束器：将来自激光器的光束分成两束，一束作为参考光束，另一束照射到待测物体上。
•反射镜：将待测物体反射回激光干涉仪，与参考光束进行干涉。
•衍射光栅：衍射光栅用于分离干涉光，提供测量干涉光波面的行程差信息。
•像差补偿系统：可根据待测物体表面形状的不同，调整光路，消除干涉图像中的像差。
2.2 信号处理系统zygo干涉仪的信号处理系统主要是将测得的干涉图像转化成数字信号，并通过数学算法对图像进行处理，最终得到待测物体表面形貌、表面质量等参数。
信号处理系统通常包括光电转换模块、数据采集卡、计算机等。
光电转换模块将干涉图像转换成电信号，数据采集卡将电信号转换成数字信号，计算机对数字信号进行处理和分析。
3. zygo干涉仪的应用zygo干涉仪具有测量精度高、表面形貌检测范围广、使用灵活等特点，因此在多个领域有广泛的应用。
3.1 光学元件表面质量检测zygo干涉仪可以用于光学元件的表面形貌检测和表面质量评估。
通过测量元件的表面高度数据、表面粗糙度等参数，可以判断元件表面是否达到要求，并对表面缺陷进行定量评估。
3.2 材料形貌测量zygo干涉仪可以用于材料形貌的测量，例如金属、陶瓷、半导体等材料的表面形状、平坦度等参数测量。
干涉仪的使用方法-概述说明以及解释
干涉仪的使用方法-概述说明以及解释1.引言1.1 概述干涉仪是一种非常重要的光学仪器，用于测量光波的干涉现象。
通过观察和分析光波的干涉现象，可以得到有关光波性质的重要信息，例如波长、相位差等。
在科学研究、工程应用和教学实验等领域都有广泛的应用。
本文将介绍干涉仪的原理、分类和使用方法，帮助读者更深入地了解和掌握这一重要的光学仪器。
在正文部分，我们将详细介绍干涉仪的原理，包括干涉现象的基本概念和干涉仪的工作原理。
其次，我们将介绍干涉仪的分类，根据不同的工作原理和结构特点进行分类，使读者对干涉仪有更清晰的认识。
在正文的最后，我们将介绍如何正确使用干涉仪，包括使用步骤、注意事项等。
通过本文的介绍和讲解，读者将能够更好地理解和掌握干涉仪的使用方法，为科学研究和工程应用提供帮助。
文章结构部分的内容如下：1.2 文章结构本文主要分为三部分：引言、正文和结论。
- 引言部分主要介绍了本文的背景和目的，以及文章结构的概要。
- 正文部分将详细介绍干涉仪的原理、分类和使用步骤，帮助读者了解干涉仪的基本知识和操作方法。
- 结论部分将总结干涉仪的使用方法，并展望其未来的应用前景，最后给出结语。
通过这样的结构安排，可以帮助读者系统地了解干涉仪的使用方法，同时也为后续的研究和实践提供了参考和指导。
1.3 目的干涉仪是一种重要的光学仪器，它广泛应用于科研领域、工程技术和生产实践中。
本文的目的是介绍干涉仪的使用方法，帮助读者了解干涉仪的原理、分类以及正确的操作步骤。
通过深入探讨干涉仪的使用方法，希望读者能够掌握干涉仪的使用技巧，提高实验的准确性和效率。
同时，为了推动干涉仪在各个领域的应用和发展，本文还将展望干涉仪的未来应用前景。
通过本文的阅读，读者将能够全面了解干涉仪的使用方法，为实验和研究工作提供有力的支持。
2.正文2.1 干涉仪的原理干涉仪是一种利用光的干涉现象进行测量的仪器。
其原理基于光的波动性质，当两束光波相遇时，它们会互相叠加产生干涉条纹，从而揭示出样品表面的微小变化或者检测光的性质。
ZYGO干涉仪GPI-XP-D常用命令中文注解
Sm Aperture小孔径
Measure测量——测试按钮（也可用F1键）
Analyze分析——数据分析（对已保存数据进行分析）
Mask data屏蔽数据——区域选择（测试和参考区域）
Save data保存数据——对测试数据起保存作用
Load data载入数据——导入已保存数据的按钮
MTF调制传递函数
MTF Profile传函图
Zernikes泽尼克多项式
Intensity亮度
ISO 10110-5ISO-10110窗口
SynthFringe合成的条纹
Environment Test环境测试
Measure Attr测量属性
Analyze Attr分析属性
Process方法
Report报告
Removed远离
Auto aperture自动孔径
Aperture size孔径大小
Trimmed裁边
Trim mode调整方式
Filter滤光镜
Type类型
Window size窗口大小
Freq频率
Print Panel打印标准
Destination目的地
White白色
File文件
Color颜色
Calibrate校准——校准按钮（打开进入校准界面）
Reset复位——点击可初始化程序
Measure ctrl测量控制——数据控制按钮
Analyze ctrl分析控制
S/W Map图
S/W Profile剖面图
Slope Mag斜面图
Slope x x方向斜面
Slope y y方向斜面
PSF点列图
te删除
ZYGO干涉仪说明书 ppt课件
ZYGO干涉仪说明书
D
d
ZfYGO干涉仪说明书 R
ZYGO儀器名稱說明
凹透鏡
控制器控制桿說明
上方(放 大) ( ZOOM )
中央(焦 點) ( FOCUS )
下方(設 定) (QUICK FAS)
一倍 1X
近 Near
設定 Align
系統焦點
六倍 6X
遠 Far
顯像 View
凸透鏡 鏡片承座
左右旋鈕(水平) 前後旋鈕(垂直)
顯像器 前後旋鈕 (垂直)
zygo
ZYGO干涉仪说明书
旋鈕 (水平) 標準鏡頭
範例說明
☺ 鏡片CA為∮50，曲率-100，應用何種鏡頭?
