浅析探针台维修和设备保养的重要性

浅析探针台维修和设备保养的重要性

摘要：随着半导体芯片的性能不断的提高，对半导体设备的精度也要求越来越高，尤其是一些高端的半导体设备非常昂贵，从单纯的手动操作变成全自动，这

样对于维修人员来讲，没有相关的维修经验，在面对高度集成化，智能化的设备时，显得很被动，所以在维修保养过程中必须按照有关规定进行。

关键字：探针台；设备维修；设备保养；重要性

引言

在日新月异的半导体产业中，设备的更新很快，从原来的手动操作逐步改进到自

动操作，不仅提高了生产效率，而且还提高了生产质量。高度集成化和智能化的

设备越来越得到大家的喜欢，这就需要我们定期的维修和保养，以延长使用的寿

命和提高使用率。在设备发生故障时，一般有人为原因和自然原因。人为因素包

括操作员的操作失误、安装错误或者其他人为原因。自然原因包括设备使用过程

的磨损及偶发故障等。

一、探针台设备的常见故障

探针台的一般故障可以分为以下几类：人为故障和自然故障。人为故障是指由于

操作不当、安装错误或操作人员意外破坏所造成的机器运行过程中的故障；自然

故障是设备在机器正常运行过程中遇到断电、过载、磨损、机械故障等许多不利

因素的影响。尽管对设备采取了有效的维护、维修和定期检查措施，机器维修不

能保证设备长期正常运转，不会发生故障。因此，为了提高设备的使用效率，必

须及时查明并排除故障。这里以EG2001探针台的维修维护作以下讲解。

1.1设备按下启动按钮无法进入系统

这种故障主要有几种可能。首先要检查主机和控制箱通信是否正常，可以用专业

仪器来检测。其次是主机BIOS的设置是否正确，因为老式主板存在掉电后芯片参数不会保存很长时间。再是电路方面的故障，检查启动按钮是否损坏，电源进线

保险是否烧断，5V电源是否正常等。

1.2探针台出现Z-SLIP故障

Z-SLIP故障是探针台常见的故障，很多维修人员对此很头疼，因为故障点很广泛，多处线路及机械故障都会导致Z-SLIP。现在总结出现这种现象的原因。1.Z轴的传

动皮带过紧或者过松，调节到合适的张力。2.Z STEM的缸与缸套之间的摩擦太大，需要清洁润滑。3.平面电机上的Z轴电机缺相，测量电机绕组即可判断，在20欧

姆左右，坏掉则需更换电机。4.连接Z轴电机的P128排线故障，长期运动导致磨

损破皮，需更换。

1.3设备开机LOADER开关无法打开，开机抖动

LOADER端在开机时会自行启动，无需中央控制板的控制。1.开关无法打开的原因一般是预对准轴或者机械手没有在初始位置，传感器没有感应到，手动调节即可。

2.开机抖动的故障可以从电源排查入手，先检查电源电压，然后用示波器测量波形，一般故障可以消除。

1.4探针台运动步进错误

在设备运动过程中平面电机在X，Y方向来回运动，长期的运动会导致一些精度上的故障。此故障我们先排查X驱动板和Y驱动板是否正常，用替换法很容易排查。再是检查平面电机的排线是否有磨损，必要时更换。三是检查压缩空气是否

在标准范围之内。最后检查平面电机底部的微孔有没有堵塞，撬起平面电机清洁。

二、探针台的故障检查方式

设备发生故障时，不要盲目的拆卸，先要清楚故障发生的现象，分析故障的原因。首先，常规的方法检查电源电压，设备漏电或者短路等。初步检查后，我们需要

进行更进一步的检查其他故障，并在出现上述情况后立即切断电源进行维修。

其次，遇到维修难度大的故障时，要仔细查看设备说明书或者图纸，系统地检查

各种设备操作系统数据。对于没有相关数据库记录的设备，也可以对同一设备进

行比较。对于一些难以检测的数据或长期检测的问题，可以采用替换相应原始数

据的方法。

三、探针台设备的保养措施

为了保证设备的使用寿命，对设备进行维护保养是必要的。定期维护的必要性在

随附电气设备的说明书中予以强调。在电气设备使用过程中应定期进行检查，通

过检查结果，如果需要对设备进行维修或维护，可以保证设备长期不出问题。电

气设备的维护主要从以下几个方面着手：

第一，保证设备的日常维护，建立相应的PM网络系统，及时填写，避免忘记维护，要把维修工作与相关员工的利益联系起来，奖惩制度需规范，确保维修工作

的有效进行。

第二，建立设备点检系统，在设备检查过程中，一定要更加严格，定期组织相关

人员进行检查，并记录维修过程中的相关信息，包括设备的使用情况、维修时间、维修方法、维修次数等，以利于日后的维修工作。

第三，加强对相关人员的管理，包括操作人员、维护人员和维修人员。相关操作

人员应充分了解正常操作过程，熟悉设备的性能和状况。在维护和维修过程中，

必须根据公司和设备的情况定制相应的计划，确保工作有序进行。

第四，制定科学合理的维护措施，根据设备的不同情况制定相应的设备维护方法，保证设备有自己的维护方法。

虽然从表面上看，日常维护需要投入大量人力及资金，但是从设备的实际出发，

维护可以延长设备的使用时间，减少故障率，长远看是值得的。再者，虽然在设

备的使用过程中必须不断地进行维护工作，但这项工作相对简单，使用的资金非

常少。另外，随着设备使用时间的延长，设备的故障概率越来越高，维修过程的

费用也远远高于维护费用。因此，设备维护对相关人员的工作是非常重要的。

四、结束语

大部分的电气故障是由于忽视了设备的日常维护和保养，使微小的缺陷发展成严

重的事故。有些故障是由于电气维修人员在处理电气故障时操作方法不当，或因

判断和测量不当而扩大了事故的范围。因此，为了保证设备能正常工作，减少因

电气维修而造成的停机时间，提高探针台的使用效率和生产效率，必须重视设备

的维修和保养。

参考文献：

[1]程昊，浅析电气设备维修和设备保养的重要性[J].中国科技博览.2012

[2]仇学仕，浅析电气设备维修与设备保养的重要性[J].中国经贸.2017