等离子体表面处理技术常识
等离子表面处理
一、低温等离子体在糊盒、糊箱机中应用的原理低温等离子体中的粒子能量一般约为几个至十几电子伏特，大于聚合物材料的结合键能（几个至十几电子伏特），完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键，但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面，不影响基体的性能。
处于非热力学平衡状态下的低温等离子体中，电子具有较高的能量，可以断裂材料表面分子的化学键，提高粒子的化学反应活性(大于热等离子体)，而中性粒子的温度接近室温，这些优点为热敏性高分子聚合物表面改性提供了适宜的条件。
通过低温等离子体表面处理，材料表面发生多种的物理、化学变化，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团，使亲水性、粘结性、可染色性、生物相容性及电性能分别得到改善。
射流型大气低温等离子处理机由低温等离子发生器、气体输送系统及低温等离子喷枪等部分组成。
低温等离子发生器产生的高频高压能量在喷枪内产生低温等离子体，借助空气气流将等离子体输送到腔体外到达工件表面，当等离子体与被处理的物体表面相遇时，产生了上述的化学作用和物理变化，表面得到了改性、清洁，去除了碳化氢类污物，如油脂、辅助添加剂等。
在糊盒机中，采用射流低温等离子炬处理胶结面工艺可以极大的提高粘接强度，降低成本，粘接质量稳定，产品一致性好，不产生粉尘，环境洁净。
是糊盒机提高产品品质的最佳解决方案。
由于射流型大气低温等离子体表面处理机喷射出的低温等离子体炬为中性粒子，不带电，因此，使用安全，可以处理下材料：★ 带有OPP, PP, PE覆膜的纸板★ 带有PET覆膜的纸板★ 带有金属镀层的纸板★ 带有UV涂层的纸板(UV油固化后本身不能脱层)★ 浸渍纸板★ PET,PP等透明塑料片材二.低温等离子技术在糊盒、糊箱机中具体应用现在的印刷包装工艺中,为保证印刷品在流通中不被蹭花，为了提高防水功能,或提高产品档次等，在印刷品表面都会做一层保护，有的上一层光油，有的复一层膜等。
上光工艺中UV上光相对较复杂一些，出现的问题可能更多一点，目前来说,因UV油与纸张的亲和力较差，而造成在糊盒或糊箱时经常会出现开胶的现象，而复膜后,因膜的表面张力及表面能会在不同的条件下有不同的值，大小忽异，再加上不同品牌的胶水所表现出的粘接性能不同，也经常会出现开胶现象，而一旦产品交到客户手上再开胶，就会有被罚款的可能，这些都令各厂家较烦恼，有的客户为了尽量减少出现以上情况，不惜加大成本尽量采购进口或国产高档糊盒胶水，但如果对化学品的保管不当，或其他原因，有时还是会出现开胶现象。
等离子体表面处理技术常识共28页文档
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46、寓形宇内复几时，曷不委心任去 留。
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47、采菊东篱下，悠然见南山。
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48、啸傲东轩下，聊复得此生。
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49、勤学如春起之苗，不见其增，日 有所长 。
•ห้องสมุดไป่ตู้
50、环堵萧然，不蔽风日；短褐穿结 ，箪瓢 屡空， 晏如也 。
21、要知道对好事的称颂过于夸大，也会招来人们的反感轻蔑和嫉妒。——培根 22、业精于勤，荒于嬉；行成于思，毁于随。——韩愈
23、一切节省，归根到底都归结为时间的节省。——马克思 24、意志命运往往背道而驰，决心到最后会全部推倒。——莎士比亚