∵ 為了檢驗∮50的範圍，光線通過待測面 直徑應≧50
R ＝ d ≧ 50
F
100 F
≧ 50
∴ 該選F=0.75或F=1.5之鏡頭
ZYGO干涉仪说明书
ZYGO 鏡頭選用及光圈判讀
1.F=f/D F: F/#=0.75, 1.5, 3.3, 7.2
f: focal length)
D: 鏡頭有效徑 (4”~100mm)
2.ZYGO 鏡頭上有2組數字:
例 F 1.5 D=4”
待測面曲率半徑
f R
=
D d
R,依d 相=似RfD三=角形RF原理,可得
最新ZYGO干涉仪-使用说明
11目的2为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。
本文详细说明了如何使用ZYGO 干3涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
42范围5本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
63 录取数据7在检验过程中将会生成以下记录：83.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
93.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
104 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（application）1112应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
13不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的1415测试。
164.2 猫眼像（cateye）17又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是18透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
14.3 镜片像1920从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干21涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息22来源。
234.4 升降台24可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式2526按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。
align模式可以看到一个27黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较28大。
View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到29干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view Array界面观察条纹。
304.6 标准镜31干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
ZYGO干涉仪使用指导书2024
引言概述：正文内容：1.原理说明1.1干涉仪的基本原理1.1.1干涉仪是通过光的干涉来实现测量的原理1.1.2干涉仪利用光程差的变化来测量物体的形状、表面粗糙度等参数1.1.3干涉仪的工作原理与Michelson干涉仪类似，基于光的分波器和合波器的原理1.2ZYGO干涉仪的特点1.2.1高分辨率和高灵敏度1.2.2宽波长范围和大工作距离1.2.3快速测量和数据处理能力2.操作方法2.1仪器准备2.1.1确保仪器位置稳定，免受振动和干扰2.1.2进行仪器校准，包括波前校正和零点校正2.2测量设置2.2.1选择适当的测量模式，如表面形状测量、表面粗糙度测量等2.2.2设置测量参数，包括光源波长、采样点数、测量范围等2.3测量操作2.3.1将样品放置在适当的位置，避免阴影和反射干扰2.3.2调整仪器参数和位置，使样品与仪器对准并获得清晰的干涉图像2.3.3启动测量程序，记录数据并保存结果2.4数据处理2.4.1利用仪器提供的数据处理软件对测量结果进行分析和处理2.4.2使用滤波、拟合等方法提取所需参数，如表面形状、曲率半径等2.5结果解释2.5.1根据测量结果解释样品的特征和性能2.5.2与标准数据或设计要求进行对比，评估样品的质量和一致性3.常见问题解答3.1仪器故障排除3.1.1仪器无法启动或无法连接到电脑3.1.2干涉图像模糊或变形3.1.3数据处理出现错误或异常3.2测量误差分析3.2.1测量环境的干扰因素分析与处理方法3.2.2探测器的噪声和非线性对测量结果的影响3.3数据处理技巧3.3.1如何选择合适的滤波算法和参数3.3.2数据拟合的方法和准确性评估4.仪器维护与保养4.1保持仪器环境的清洁和稳定4.2定期对仪器进行校准和维护4.3避免仪器受到物理损坏或电磁干扰5.应用案例分享5.1光学元件的形状和表面质量测量5.2大型镜面的检测和修正5.3精密器件的尺寸和形状测量5.4光学薄膜的厚度和折射率测量5.5表面粗糙度的测量和评估总结：。
ZYGO干涉仪GPI-XP-D常用命令中文注解
MTF Profile传函图
Zernikes泽尼克多项式
Intensity亮度
ISO 10110-5ISO-10110窗口
SynthFringe合成的条纹
Environment Test环境测试
Measure Attr测量属性
Analyze Attr分析属性
Process方法
Report报告
Delete删除
Pick选取
PickAll选取所有
BG Exc去掉背景
Auto inc自动包括
Fringes条纹
Acq默认
Test测试
Ref查询
Define定义
Show显示
Undef撤销定义
Width宽度
Height高度
Fiducials基准
Surface/warfront map表面/波前图
