大流量气体质量流量计
质量流量计（MFC）原理
质量流量计（MFC）原理质量流量计（MFC）原理及如何来选择使⽤⾸先什么是质量流量计（MFC）?质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM），是⼀种精确测量⽓体流量的仪表，其测量值不因温度或压⼒的波动⽽失准，不需要温度压⼒补偿。
质量流量控制器，即Mass Flow Controller（缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能⾃动控制⽓体流量，即⽤户可根据需要进⾏流量设定，MFC⾃动地将流量恒定在设定值上，即使系统压⼒有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说，质量流量控制器就是⼀个稳流装置，是⼀个可以⼿动设定或与计算机联接⾃动控制的⽓体稳流装置。
质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？（1）流量的测量和控制不因温度或压⼒的波动⽽失准。
对于多数流量测控系统⽽⾔，很难避免系统的压⼒波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计，压⼒及温度的波动将导致较⼤的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则⼀般可以忽略不计。
（2）测量控制的⾃动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显⽰﹑累积流量⾃动计量﹑数据⾃动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器⽽⾔，还可以实现流量的⾃动控制。
通常，模拟的MFC/MFM输⼊输出信号为0～+5V或4～20mA，数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串⾏通讯⼝，能⾮常⽅便地与计算机连接，进⾏⾃动控制。
（3）精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制⽓体的给定量，这对很多⼯艺过程的流量控制﹑对于不同⽓体的⽐例控制等特别有⽤。
（4）适⽤范围宽，有很宽的⼯作压⼒范围，我们的产品可以从真空直到10MPa；可以适⽤于多种⽓体介质（包括⼀些腐蚀性⽓体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品最⼩流量范围可达0～5 sccm，最⼤流量范围可达0～200 slm。
流量显⽰的分辨率可达满量程的0.1%，流量控制范围是满量程的2～100% （量程⽐为-- 50:1），因此在很多领域得到⼴泛应⽤。
美国BROOKS5850E质量流量计
品牌:brooks
型号:5850E
类型:质量流量计
测量范围:0.03-30slpm（m3/h）
精度等级:1
公称通径:6（mm）
适用介质:专用气体工作压力:10（MPa）
工作温度:65（℃）
5850S/E气体质量流量计
美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面
的要求而设计的产品。
它与传统的体积流量仪器截然不同，BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量，不受温度、压力变化的影响。
因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。
被测流量可设计成质量或体积单位。
此外，所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容，安装简便。
技术参数:
数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
流量范围:0.03-30slpm
最大工作压力:1500psi(10.432Mpa)
气路接头:1/4"VCR或1/4"SWG
电气接头:15Pins D-Type或Card-edge
精度:±1%FS
信号输出:RS-232/RS-485接口,4-20mA输出控制,TTL报警
内置微处理器，智能化、数字化。
软件组态，数字通讯，支持微软Windows动态数据交换。
流量范围：0-30L/MIN；
精度：1%FS；
最大压力：1500psi；
最高温度：65℃；
输入/输出：0-5V；
电源：+/-15V。
MF5000 系列气体质量流量计 说明书