25、学习是劳动，是充满思想的劳动。——乌申斯基
谢谢！
低温等离子体处理表面处理
低温等离子体处理表面处理
引言：
在现代制造业中，表面处理是非常重要的环节。
近年来，低温等离子
体处理技术在表面处理中得到了广泛的应用。
本文将从理论、特点、
应用等方面进行详细阐述。
一、理论
低温等离子体处理是在常压下，利用高压电场把气体转化为等离子体，并加以利用其高能量来溅射和清洗物体表面的一种表面处理方法。
其中，气体离子和反应性粒子与固体表面发生吸附、反应和注入等作用，从而使得表面性质发生变化，起到一定的表面处理效果。
二、特点
1. 低温等离子体处理是一种低温表面处理技术，处理温度一般在室温下。
2. 低温等离子体处理对待处理物品的形状和材料的种类没有限制。
3. 低温等离子体处理具有无污染、高效率、易操作等优点。
4. 低温等离子体处理可以为待处理物表面赋予各种功能，如改善表面
质量、增加接触角、提高附着力、增强耐磨性和热稳定性等。
三、应用
1. 材料表面处理：低温等离子体处理可以用于金属薄膜、陶瓷、高分
子材料等材料表面处理，可使材料表面达到一定的光洁度和超疏水性。
2. 微电子制造：低温等离子体处理可以清洗电子元件表面附着的杂质
和氧化铜等污染物，从而提高元件的可靠性和寿命。
3. 聚合物的改性：低温等离子体处理可以用于改性聚合物的表面处理，改善聚合物表面的润滑性、耐热性、吸附性等性质。
结尾：
总的来说，低温等离子体处理作为一种新兴的表面处理技术，具有很
高的应用价值和发展前景。
随着待处理物种类的不断扩大和技术的不
断进步，低温等离子体处理必将在制造业中发挥越来越重要的作用。
等离子表面处理厚度
等离子表面处理厚度等离子表面处理是一种常用的表面处理技术，通过使用等离子体来改变材料表面的性质。
在等离子表面处理过程中，处理厚度是一个重要的参数。
本文将从理论和实际应用两个方面来探讨等离子表面处理厚度的影响以及相关的研究进展。
一、理论基础在等离子体物理学中，等离子体是一个由带电粒子和中性粒子组成的气体。
等离子体表面处理是通过将材料置于等离子体中，利用等离子体中的带电粒子与材料表面相互作用，从而改变表面性质的一种技术。
处理厚度是指等离子体作用于材料表面的深度，它可以通过控制等离子体与材料之间的距离、等离子体密度和处理时间等参数来调节。
二、等离子表面处理厚度的影响因素1. 等离子体密度：等离子体密度越大，处理厚度越大。
这是因为在等离子体中带电粒子的浓度越高，与材料表面相互作用的机会就越多，从而处理厚度增加。
2. 处理时间：处理时间是影响处理厚度的另一个重要因素。
通常情况下，处理时间越长，处理厚度越大。
这是因为处理时间的增加会使得等离子体更充分地与材料表面相互作用，从而改变表面性质的程度增加。
3. 等离子体与材料之间的距离：等离子体与材料之间的距离越近，处理厚度越大。
这是因为距离越近，等离子体带电粒子与材料表面的相互作用强度越大，处理效果越显著。
三、等离子表面处理厚度的研究进展研究人员已经提出了多种方法来控制等离子表面处理厚度。
其中一种方法是通过调节等离子体参数来实现。
例如，可以通过改变等离子体密度、射频功率和处理时间等参数来调节处理厚度。
另一种方法是利用表面活性剂等添加剂来改变处理厚度。
添加剂可以在等离子体表面形成一层保护膜，从而限制等离子体对材料表面的作用范围，达到控制处理厚度的目的。
研究人员还通过改变等离子体与材料之间的距离，来实现对处理厚度的控制。
例如，可以通过调节等离子体的位置或调整材料的位置来改变处理厚度。
同时，还可以利用遮罩技术来限制等离子体对材料表面的作用范围，从而实现对处理厚度的控制。
印刷等离子处理
