硅材料和硅片技术
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˖ ױᅺ ᅺ౨ԺProcessing Capability ፟ጥᣰၦQuantity of Furnace Tube ៝৫ΰкαProcess Temperature ├ᄜ៝ᅒ৫Precision of Thermal Flat Zone ├ᄜ៝ᅒࢤ(к/24h) Stability of Thermal Flat Zone ᄜ៝ᅒ৫Length of Thermal Flat Zone ⑳ཋ݁ᅑࢤUniformity of Diffusion: Within wafer
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˖ ױᅺ ᅺ౨ԺProcessing Capability ୴ڂ⚓ᄭRadio Frequency Current: Frequency ֘␇Ultimate Vacuum of Chamber ᆹԺ͵Adjustable Format of Vacuum Pressure