© 2011 Siargo Ltd.使用说明书(VA.3)SIARGO MEMS FLOW SENSOR PRODUCTS气体质量流量计MF5000系列1注意事项MF 5000系列气体质量流量计目录使用需知注意事项目录一、概述二、产品分类形式及选型说明三、产品结构与工作原理四、技术指标五、安装说明六、功能说明七、检定八、安全、维护及故障排除九、运输及储存十、开箱及检查十一、客户服务及技术支持附录：应用说明112334556778888 2选型方式按照如下规则确定：MF5000系列气体质量流量计是矽翔微机电系统有限公司结合微机电系统（MEMS ）流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表。
主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点；针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计；且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装、维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。
执行标准为：Q/77453766-11-2009。
参照执行标准: ISO14511；GB/T 20727-2006。
00000360号。
采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术，传感器的尺寸缩小到了微米量级，使该流量计的灵敏度大大提高。
在单个芯片上实现了多传感器集成，使该流量计的量程比（范围度）大大提高。
传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。
结合二次仪表的微电脑智能技术，使流量计重复性好，实现了计量准确可靠。
技术进步带来的结构简化，使流量计较之传统的机械式仪表，压力损失大幅度减小，极大地降低了能源消耗。
采用LCD 显示瞬时流量和累积流量，清晰直观，读数方便。
产品融合了电磁兼容设计技术，具有更高抗干扰能力。
流量计带有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理。
矽翔MEMS气体质量流量计
ExdIIBT4
6
MF系 列 气 体 质 量 流 量 计
3.3 数据记录与保存
（1） 可 保存日 总 流量数 据1000条 ，实现 自 动抄表 。
（2） 可 同时选 择 每3~240分 钟 （可以 设 置）记 录 一组数 据 ，以便 分析某 段 时间的 气 体使用 情 况，保 存 内容有 ： 年，月 ， 日，时 ， 分，总 量，流 量 数据。 一 共可以 记 录2000条 数据。
避免强行旋转带来的产品损坏。管道的连接和检漏应按相应的操作规程 进行。 4. 在产品使用过程中，或在在线情形下，清洗管道或其他可能引入大量杂 质的操作将可能对产品带来损坏。 5. 在产品安装过程中，严禁实施在线电焊作业。 6. 本产品有一定的自重，安装和搬运应按操作规程进行，以免带来伤害。
1
矽 翔MEMS流 量 产 品 系 列
3
矽 翔MEMS流 量 产 品 系 列
二、产品结构与工作原理 2.1 产品结构
本 流 量 计 主 要 由 微 机 电 系 统 （MEMS） 流 量 传 感 器 部 件 、 智 能 控 制 、 显 示 及 输 出 部 件 、 测 量 管 体 、 稳流器 、 法兰及 过渡部 件 组成。 其 组成部 分 如图2-1所 示 。
目录
使用须知
1
注意事项
1
一、概述
3
二、产品结构与工作原理
4
三、产品特性参数
6
四、安装说明
7
五、仪表设置
9
六、检定
11
七、防爆安装使用要求
12
八、安全、维护及故障排除
12
九、运输及储存
13
十、开箱及检查
热式气体质量流量计-360百科
热式气体质量流量计-360百科热式气体质量流量计是利用热扩散和热分布的原理，利用气体带走热量的多少来计算流量。
其测量结果受温度、压力变化影响较小，量程比可达到30∶1，安装方式为插入式，基本没有压力损失，适用于测量介质组分比较稳定的干燥气体的流量。
1、工作原理：大流量：热扩散原理，利用气体带走多少热量决定流量；小流量：热分布原理；2、系统组成：简单无活动部件、常温一体化、高温分体式；3、适用测量介质：干燥气体，介质组分稳定；4、系统误差：±1% 质量流量精度；5、系统智能化：多项参数修改，智能化；6、检定：工厂标定数据储存在仪表里，可以现场检定仪表性能，结果可溯源；7、量程比：大量程比，保证精度的前提下30∶1；8、流量结果：质量流量，温度、压力变化影响小；9、温压补偿：不需要；10、安装：小口径：管道式；大口径：插入式；安装简单快捷：不需要保温\导压管路，前后；直管段：3D/5D；安装成本低：在管道360范围内任何角度都可以安装；11、维护：属于免维护型，如需维护，可以实现在线不停产插拔维护；12、工厂标定：密闭环路模拟实际工况标定每一台都要实际标定；13、响应时间：1s；14、压力损失：插入式基本没有压力损失；15、系统重复性：重复性较好；16、温度对测量系统精度的影响：在±25℃范围内，±0.04 %FS；在±25～50℃范围内，±0.06 %FS；17、压力对测量系统精度的影响：压力变化0.006895MPa，精度影响0.02% FS；18、系统造价：性价比非常高，小口径相对价格高，大口径比孔板产品还便宜。