印刷等离子处理技术一、印刷等离子处理技术简介印刷等离子处理技术是一种先进的表面处理方法，通过等离子体对材料表面进行激活、改性、刻蚀等处理，以达到改善材料表面性能、增强印刷适性等目的。
等离子处理技术具有操作简便、处理效果好、环保无污染等优势，广泛应用于印刷、包装、电子、纺织等领域。
二、等离子处理设备及操作过程1.工作原理：等离子处理设备利用高能等离子体对材料表面进行轰击和激活，使材料表面发生多种物理和化学变化，如表面刻蚀、交联、掺杂等，从而改变材料表面的润湿性、粘附性、摩擦性能等。
2.组成部分：等离子处理设备主要由电源系统、真空系统、反应腔室、电极系统、进料系统等部分组成。
其中，电源系统提供高能直流或射频电源；真空系统维持反应腔室内一定的真空度；反应腔室是进行等离子处理的场所；电极系统用于产生和控制等离子体；进料系统则负责将待处理的材料送入反应腔室。
3.操作步骤：4.（1）将待处理的印刷材料送入等离子处理设备；5.（2）启动电源系统和真空系统，使反应腔室内达到适宜的真空度；6.（3）通过电极系统产生等离子体，并对等离子体进行调节；7.（4）在设定的时间内对材料表面进行等离子处理；8.（5）处理结束后，通过进料系统将材料取出。
三、印刷适应性评估为确保等离子处理后印刷品质满足客户需求及相关标准，需进行印刷适应性评估。
评估内容包括：1.表面张力：等离子处理后材料的表面张力应达到印刷要求，以保证油墨的良好附着性。
通常要求表面张力在38-45达因以上。
2.表面粗糙度：适当的表面粗糙度有助于提高油墨与材料表面的结合力。
可通过扫描电子显微镜（SEM）等方法测定表面粗糙度。
3.化学性能：分析材料表面的化学组成及官能团，了解经过等离子处理后表面的化学变化情况，有助于优化处理参数和印刷工艺。
4.附着力测试：对等离子处理后的材料进行印刷，通过附着力测试评估油墨与材料表面的结合强度。
常用的附着力测试方法有划格法、百格法等。
表面等离子喷涂
表面等离子喷涂1. 概述表面等离子喷涂是一种常用的表面处理技术，通过使用等离子体生成的高能粒子对物体表面进行涂覆，以改善其性能和外观。
本文将介绍表面等离子喷涂的原理、应用领域以及未来发展方向。
2. 原理表面等离子喷涂的基本原理是利用等离子体产生的高能粒子对物体表面进行喷射。
这些高能粒子可以是离子、电子或中性气体分子。
在喷射过程中，这些高能粒子与物体表面发生碰撞并附着，形成一层均匀、致密的涂层。
3. 工艺流程表面等离子喷涂的工艺流程包括以下几个步骤：3.1 前处理在进行表面等离子喷涂之前，需要对待处理物体进行前处理。
这包括清洗、除油、除锈等步骤，以确保物体表面干净，并且没有杂质和污染物。
3.2 等离子生成通过加入适当气体，如氩气、氮气等，在真空或大气环境下产生等离子体。
等离子体可以通过射频放电、直流放电或微波放电等方式生成。
3.3 等离子喷涂在形成稳定的等离子体后，将待处理物体放置在喷涂室中，并通过控制喷涂参数，如喷涂距离、喷涂速度、喷涂角度等，将高能粒子喷射到物体表面。
高能粒子与物体表面发生碰撞并附着，形成一层均匀、致密的涂层。
3.4 后处理完成等离子喷涂后，需要进行后处理。
这包括退火、固化等步骤，以提高涂层的结晶度和附着力。
4. 应用领域表面等离子喷涂技术在许多领域都有广泛应用。
以下是一些常见的应用领域：4.1 汽车工业在汽车工业中，表面等离子喷涂技术可用于制造汽车零部件的保护性和装饰性涂层。
例如，在发动机部件上使用陶瓷涂层可以提高其耐磨性和耐腐蚀性。
4.2 航空航天工业在航空航天工业中，表面等离子喷涂技术可用于制造飞机发动机叶片、涡轮等部件的高温涂层。
这些涂层可以提高零部件的抗氧化性能和耐高温性能。
4.3 电子工业在电子工业中，表面等离子喷涂技术可用于制造半导体器件、显示屏等的保护性涂层。
这些涂层可以提高器件的稳定性和寿命。
4.4 医疗器械在医疗器械领域，表面等离子喷涂技术可用于制造人工关节、牙科种植体等的生物相容性涂层。
