质量流量计简述

质量流量计简述1.什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter(MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。

质量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC), 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。

简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

2. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。

这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。

这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。

因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干SLM)即可实现。

所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

3. 什么情况下用质量流量计,什么情况下用质量流量控制器?一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。

某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。

例如，后面讲到的测量小孔直径﹑阀门泄漏量﹑工件(如毛细管)流通量等。

4. 质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？4.1 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。

对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。

4.2 测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以标准电信号输出。

这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。

对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。

通常, 模拟的MFC/MFM 输入输出信号为0~+5V 或4~20mA, 数字式MFC/MFM 还配有RS232 或RS485 数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。

4.3 精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

4.4 适用范围宽有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体，如HCL)；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 SCCM，最大流量范围可达0～300SLM。

最新的D07-60A/D07-60D 型质量流量计产品的流量量程可达2000 SLM。

流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到应用。

4.5 准确度高﹑重复性好我们的产品准确度可达±2%F.S.或±1%F.S.，重复性为±0.2%F.S. 。

4.6 体积小巧﹑安装方便﹑操作简单4.7 技术先进，符合发展潮流5. 质量流量计/质量流量控制器的主要缺点有哪些？5.1 价格较高。

对于用惯了转子流量计的用户来说，质量流量计的确显得贵一些。

5.2 维护费用较高原则上讲，对于计量产品应当定期标定；产品的故障率尽管不同品牌不尽相同，但出现故障的可能都存在，因而一般是需要一些标定﹑维修费用的。

由于各生产厂家收费政策不同﹑用户使用情况不同﹑产品故障率也不一样，因而用户的维护费支出可能有差别。

5.3 生产难度较大质量流量计/质量流量控制器是高技术产品，其生产难度是相当大的，这也是多年来我国尝试开发者很多﹑真正成功者极少的原因之一。

由于其生产难度大，品质保证难度也大，因而用户在选购时要小心谨慎，避免带来无尽的烦恼。

5.4 某些情况下可能造成气路堵塞当质量流量控制器出现某些故障，或气源不洁导致传感器或分流器堵塞，或因操作失误，均有可能造成气路堵塞。

对有的用户而言，应当特别给以注意，既要选择合适的型号，又要正确进行系统设计和正确使用。

有关问题我们在以下会给出进一步的回答。

6. 选择产品和订货时应当注意什么？这一点关系到用户的切身利益，涉及的问题也比较多，因而我们尽可能地给以祥尽﹑客观的回答。

6.1 注意选择正确的品牌一般应当全面衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。

6.2 注意选择正确的量程A. 将您需要的流量换算成标准状态下的流量(质量流量)。

B. 根据厂家提供的质量流量转换系数表，将您所用气体的质量流量值换算成与氮气(标定气体)等价的质量流量值。

如果您希望按您实际使用的气体标定，请向厂家说明。

有关质量流量转换系数的问题，以下还有进一步解答。

C. 确定所需标准量程。

厂家一般有自己的各种规格的标准量程，您实际使用的流量最大值应接低于某个标准量程值。

标准量程的选取要避免过大或过小。

质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的，如果实际流量较小而量程值选取过大，则测量值的相对误差较大。

6.3 注意选择正确的工作压力指标不同的产品工作压力指标可能不同，注意选择适合自己的产品。

质量流量控制器(MFC)除最大工作压力之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，即MFC 进气端和出气端之间的压差，选型时要注意，使用时也要注意。

6.4 注意产品内部的分流器形式分流器形式并不是一项技术指标，但在这里作为用户注意事项，是因为我们发现在实际使用中出现过一些因为分流器而造成的使用故障。

常见的分流器有管状﹑锥体和粉末冶金三种，各有自己的特点。

比较而言，第一种不容易堵塞因而使用寿命最长，最后一种则相对容易发生堵塞。

我们发现过几例这样的情况：用户使用一种著名的进口MFC(粉末冶金分流器)，在气源经过严格过滤的情况下，还是很快发生堵塞；而换上我们的产品后，则一直正常工作。

问题显然出在分流器上。

据分析，可能是使用的气体附着力较强，导致粉末冶金分流器堵塞。

当然，粉末冶金分流器也有其优点，其它分流器也有其不足。

用户应根据自己的使用条件来考虑。

6.5 注意选择合适的精度指标准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标，其中重复精度在很多应用场合尤为重要。

