谐振式硅微机械加速度计研究进展

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中图分类号：Ｔ２２Ｐ１文献标识码：Ａ文章编号：１０－７７２１）２００－４００９８（０１１－０４０
Ｋｅａｃｏ：ｓ “ｓｌｎｒｓｎｎＥＲｑｅｒｈｐｒｇｅｓＯｉｉｏｅｏａｔＭＥＭＳ，￣ｓ￣ｒｌｓｌｃ
为模拟量输出，在着抗干扰能力差、存精度提高困难等问题，灵敏度、分辨率不能达到惯性级的要求。近年来，依据谐振原理，利用表面微机械技术和体硅微
机械技术研制的ＭＥＳ加速度计屡见报道，内外的各研Ｍ国
摘
要：谐振式硅微机械加速度计作为一种新型的对加速度进行测量的传感器，通过检测加速度施加是
前后谐振敏感元件谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点，己成为微传感器的重要发展方向之一。汇总了该传感器的国内外相关研究现状，并对加工工艺进行了总结，讨论了谐振式硅微加速度计设计中的关键技术因素，并给出了未来的发展方向。关键词：谐振式微机械加速度计；振敏感元件；谐谐振频率；灵敏度
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成本。目前的微机械加速度计产品大多是中低精度的，多
微机械加速度计的研究始于２０世纪７Ｏ年代初，于始１７９７年美国Ｓａｆｄ大学、州大学Ｂｒｌｔｏｎｒ加ｅｋｙ分校和Ｄａｅｅｒｐｒ
（．１中北大学信息与通信工程学院。西太原００５；山３０１２北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院。京１０９．北０１１３武汉军械士官学校枪炮系，．湖北武汉４０７）３０５
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４
传感器与微系统（ｒｎｄｃｒｎｉｒｓｓｍＴｃｎｌｉ）ＴａｓｕｅｄＭｃｏｙｔｅｈｏｇｓａｅｏｅ
２１０１年第３Ｏ卷第１２期
谐振式硅微机械加速度计研究进展
李晶，樊尚春李，成，余朝发