《等离子体表面处理》课件
导电性能
通过四探针测试仪或Hall效应测试仪测量表面的导电性能， 评估等离子体处理对表面电学性能的影响。
PART 05
等离子体表面处理的优势 与局限性
等离子体表面处理的优势
01
02
03
04
高效性
等离子体表面处理技术能够在 短时间内对大面积的表面进行
总结词
等离子体是由部分或全部原子或分子处于激发态的电离气体，其整体呈中性。
详细描述
等离子体是由气体在足够高的电场或温度下被完全或部分电离，形成由带正电 的离子和带负电的电子组成的电离气体。在宏观上，这些带电粒子的净电荷为 零，因此等离子体整体呈中性。
等离子体表面处理技术的原理
总结词
等离子体表面处理技术利用等离子体的物理和化学性质，对材料表面进行激活、刻蚀、 沉积等处理。
通过引入智能化技术，实现等离子体 表面处理的自动化和智能化。
绿色环保
未来的等离子体表面处理技术将更加 注重环保和可持续发展。
新材料应用
随着新材料的不断涌现，等离子体表 面处理技术将在新材料领域得到更广 泛的应用。
处理，提高了生产效率。
环保性
等离子体表面处理技术不使用 化学试剂，减少了环境污染。
均匀性
等离子体能够均匀地覆盖处理 表面，保证了处理效果的均匀
性。
适用性广
等离子体表面处理技术适用于 各种材料和表面的处理。
等离子体表面处理的局限性
设备成本高
等离子体表面处理设备成本较 高，增加了生产成本。
处理厚度有限
等离子体表面处理工艺流程
预处理
清除工件表面的污垢和杂 质，保证处理效果。
低温 等离子 表面处理
低温等离子表面处理是一种利用等离子体进行表面处理的工艺，可以在常温下对材料表面进行处理。这种处理方法能够改变材料表面的物理、化学和机械性质，提高表面的附着力和亲水性，增强材料的抗污、抗菌和抗氧化性能。
低温等离子表面处理可以应用于各种材料，如塑料、玻璃、陶瓷、金属等行业的产品的表面性能。
低温等离子表面处理的基本原理是利用高压电场将气体转化为等离子体，并在等离子体中注入各种活性粒子，如电子、离子、自由基和激发态粒子等。这些活性粒子与材料表面发生化学反应，从而改变表面的化学结构和物理形态，提高表面的附着力和亲水性。
低温等离子表面处理的优势在于处理过程中不会对材料本身造成损伤，而且处理时间短，效率高。此外，这种处理方法还可以通过调整工艺参数来控制表面的性质，以满足不同应用的需求。
总的来说，低温等离子表面处理是一种有效的表面处理方法，可以广泛应用于各种材料和行业，提高产品的表面性能和附加值。
等离子体表面处理技术的原理
等离子体表面处理技术的原理理论说明1. 引言1.1 概述等离子体表面处理技术是一种改变材料表面性质的有效方法，通过利用等离子体对材料表面进行激发和修改，可以实现润湿性能提升、去除污染物、改善粘附性能等目标。
这项技术已经在多个领域得到广泛应用，如电子器件制造、材料加工和生物医学等。
1.2 文章结构本文主要围绕等离子体表面处理技术的原理和理论进行探讨，以及相关的实验验证和应用案例分析。
文章共分为五个部分：引言、等离子体表面处理技术的原理、等离子体表面处理技术的理论说明、实验验证与应用案例分析以及结论与未来展望。
1.3 目的本文的目的在于深入探讨等离子体表面处理技术的原理和机制，并通过对相关实验研究和应用案例的分析来评估该技术的可行性和效果。
同时，本文还将探讨该技术所面临的挑战并展望其在相关行业中的未来发展前景。
通过本文的撰写，旨在增进读者对该技术的了解和认识，促进其在实际应用中的推广和发展。
2. 等离子体表面处理技术的原理2.1 等离子体介绍等离子体是由加热至高温状态下电离而成的气体，其中包含了正离子、负离子和自由电子。
等离子体在物理、化学和工程领域中广泛应用，尤其在表面处理方面有着重要的作用。