Zernike terms泽尼克项
Removed远离
Auto aperture自动孔径
Aperture size孔径大小
Trimmed裁边
Trim mode调整方式
Filter滤光镜
Type类型
Window size窗口大小
Freq频率
Print Panel打印标准
Destination目的地
White白色
File文件
Color颜色
Zernike sample泽尼克取样
Fr RMST均方根
Radius（nominal）半径（标称）
Radius（measured）半径（实测）
Select results选择结果
Wavelength波长
Part diameter零件直径——有效口径
ZYGO干涉仪使用说明
1目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。
本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（application）应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
4.6 标准镜干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
4.7 长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
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1目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。
本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SA VE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SA VE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（application）应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
4.6 标准镜 干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
4.7 长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
设定长度基准的目的就是告诉干涉仪图形中的一段长度相当于镜片中长度的多少，方便控制测量区域和设定掩膜。
4.8 掩膜（mask ）表明干涉图中有效区域的工具。
可以根据需要设定有效区域的形状、大小、位置， 也可以从有效区域中挖去一部分不需要的。
5 职责主要包括以下几个方面：5.1 zygo 干涉仪使用和维护部门为品管部。
品管部经理负责保证过程实施所需的培训及资源。
5.2 按照校准计划对设备定期检定。
5.3 指定的仪器使用者需保证使用过程按按照操作规程操作仪器。
5.4 定期对设备进行保养。
6 操作主要内容.6.1开机依次开启ZYGO 显示器电源，机箱控制面板上电源按钮：MASTER 、MONITOR 、AUX1、AUX2，以及干涉仪主机箱右侧下方POWER 。
6.2运行程序进入Windows 后，双击桌面上的Metropro.exe （如图一）操作软件，运行程序，进入ZYGO 测试操作桌面。
启动完成后会自动进入GPI.app ，如果没有，关闭当前的窗口，待其缩小为按钮后，在应用选择窗口中点击相应的应用。
图一6.3平行度测试作 业 文 件文件编号 ZYGO 干涉仪使用说明版本/修订 页码 2/8作 业 文 件文件编号 ZYGO 干涉仪使用说明 版本/修订页码 3/8主要测试步骤如下：6.3.1按监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列状态。
扭动参考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的最亮光斑与十字分划线交点重合。
完成后,按遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于浏览状态。
双击ZYGO测试操作桌面中angle.app 按钮进入平行测试操作界面。
6.3.2调整好后将待测晶体放置到样品支架上，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂直于测试光（监视器中晶体边缘清晰可见。
）6.3.3点击操作界面左下角Measure Controls 对话框中的Refractive index, 录入待测晶体的折射率（选择632.8nm时对应晶体的折射率，如图二），按回车键确定。
图二6.3.4点击测试界面左上角的Calibrate按钮，在弹出的对话界面中点击Fringe 按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。
使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
6.3.5点击测试界面中左上角Mask Data按钮（如图三、四所示）, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。
在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。
并在动态图像上方无晶体的空间内，选择与待测晶体规格相近的区域，此区域将作为参考区域。
图三然后，点击下部选项中的BG Inc 使该按钮变为BG EXC ，锁定选择区，点击Define ，定义Acq 。
之后点击Test ，选择Unfill ，去除最后标定的参考区域，图四点击Define ，定义Test （晶体测试区域）。
再点击Ref ，选择Fill ，添加最后标定的参考区域，点击Pick ，然后用鼠标点击待测晶体区域边框，选择Unfill ，去除晶体待测区域，点击Define ，定义Ref （参考区域）。
