减铜线作业指导书

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页眉内容

1.0 目的

为宇宙减铜线生产操作、保养提供工艺指示,使之能按指示执行,确保产品质量。

2.0 适用范围

适用于宇宙减铜线操作之员工。

3.0 职责和权限

3.1生产部:负责按作业指导书进行日常生产和设备保养,工段主管领班负责监督执行。

3.2工艺部:负责编写、修订作业指导书,控制、调整工艺参数,分析监控生产线药水,

指导生产并解决工艺问题。

3.3品质部:负责对物料、产品质量的监控及板件物理性能的测试,稽查日常生产、保养

情况。

3.4设备部:负责设备维修,定期对设备进行维护保养,指导生产部日常设备保养。

3.5物控部:负责提供合格的物料。

4.0作业流程

开启总电源开关→进入画面管理→选择自动按钮/手动按钮→按启动电钮→调整(或设置)合适参数→放首件→检板→量产→完成关机

5.0作业参数

参照《减铜线生产作业PCS标示总表》

6.0作业内容

6.1设备操作

6.1.1开机:开启电源总开关(扳到ON 位置),触摸屏上显示相应的开机画面→在开机

画面面中,按‘按此键进入工作画面面’→选择自动/手动两种模式→主画面设置。

6.1.2 画面管理:进入画面管理后,作业员主要接触为主画面、运行参数、报警管理。

主画面内容为各槽段的开启关闭管理,白色底表示未开启,闪烁表示开启过程中,

蓝色底表示已开启;运行参数为产量累积数量,电眼感应,无板停机时间设定,

门挚保护功能设置;报警管理为当机台发生警报时,会自动在该画面显示异常状

况,方便维护。

6.1.3 手动模式/自动模式:进入工作画面后,有自动、手动选项,无论在哪种启动方式,

当系统启动后均可以对主画面的按钮进行开启或关闭,区别在于自动画面机台帮

你打开所有槽段功能选项,手动为自己打开需要的选项,两种工作模式的切换须先按电箱面板上的停止按钮。

6.1.4 水压/流量调整:根据实际生产需要将各段水洗、药洗喷淋压力或流量调整至要求

范围,水压在机台运行时需达到工艺提供参数要求,如未达到可拧动调节阀以使压力到达要求,流量计可以拧动旁边调节阀改变流量大小,读数以最大横截面积对应刻度为准。

6.1.5温控器设定:设定各电热段温控器工作温度参数值,参数值需按工艺提供参数设

定。

6.1.6 自动添加:自动添加为工艺部设定按面积/块数添加药水(画面管理/添加设置里

面设定块数/面积数),计量盒里注入对应数量添加的药液,当电子眼感应到过了

设定数量的板后,计量盒里的药液会全部排入槽体,作业员如发现做了对应数量

的板自动添加装置未添加药水,或计量盒上药水刻度与工艺提供参数不符合时,

需及时向工艺、设备部门反映。

6.1.7 关机:确认线内无板时,按下电箱面板上停止按钮→电源总开关扳到OFF位置。

6.2生产操作

6.2.1 开机前/做板前注意事项

1)各喷淋段附缸液位或容量足够,各缸内无异物,各段滤网已清洁干净。

2)各液位控制开关处于正常工作位置,无倒置,各过滤器盖已锁紧。

3)各管路连接牢固可靠,无松脱破损,机器无渗漏。

4)各行轮、压轮、喷管、水刀、压力表、流量计安置完好,无错乱,无缺损。

5)确认传送顺畅,无行轮跳动。

6)确认各玻璃是否完好,并盖住机器。

7)保持作业区域整洁,避免意外事故发生。

8)检查各压力是否在范围内。

9)确认温控器能否正常工作。

6.2.2 做板

1)在画面管理中,按自动按钮,会弹出如下启动画面

2)按启动,画面消失,再按画面管理上的起动键,全线各段液泵开始分段延时起动,同时主画面各槽段按钮框开始由白色闪烁变蓝,提示已经启动完毕;如手动模式做板则需要在主界面手动按各槽段按钮开启,完成后同样以蓝色底提示启动完毕。

注:有时做板不用把所有槽段液泵都开启时,可以用手动模式。在画面管理,选按手动按钮→在机台面板上按绿色起动键→在画面管理中,按主画面进入,对需要开

启的槽段液泵按选开启,变蓝后提示启动完毕。

3)调整好线速,放两片板,板件出来后检查品质,确认无异常后进行量产。

6.2.3生产注意事项

1)放板人员要注意板面是否存在胶渍等异物,避免带入机内;如发现板面有沾胶情况必须先用酒精擦洗干净后才能重新磨板。

2)送板入机,放板间距需大于2cm,按左中右交叉放板。

3)作业时需注意自动添加是否在加药,待送棕化板子每片均需量测铜厚,铜厚保证在MI要求范围内。

6.2.4记录

1)参数检查记录在《减铜线参数点检表》中。

2)生产及板件自检情况记录在《减铜线生产记录表》中。

3)保养情况记录在《减铜线保养记录表》中。

6.5板件自检

检查项目标准检查仪器取样方式测试方法报表记录

减铜后铜厚参照MI 铜厚测量仪每批首检1片+过程抽

查1片

铜厚仪量测生产记录表

铜厚均匀性偏差小于1.5um 铜厚测量仪每批首检1片+过程抽

查1片

铜厚仪量测生产记录表

备注:测铜厚时每片随机测5点。

6.6 异常处理

缺点名称可能原因改善对策

蚀露基材/铜厚不均镀铜板镀铜不均,减铜时造

成一边OK,一边蚀刻露基

材;

针对镀铜板,板子先用铜厚量测仪量测,

如均匀性偏差小于5um,则取中值与标

准对应,如均匀性偏差大于5um,请反

馈工艺。

7.0保养内容

7.1 设备日常保养项目及内容

序号保养项目频次保养内容保养人

1 清洁机身1次/班用湿布擦拭机台表面作业员

2 清洗吸水辘1次/2H 用干净水清洗并浸泡,破损的进行更换作业员

3 上下行辘1次/班检查上行辘是否异常,并做相关调整作业员

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