质量流量计的优缺点
质量流量计的优缺点
1、质量流量计的优点
直接测量介质的质量流量有很高的测量精度，可测量流体范围广泛，包括高粘度介质，含有固形物的浆液，足够密度的中高压气体。
压损小。
由于质量流量计的检测部件都被安装在管子外壁，管子内壁光滑通畅，介质可以顺利通过，压力损失大大减小，同时也减少了管道堵塞风险，便于现场维护。
质量流量计可以直接测量介质的质量流量、密度和温度３个参量，其余参量例如体积流量等都是换算而来。
2、质量流量计的缺点
质量流量计零点不稳定形成零点漂移，影响其精确度的进一步提高，误差分为基本误差和零点不稳定误差两部分。
不能用于测量低密度介质和低压气体，不适合测量两相流介质。
外界振动干扰较为敏感。
为防止外界振动干扰，安装时有固定支架要求。
重量和体积较大，价格较昂贵。
AMS2106数显气体质量流量计产品说明书
AMS2106数显气体质量流量计产品说明书产品特点•质量流量与温度集成测量•量程200L/min•重复性好•支持多种气体测量•可配置参数•标准Modbus-RTU通信•段码屏显示•可用电池或9～24V DC电源供电•默认NPT 1/2连接，可根据客户需求定制接口应用范围AMS2106应用于监测空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳等干燥洁净无腐蚀性气体（易燃易爆炸气体除外）的质量流量。
可广泛应用于高校科研、消防、环境监测、烟草、智慧农业、食品、医药等行业。
图1 AMS2106产品综述AMS2106是一款热式质量流量传感器，通过测量电阻变化计算测量气体的质量流量。
传感器采用自主研发的MEMS质量流量芯片，具有直观、精准、稳定，同时具有耐高低温、线性好、响应时间快等特点。
出厂前对AMS2106相关性能、参数进行了严格的测试和校准。
1. 外观结构和引出线1.1 外观结构及工作界面图2展示的是AMS2106的外观结构及工作界面，包含了传感器风道和工作界面等。
工作界面包括段码屏和操作按键，段码屏显示的内容有流量计Modbus通信地址、气体温度、电池、累积流量及瞬时流量。
按键包括向上、菜单和向下三个按键。
传感器风道在工作界面下方，包括进气和出气接口。
风道上的箭头指示了传感器要求的气体流向。
图2 AMS2106示意图1.2 引出线定义图3 引出线示意图颜色引线接口名称及定义黑色（粗）屏蔽线白色RS485 B-红色VCC（9～24V DC）绿色RS485 A+黑色（细）GND表1 引出线定义2. AMS2106技术指标及基本信息参数描述量程0～200L/min（标准）精度±3%FS重复性0.5%FS响应时间≤2s供电方式3节AA电池或外部电源9～24V DC输出方式RS485显示方式段码屏显示单位累计流量：SL（L，标况）瞬时流量：SLPM（L/min, 标况）最大工作压力0.8MPa压力损耗≤2000Pa标准校准气体空气（标况）引出线专用Type-C定制数据线功耗≤50mW机械接口NPT 1/2净机重量280g注：标况指25℃，1个标准大气压。
气体质量流量计原理
气体质量流量计原理气体质量流量计是一种用于测量气体流量的仪器，它将气体质量作为测量参数。
其原理基于热物理效应，可以用来测量各种气体的流量，广泛应用于化工、医药、冶金、航空等领域。
一、气体质量流量计的基本组成气体质量流量计主要由传感器、信号处理器、显示器和控制器四部分组成。
传感器是测量气体质量流量的核心部件，通常采用热毛细管技术、热膜技术或者微流控技术实现。
信号处理器接收传感器输出的信号，并将其转换为数字量，并进行校准、线性化等处理。
显示器将处理后的数据以数字或者图形的形式显示。
控制器则是对气体质量流量进行控制和调节的核心，通过控制阀门或者泵等设备实现。
二、热物理效应原理气体质量流量计的工作原理基于热物理效应。
当气体通过热丝或者热膜时，这个加热物体会失去一定的热量，且与气体流量成正比。
在气体流量不同的情况下，热丝或者热膜会产生不同的温度变化，进而实现气体流量的测量。
三、热毛细管技术热毛细管气体质量流量计是一种测量气体流量的传统技术。
其基本原理是利用热丝或者热膜加热毛细管中的气体。
通过测量热丝或者热膜的加热功率和温度变化，可以计算出气体的质量流量。
热毛细管气体质量流量计的特点是测量范围广，可以测量各种气体的流量。
热毛细管属于热敏元件，灵敏度不高，且在高速气流下容易受到干扰。
四、热膜技术热膜气体质量流量计是一种新型的传感器，其基本原理是采用热膜作为测量元件。
