刻蚀工艺介绍.

刻蚀工艺介绍
辛小刚
刻蚀原理介绍 刻蚀主要工艺参数 刻蚀液更换频率的管控 刻蚀不良原因分析
刻蚀原理介绍
刻蚀是用一定比例的酸液把玻璃上未受光刻胶保护的 Metal/ITO膜通过化学反应去除掉，最终形成制程所需 要的图形。
刻蚀种类
目前我司的刻蚀种类主要分两种： 1、Metal刻蚀 刻蚀液主要成分：磷酸、硝酸、醋酸、水。 Metal：合金金属 2、ITO刻蚀 刻蚀液主要成分：盐酸、硝酸、水。 ITO：氧化铟锡（混合物）
作业时需先进行首片确认，且来自百度文库作业过程中每 批次进行抽检（时间间隔约25min）。
刻蚀不良的产生原因
1、大面积刻蚀不干净： -------刻蚀液浓度下降、刻蚀温度变化。
2、刻蚀不均匀： -------喷淋流量异常、药液未及时冲洗干
净等。 3、过刻蚀：
-------刻蚀速度异常、刻蚀温度异常等。
追求卓越、持续创新
Metal刻蚀前后：
刻蚀前后对比照片
ITO刻蚀前后：
主要工艺参数
刻蚀液的浓度对刻蚀效果影响较大，所以
1
刻蚀液浓度 我们主要通过：来料检验、首片确认、定
期更换的方法来保证。
温度越高刻蚀效率越高，但是温度过高工
2
刻蚀温度 艺方面波动较大，只要通过设备自带温控
器和点检确认。
3
刻蚀速度
刻蚀流片的速度与刻蚀速率密切相关
喷淋流量的大小决定了基板表面药液置换
4
喷淋流量 速度的快慢，流量控制可保证基板表面药
液浓度均匀。
5
过刻量
过刻量即测蚀量，适当增加测试量可有效 控制刻蚀中的点状不良
刻蚀液更换频率的管控
作业数量管控： 每天对生产数量及时记录，达到规定作业片数
及时更换。 作业时间管控：
由于药液的挥发，所以如果在规定更换时间未 达到相应的生产片数药液也需更换。 首片和抽检管控：