6.3.6点击测试界面中左上角Measure 按钮，系统进行自动测算。
当监视器中左下角出现Wedge X.X sec （表示被测量器件两表面的夹角为X.X 秒）时，记录下此时X.X 即为晶体的平行度。
测试完毕后关闭平行度测试操作界面，点击左上角X 符号，退回到ZYGO 主测试操作桌面。
作 业 文 件文件编号 ZYGO 干涉仪使用说明 版本/修订页码 4/8页码5/86.4 平面度测试6.4.1 调整监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列状态。
移除标准参考反射镜面，将晶体放置到样品支架上，调整晶体方向，使其反射回的光斑与十字分划线交点重合。
完成后，按监视器遥控器上的显示切换键，使监视器处于浏览状态。
点击ZYGO测试操作桌面中GPI.app按钮进入平面度测试操作界面。
6.4.2点击测试界面左上角的Calibrate按钮（如图五所示），在弹出的对话界面中点击Fringe按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。
使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
6.4.3点击测试界面中左上角Mask Data按钮（如图五所示）, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。
在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。
点击Define，定义待测区域。
6.4.4点击测试界面中左上角Measure按钮，系统进行自动测算。
当监视器中左上角出现PV X.XXX Wave（表示被测样品最高点与最低点之间的距离为X.XXXλ）时（如图六所示），记录此时X.XXX即为晶体的平面度值。
测试完毕后关闭测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。
图五图六6.5 波前畸变测试主要测试步骤如下：6.5.1调整监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列状态。
扭动参考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的（ALIGN/VIEW ），使监视器处于浏览状态。
点击ZYGO 测试操作桌面中GPI.app 按钮进入波面测试操作界面。
6.5.2将待测晶体放置到样品支架上，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂直于测试光（监视器中晶体边缘清晰可见）。
6.5.3点击测试界面左上角的Calibrate 按钮，在弹出的对话界面中点击Fringe 按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。
使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
6.5.4 点击测试界面中左上角Mask Data 按钮, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square ）。
在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。
点击Define ，定义待测区域。
6.5.5点击测试界面中左上角Measure 按钮，系统进行自动测算。
当监视器中左上角出现PV X.XXX Wave （表示被测样品最高点与最低点之间的距离为X.XXXλ）时，记录此时X.XXX 即为晶体的波面数值（如图五所示）。
测试完毕后关闭波面测试操作界面，点击左上角X 符号，退回到ZYGO 主测试操作桌面。
7 细节说明和结语7.1 安全要求7.1.1 测量过程中，注意对透镜的防护，尤其是表面和边角容易损坏的部位。
7.1.2 标准镜使用时要插入到位，螺丝拧紧。
不用时要摆放到盒子中避免意外损坏。
7.1.3使用干涉仪测量面形主要包括以下步骤：开机，选择、安装标准镜，找到待测零件表面干涉条纹，输入零件号等相关信息，设定长度基准，取掩膜，测量，结果保存和打印。
不同的零件在找干涉条纹和一些设定方面有所区别，但是基本步骤差不多。
7.2 选择、安装标准镜选择：平面和柱面选择平面标准镜TF ，球面选择球面标准镜。
球面标准镜在选择的时候要考虑镜片的曲率半径和口径，参照JENfizar 的标准镜选择。
安装：将标准镜的两个插销对准标准镜安装支架上的卡口插入，旋转，安装到位，旋转锁死螺钉固定好。
按下控制盒上align/view 切换到align 模式，将光点调到十字线的中心。
7.3 寻找干涉条纹平面：将待测面正对干涉仪主机放置到升降台上，如果是楔角较小的平片或者直角棱镜之类的可能需要把背面事先涂上凡士林来消除杂光影响。
按下控制盒上的align/view 按钮切换到align 模式，调整待测零件的俯仰和水平旋转在动态窗口中找到零件表面反射回来的光点，并将其调整到十字线中心。
再次按下align/view 按钮切换到view 模式，微调零件或者标准镜的俯仰和水平旋转，将条纹调到3 根左右。
球面：将镜片夹到六位调整架上，待测面正对干涉仪主机。
切换到view 界面，沿导轨前后移动调整架至干涉仪的出射光聚焦到零件表面（可用一张小纸条贴于零件表面观察）。
此时干涉仪中出现的条纹称为猫眼像（cateye），也常称作标准镜的像。
调整六位调整架，使零件上下移动把条纹调到充满整个视场，微调标准镜的位置，使得条纹对称。
凸面靠近，凹面远离干涉仪主机寻找表面像，紧盯刚才找到的猫眼条纹，它会渐渐变小然后又慢慢变大，再次变大的条纹就是零件的表面像，微调六维调整架将条纹调到 3 根。
在整个寻找过程中，光点可能会移动，通过调整来保持光点始终在屏幕中心。
如果仅仅要测量面形，找到像之后进入步骤9.4 即可；如果还要测量曲率半径，则在找到镜片表面像之后按下光栅尺面板上的“X”按钮让示数归零，再次回到猫眼像位置，此时光栅尺的示数即为待测零件的曲率半径。