Al丝键合失效分析
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三极管内引线键合失效分析
第六图书馆
本文结合某三极管内引线键合失效的实例,利用扫描电镜、能谱分析等手段,研究了三极管Au—Al键合系统中一种典型的脱键失效模式,结果表明,在器件内部水汽及电场、温度的共同作用下,从由于Kirkendall效应而在Au—Al键合界面间形成的,且与器件内部气氛相通的微裂纹处发生Al的电化学腐蚀,由于腐蚀产物的体积膨胀效应,最终导致发射极内引线与引线柱之间脱键失效。建议严格控制器件的生产工艺环境以及内引线的键合工艺,防止类似失效故障的发生。本文结合某三极管内引线键合失效的实例,利用扫描电镜、能谱分析等手段,研究了三极管Au—Al键合系统中一种典型的脱键失效模式,结果表明,在器件内部水汽及电场、温度的共同作用下,从由于Kirkendall效应而在Au—Al键合界面间形成的,且与器件内部气氛相通的微裂纹处发生Al的电化学腐蚀,由于腐蚀产物的体积膨胀效应,最终导致发射极内引线与引线柱之间脱键失效。建议严格控制器件的生产工艺环境以及内引线的键合工艺,防止类似失效故障的发生。三极管 脱键 腐蚀 Kirkendall效应失效分析与预防马兆庆 胡会能
王全航天材料及工艺研究所,北京1000762007第六图书馆
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