由于热膜的热导率比热丝低，因此在气体流动下，热膜的温度变化比热丝更为明显。
通过测量热膜表面温度的变化，可以得到气体质量流量的数据。
热膜气体质量流量计的特点是响应速度快、灵敏度高、输出信号稳定。
热膜的寿命较短，容易受到杂散热影响，需要经常进行校准和维护。
五、微流控技术微流控气体质量流量计是一种基于微流控技术的新型传感器。
其基本原理是通过微流道和微加热器等微观结构实现对气体流量的测量。
在气体流动过程中，微通道内的热量传递和质量交换等微观效应会影响气体温度和流速的变化，进而实现气体质量流量的测量。
质量流量计(MFC)原理
质量流量计（MFC）原理及如何来选择使用首先什么是质量流量计（MFC）?质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM），是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器，即Mass Flow Controller（缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？（1）流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
（2）测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。
通常，模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA，数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口，能非常方便地与计算机连接，进行自动控制。
（3）精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
（4）适用范围宽，有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa；可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 sccm，最大流量范围可达0～200 slm。
流量显示的分辨率可达满量程的0.1%，流量控制范围是满量程的2～100% （量程比为-- 50:1），因此在很多领域得到广泛应用。
质量流量计简述
质量流量计简述1.什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter(MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC), 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
2. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。
这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。
这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。
因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干SLM)即可实现。
所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
3. 什么情况下用质量流量计,什么情况下用质量流量控制器?一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。
某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。
例如，后面讲到的测量小孔直径﹑阀门泄漏量﹑工件(如毛细管)流通量等。
4. 质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？4.1 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
十大流量计详细说明
十大流量计详细说明在流体控制领域，流量计扮演着十分重要的角色。
它们用于测量液体或气体在单位时间内通过管道的体积或质量。
不同的应用场景需要不同类型的流量计，下面将介绍十种常见的流量计及其工作原理。
1. 浮子流量计浮子流量计包括安装在管道内部的锥形管和浮子。
当流体通过锥形管时，上游区域的流速减小，下游区域的流速增加。
这种速度差使得轻质浮子漂浮在上游区域，重质浮子下沉到下游区域。
通过观察浮子的位置，可以准确地测量流体的流量。
2. 涡街流量计涡街流量计是一种具有振动棒和螺旋翼的传感器，可用于测量液体、蒸汽或气体流量。