2.2 等离子体表面处理的基本原理等离子体表面处理技术是利用含能量较高的等离子体对材料表面进行物理和化学改变的过程。
通过将某种气体加热至高温并施加电场或直接暴露在电弧中，可形成稳定的等离子态。
这些带电粒子与材料表面相互作用时会产生各种效应，包括清洁、去除污染物、增强润湿性能、提升附着力等。
2.3 受控等离子体处理技术的发展和应用随着科技进步和相关研究的不断深入，受控等离子体处理技术在多个领域得到了广泛运用。
例如，在纳米制造、光电器件加工、涂层改性、材料表面改良等方面都有广泛的应用。
受控等离子体处理技术不仅能够提高材料表面的物理和化学性能，还可实现对材料性质的调控和优化。
以上是关于等离子体表面处理技术原理的基本说明。
等离子表面处理原理
等离子表面处理原理
等离子表面处理（Plasma surface treatment）是一种利用等离
子体的物理化学反应来改变材料表面特性的技术。
它通过在气体中施加高能电场，使气体分子激发、电离形成等离子体，然后将等离子体传导到材料表面进行处理。
等离子体在表面附近产生一系列物理化学反应，如清洁表面、去除污染物、改善表面粗糙度、提高润湿性、增强附着力等。
这种表面处理技术在许多领域有广泛应用，包括涂层、粘合、材料改性、生物医学、电子器件等。
等离子表面处理因其高效、环保、低成本等优点，逐渐成为材料加工、工业制造领域的重要技术之一。
等离子表面处理技术发展及应用
05
等离子表面处理技术的挑战与前景
技术瓶颈与解决方案
技术瓶颈
等离子表面处理技术在实际应用中面 临一些技术瓶颈，如设备成本高、处 理效率低、处理效果不稳定等。
解决方案
针对这些技术瓶颈，科研人员正在积 极探索新的技术路线和解决方案，如 优化设备结构、改进工艺参数、开发 新型等离子源等，以提高处理效率、 稳定性和降低成本。
市场需求与产业发展
市场需求
随着工业制造和表面处理领域的不断发展， 等离子表面处理技术的市场需求持续增长， 特别是在汽车、航空航天、电子、医疗器械 等领域，对等离子表面处理技术的需求尤为 迫切。
产业发展
为了满足市场需求，等离子表面处理技术的 相关产业正在快速发展，市场规模不断扩大， 技术水平和产业竞争力不断提升。
技术发展趋势与展望
技术发展趋势
等离子表面处理技术正朝着高效、环保、智 能化的方向发展，如开发高效能等离子源、 研究环保型等离子处理技术、实现智能化控 制等。
展望
未来等离子表面处理技术有望在更多领域得 到应用，如新能源、环保、生物医学等领域 ，同时技术的不断进步和创新将推动等离子 表面处理技术的进一步发展，为工业制造和
等离子体中的高能粒子能够轰击材料表面，使其粗糙度增加 ，亲水性提高；而低能粒子则主要通过注入方式与表面发生 化学反应，引入新的官能团或改变表面组成。
等离子体表面处理的技术特点
非接触式处理
等离子体与物质表面的相互作 用是在气体环境中进行的，避 免了直接接触对表面造成的损
伤。
环保性
等离子体处理过程中不使用化 学试剂，减少了对环境的污染 。
等离子表面处理Leabharlann 术发展 及应用• 等离子表面处理技术概述 • 等离子表面处理技术的基本原理与技
等离子处理原理
等离子处理原理
等离子处理是一种常用的表面处理技术，它通过生成等离子体来改变材料的表面性质。
等离子体是由气体或液体中的原子或分子通过加热、激发或电离等方式获得的带电粒子。
在等离子体处理过程中，材料表面暴露在等离子体中，等离子体中的带电粒子会与表面相互作用，从而改变材料的化学组成和物理性质。
等离子体处理的原理主要涉及两个方面：等离子体激发和表面反应。
等离子体中的带电粒子可以通过碰撞、俄歇过程或辐射跃迁等方式将能量传递给材料表面，使其激发或电离，从而改变其性质。
同时，等离子体中的带电粒子也可以与材料表面发生化学反应，例如氧化、还原、硝化和氮化等反应，从而形成新的化合物或改变材料的化学组成。