指标不一定追求最高，应考虑自己的实际需要。

如果对厂家给出的指标不放心，有条件的用户也可以自己标定一下。

标定的方法参见下面的有关内容。

6.6 注意选择合适的响应时间指标有的应用系统对MFC 的响应时间有较高的要求，用户应根据自己的情况加以考虑。

在考虑响应时间指标的同时，还应注意其响应过程及动态特性。

6.7 注意对安装位置有无要求有的厂家的产品要求必须水平位置安装。

6.8 注意产品的动态响应特性某些系统对流量的动态响应特性有较高的要求，在这种情况下，用户应当深入了解具体产品的响应特性。

6.9 注意零点的稳定性对于计量产品而言，零点的稳定性是非常重要的，也是较难保证的。

不同的产品零点稳定性可能是不一样的。

6.10 注意适用范围MFM/MFC 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质(特别是使用对腐蚀性气体)情况等均有一定适用范围，请注意阅读说明书或向厂家咨询。

6.11 订货应注明：产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体(特别是腐蚀性气体)、接头形式和数量。

7. 你们的产品是自己生产的还是组装的？我们销售的D07 系列产品完全是自己生产的。

众所周知，现在很多国产产品质量也相当不错。

另外CS200系列产品是由我公司和美国权威技术团队合作研制生产的, 拥有自主知识产权，关键部件均采用进口产品配套。

8. 你们的D07 系列产品是仿制国外产品，还是自主开发？有没有知识产权的问题？我们在产品开发上已倾注了20 多年的心血。

我们并没有简单地仿制国外产品，因为很多东西靠仿制是无法解决的，而且我国的用户特点﹑需求以及使用条件和国外的情况也不完全相同，因而我们坚持走有自己特色的道路。

我们的产品中凝结着中国人的聪明才智。

我们的产品不同于其他任何一家的产品，但同时我们可以做到和国外主流产品完全兼容。

我们对自己的产品拥有完全的知识产权，并且我们的技术受到国家和地方权威部门的严格保护。

9. 和国外产品相比，你们的产品如何？首先我们承认差距。

从总体上看，国外的产品要胜出我们一筹。

国外产品在消除内部的气体滞留区方面下了很多功夫，这些是我们所不及的。

但是，我们我们也不妄自菲薄。

由于在很多年中，国内唯有我们能够规模生产，国内用户绝大部分采用我们的产品，使得我们的产品覆盖面非常广泛，在各个领域经受了考验，在这个过程中，我们不断对产品进行改进，结合我国用户的实际情况，发展了多种型号，以适合不同的需要。

和国外具体生产厂家相比，我们的产品也是有自己的特色的。

10. 和国内其它产品相比，你们的产品如何？这种比较，还是由用户们自己来作为好。

11. 你们的标定能力怎么样？我们拥有自美国进口的精密标定设备。

我们所有的标定装置均接受技术监督部门的定期检查。

12. 你们的传感器是什么样的绕组？这是一个过于专业的问题，用户一般不必过问。

本类产品的传感器是由一段不锈钢毛细管上缠绕若干组热敏电阻丝构成。

常见的传感器一般由两组或三组热敏电阻丝构成。

我们早期的产品采用三绕组的结构。

目前国外产品多采用两绕组方式，也有采用三绕组的，还有其它形式的。

各种方式均有所长所短。

我们认为，对于传感器或者MFM/MFC 的品质，不可以单从绕制方式上来衡量，它涉及多种因素特别是工艺技术水平。

我们的传感器具有自己独特的技术，不简单地等同于哪种产品。

13. 价格能不能再便宜一点？事实上我们已经考虑了很多用户的难处，保持着比较低的价位, 这一点，用户一比较就知道。

多年来我们的价格总水平不但没有上涨，反而有所下降。

一方面，随着产品的不断进步，生产成本有可能增加；另一方面，随着我们国内外的销量越来越多，有可能消化掉一部分成本。

我们的宗旨是：产品优质, 价格实惠。

如果有朋友发现市场上有同类产品，比我们的又好又便宜, 请您告诉我们。

14. 买质量流量计/ 质量流量控制器时，还需要买其它配套产品吗？一般需要流量显示仪与之配套使用。

流量显示仪为MFM/MFC 提供工作电源，进行流量显示，对MFC 进行流量设定操作。