等离子体处理的原理基于带电粒子与材料表面的相互作用，因此选择合适的等离子体源和操作参数非常重要。
常见的等离子体源包括氩气、氧气、氮气等，通过调节气体流量、压力和电场强度等参数可以控制等离子体的性质和能量。
此外，材料的性质和表面结构也会影响等离子体处理的效果，例如材料的导电性、表面形貌和化学组成等。
综上所述，等离子处理是一种利用等离子体与材料表面相互作用改变材料性质的技术。
通过调节等离子体源和操作参数，可以控制等离子体的能量和化学活性，实现对材料的精确处理。
等离子体表面处理技术简介
第一部分
等离子技术简介
五、低压等离子体的应用
3、引入官能基团（亲水性/ 疏水性处理 ）高分子材料用N2、NH3、O2、SO2等气体的等离子体处理,
改 变表面的化学组成, 引入相应新的官能基团: COOH、 -SO3H 等。这些官能团可 使聚乙烯, 聚丙烯, 聚苯乙烯，聚四氟乙 烯等这些完全惰性的基 材变成官能团材料, 可以提高表面极性, 浸 润性, 可粘结性，反应 性, 极大地提高了其使用价值。与氧等离子 体相反, 而经含氟气
三、 等离子体种类
气体处于大气压状态并从外界获得大量能量 ， 得到的等离子体称为大气压等离子体。其
具 有温度高、强度大、破坏性强等特点。
低压等离子体
在低压气体的场合产生的等离子体称为低
压 等离子体。
第一部分
等离子技术简介
四、低压等离子设备
真空舱体 PLC
托盘
电极
等离子发生器 泵
7
第一部分Leabharlann 等离子技术简介可以
-NH2、-OH、-
体的低温等离子体处理,
氟 原子, 。
可在基材表面引入
使基材具有疏水性
第一部分
等离子技术简介
3、引入官能基团（亲水性/ 疏水性处理 ）
高分子材料-聚丙烯（Polypropylene）处理
O2-等离子 处理前
O2-等离子处理 后: 引入相应新的 官能基团—— 羰基
第一部分
等离子技术简介
Complexity of Process
五、低压等离子技术的应用
Si ze of Sy st e m
第一部分
1、清洗 / 蚀刻
等离子技术简介
五、低压等离子技术的应用
在进行清洗时，工作气体往往用氧气
等离子体表面处理
等离子体表面处理等离子体表面处理是一种在工业界被广泛使用的一种表面处理技术。
它是通过在表面上创建一个等离子体而实现的，具有几种不同的应用和优势。
最常见的应用是改善表面的抗腐蚀性，粘附性，热稳定性，耐磨性等。
等离子体表面处理的原理是利用等离子体在表面上形成一层膜来改善表面性能。
等离子体是一种非常低温的物质，包括电子和原子，它们能够通过电荷协调或共同运动，达到表面处理的效果。
等离子体处理可以大大提高表面处理技术的效率，也能有效减少涂料消耗量。
等离子体表面处理需要一定的设备，主要是由真空腔，变压器，泵和高压系统组成的等离子体发生器，用于产生等离子体流。
等离子体发生器可以产生不同的等离子体，它们具有不同的温度和能量，可以精确的调节，因此等离子体可以用于不同的表面处理工艺。
等离子体表面处理可以有效的改善塑料，金属和其他材料的表面特性，提高表面的耐磨性，抗腐蚀性，耐温性，热稳定性，抗污染性和其他特性。
等离子体表面处理也可以用于制造无毒，防锈和耐热的材料，从而使材料可以在一定环境下使用。
等离子体表面处理不仅可以改善表面性能，还可以用于涂覆，清洗和去除表面污染物。
它的最大优势是可以在低温条件下实现细致的表面处理，而不会破坏原材料的物理性质。
此外，等离子体表面处理还可以提高成型和组装过程中材料的处理精度和稳定性，从而提高产品的可靠性。
由于等离子体表面处理技术可以有效改善材料表面的各种性能，它已经成为工业界的重要表面处理手段。
它的应用范围广泛，可以用于改善汽车，航空航天，机械，电子，医药等行业的产品的表面性能。
等离子体表面处理在未来将有更多的应用，将给工业界带来更多的发展机遇。
等离子体氟化处理
等离子体氟化处理
等离子体氟化处理是一种表面处理技术，通常用于改变材料的表面性质和性能。
该处理过程利用等离子体中的活性氟物种与材料表面相互作用，从而实现对材料表面的氟化。
在等离子体氟化处理中，将待处理的材料置于等离子体反应器中，通过等离子体产生设备产生等离子体。
等离子体中的活性氟物种（如 F 原子、F2 分子等）在等离子体场的作用下被激活，并与材料表面发生化学反应，形成氟化层。
等离子体氟化处理可以应用于各种材料，如金属、陶瓷、聚合物等。
通过氟化处理，可以改变材料表面的化学成分、形貌、润湿性、光学性质、电学性质等，从而改善材料的表面性能。
一些常见的应用包括：提高材料的防腐蚀性、降低表面摩擦系数、增强表面附着力、改善光学透过率等。
等离子体氟化处理还可用于制备功能性氟化涂层、提高电池性能等领域。
需要注意的是，等离子体氟化处理的效果受到多种因素的影响，如等离子体参数（如功率、气体流量、处理时间等）、材料特性和预处理等。
因此，在实际应用中需要根据具体情况进行优化和控制，以获得理想的氟化效果。
总的来说，等离子体氟化处理是一种有效的表面改性技术，可以为材料表面带来一系列有益的性质和性能改善。
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氮气(N2) 氧气(O2) 氢气(H2) 氩气(Ar2) 四氟化碳(CF4)
5、等离子体技术目前在印制板上的作用
钻孔清销后的孔壁凹蚀,去除孔壁钻污 去出激光钻盲孔后的碳化物 精细线条制作时,去除干膜残余物 聚四氟乙烯材料沉铜前的孔壁表面活化 内层板层压之前的表面活化 沉金前的清洁 贴干膜和阻焊膜之前的表面活化
等离子体表面处理技术讲座
-------奥坤鑫科技有限公司
主讲：刘善双
1、什么是等离子体及怎样建立等离子体；
等离子体 (中文) = PLASMA (英文) = 电浆 (台湾)
等离子体的发现:
1879、英国物理学家、 William Crookes----物质第四状态 1929、美国化学物理学家、 Langmuir----等离子体
PTFE&聚四氟乙烯
物理特性：介电常数低、介电强度高 、介质损耗因素小、半阻燃性、耐热性好； 化学特性：强的耐化学腐蚀性、
PTFE难以被水润湿的原因
F C F
F C
n
F
1.表面能低（31∽34达因/厘米），接触角大； 2.结晶度大，化学稳定性好; 3.PTFE分子结构高度对称，属非极性分子；
提高PTFE表面的润湿性能常用的表面改性方法：
1、钠-萘络合物化学处理 优点：具有较好的表面改性效果；
缺点：属湿式化学处理，对环境和人身危害比较大
2、低温等离子处理
优点：属干式处理，省能源，无公害，时间短，效率高；材料表面 处理的均匀性好；材料表面能改善的同时，基体性能不受影响； 缺点：设备一次性投入较高
3.1 实验条件和实验检测手段
实验用高频板材：Taconic RF-35(蚀刻表面铜,刷板两次)
3.2.2 XPS表面分析
等离子体处理前后PTFE基材的XPS光谱 等离子体处理前后PTFE基材表面元素及化学键组成 At. % 项目
C F O N -C-N N-C=O -NH -NO
改性前
改性后
34.38
39.47
65.07
54.06
0.55
5.41
0.23
1.06
0
3.66
0
2
0
0.95
0
4、等离子体改性前后基材表面丝印阻焊情况
3.3
小结：
等离子体改性实质：
原理分析： SEM和XPS 分析
1、增大比表面积 2、使表面带有亲水基团
几组表面改性实验：
1、表面清水性改善 2、PTFE基高频板孔内镀铜实验 3、PTFE基材表面沉铜实验 4、PTFE基材表面丝印阻焊实验
4、等离子处理用到那些气体
OKSUN plasma 机台的主要构造及技术参数
我们设备主要有六大部分构成：真空发生 系统、真空反应系统即反应室、人机界面 工控系统也就是电气控制系统、等离子体 发生器、气路控制系统，机柜
设备外形尺寸：长×宽×高 =1740mm×1160mm×2000mm 真空腔体容积：长×宽×高 =900mm×700mm×700mm，可分为12层，单次处 理量6.5平方米 最大放板面积850mm×600mm，约0.5平方米
产生低温等离子体系统
2、等离子体在现代工业中的主要用途 等离子体主要作用：清洁、蚀刻和改性
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清洁：去除表面有机物污染和氧化物 蚀刻：化学反应性蚀刻、物理蚀刻 改性：粗化、交联
等离子体的主要用途： 半导体IC行业
•蚀刻小孔，精细线路的加工 •IC芯片表面清洗 •绑定打线 •沉积薄膜
纺织行业
BGA焊盘的清洗；化镍浸金前处理；
蚀刻作用（有机物CF4+O2）
高多层背板去钻污；多层软板；刚挠板去钻污处理；去除夹膜;
表面改性作用（ CF4+O2 N2+H2)
PTFE板材沉铜前处理、阻焊前处理；层压前处理粗化；
3、H2/N2等离子体对以PTFE基高频板改性的研究；
前言
高频通信 高速传输 通讯高保密性 低介电常数 低介质损耗因素 耐高温 聚苯醚 、氰酸脂 聚丁二烯 最常用：PTFE
实验所用气体：H2、N2 实验设备：OKSUN-PM12A (功率5Kw、频率：40KHz)
实 验 条 件
实 验 检 测 手 段
SEM(扫描电子显微镜) XPS(X射线光电子能谱) 剥离强度测试仪
3.2 实验数据的分析
3.2.1 表面显微结构分析
(a) 未进行处理
(b) 处理10min
(c) 处理30min
0.21
结论：
1、等离子体处理后材料表面突起物增多，比表面积增大；（SEM） 2、等离子处理后材料表面含有含氮含氧等表面粗糙、增大接触面积；
C
C n
表 面 改 性
F
F
2、表面含亲水基团增大亲水性
PTFE分子结构改性 亲水基团改性
3.2.3具体几组表面改性实验
处理前的 水滴
等离子体定义：
部分或是全部电离的气体； 主要包括：电子、离子、中性基团、分子、光子
等离子体的形成
固体
液体 能量
气体 能量
等离子体 能量
物质的四种状态
什么是等离子体
等离子体成分,对外呈现电中性
物质的第四种形态
等离子体工业生产模型
低温等离子体的建立系统(PCB行业);水平式和垂直式
不同时间的等离子体处理对PTFE板材表面粗糙度的影响
(a) 2Kw
(b) 3Kw
(c) 4Kw
不同功率的等离子体处理对PTFE板材表面粗糙度的影响
结论：
1、等离子体处理时间越长，表面的突起物会增多，比表面积会增大。 2、而随着功率的增大，表面突起物增加和比表面积增大。
原因：
其一：带电离子 其二：化学活性基团 溅射侵蚀。 化学侵蚀。
欢迎大家多提宝贵意见!
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处理后的 水滴
1、亲水性改善实验
局部放大
等离子处理前
局部放大
等离子处理后 2、等离子体处理前后RF-35板材孔内镀铜的SEM照片
(a) 改性前基材表面的沉铜情况
（b)30min改性后基材表面的沉铜情况
3、等离子体改性前后PTFE基材表面沉铜情况
改性前基材表面的阻焊情况
30min改性后基材表面的阻焊情况
纺织纤维表面改性；
生物和医疗行业
半透膜表面亲水的改性； 医疗器械的清洁；
镀膜
物理气相沉积（PVD）镀膜； 化学气相沉积（CVD）镀膜； 磁控溅射镀膜；
PCB制作
清洗作用: 改善可焊性; 表面改性:增加亲水性,增强结合力; 蚀刻作用:去钻污、去除电镀夹膜;
等离子体技术在PCB行业的应用；
清洗作用（有机物CF4+O2,无机物Ar2+O2）