当介质经过螺旋翼时，涡旋在两个振动棒中间形成。
涡旋频率与流量呈现线性关系，可以通过检测振动棒的振动来测量流体的流量。
3. 质量流量计质量流量计的工作原理是测量流体通过管道时的质量。
它们被广泛用于气体流量测量，尤其是用于生产过程的质量流量测量。
质量流量计通常包括质量传感器和智能电路，可以在计算质量流量时自动调节环境温度、压力和其他因素。
4. 涡轮流量计涡轮流量计通过用旋转叶片中的涡轮测量流体的流速。
旋转叶片通过磁驱动器与传感器相连，可以测量旋转速度，并计算出相应的流量。
这种流量计通常用于测量低粘度液体的流量，在先进的计量和控制应用中得到了广泛应用。
5. 电磁流量计电磁流量计是测量导电液体流量的一种重要方法。
通过建立磁场并测量电位差来计算导电液体中的电流。
通常用于测量水、酸、碱、盐等化学溶液的流量。
6. 压差流量计压差流量计是一种简单的流量计，广泛用于气体和液体流量测量。
压差流量计通常包括一个放置在管道内的孔板或其他类型的节流装置。
压差传感器测量流体通过孔板时的压降，然后根据流体特性计算流量。
7. 转子流量计转子流量计使用叶轮式传感器来测量流体的流速。
转子绕轴旋转，每一次旋转对应着一个固定的液体容积，从而实现了流体量的测量。
这种流量计的典型应用是测量液态和蒸汽燃气流量。
8. 超声波流量计超声波流量计利用超声波技术，通过测量声波在介质中的速度来计算流量。
SENSIRION CMOSens EM1 气体质量流量计 数据手册
1.1 气体流量特性
图 2 显示了实际气体流量与对应的 CMOSens® EcoLineEM1 质量流量计 200 ln/min 型 的数字输出量曲线。
250 EM1 output [ln/min] 200 150 100 50 0 0 50 100 150 Mass Flow [ln/min] 200 250
CMOSens EM1 产品简介
CMOSens® EcoLine EM 1 质 量 流 量 计 （ MFM ）可在较大的动态范围内对气体流量进 行快速和经济的测量。其较高的性价比源于 Sensirion 卓越的 CMOSens®传感器技术，将传感 器 元 件 与 放 大 器 、 A/D 转 换 电 路 集 成 在 一 个 CMOS 芯片。使产品不仅性能高，反映时间快， 动态范围大，而且价格诱人。 所有的测量数据都通过一个内部的微控制 器经过完全校准和温度补偿。 CMOSens® EcoLine EM 1，外壳耐用，抗化学剂， 广泛应用于过程控制，医疗器械及燃料电池等 领域的流量测量。 传感器外壳为测量气体流量提供两个入 口，并且抗 8bar (116psi)过压。 CMOSens® EcoLine EM 1 要求电压为 7…18 Vdc，并提供 RS-232 或 SPI 电气接口。
单位 °C / °F K K
VDC
最大操作压力 爆破压力 漏率 材料 接触材料
cm / incห้องสมุดไป่ตู้ cm / inch cm / inch g inch bar / psi bar / psi mbar l/s He
1 2 3 4 5
包括偏移，非线性，磁滞 如需要还有更高的精度，可咨询 占满量程（Full Scale)的百分比(FS)
表 3: CMOSens® Ecoline 质量流量计在不同流量水平和积分时间的分辨率（EM 1_V）. 流量水平 流量水平 200 ln/min 50 ln/min < 5 ln/min 流量积分时间 13 ln/min 4.0 ln/min 1.0 ln/min 5 ms 3.5 ln/min 1.0 ln/min 0.25 ln/min 20 ms 0.9 ln/min 0.3 ln/min 0.06 ln/min 80 ms 0.11 ln/min 0.03 ln/min 0.0143 ln/min 640 ms 读数频率 200 Hz 读数频率 50 Hz 读数频率 12.5 Hz 读数频率 1.56 Hz
MF5700系列气体质量流量计
SIARGO LTD.矽翔微机电系统有限公司Siargo Ltd.提供世界领先的流量传感器技术及产品，以满足客户广泛的应用需求。
本书为现有定型产品的使用说明，矽翔微机电系统有限公司也能够根据客户的要求设计和定制产品。
进一步的信息，请直接与矽翔微机电系统有限公司联系（详见客户服务部分）或访问我们的网站。
中国大陆的客户请访问。
（）MEMS 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了流量计的高精度计量 灵敏度高，能够对极小的始动流量就可以开始计量在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了50:1甚至更高 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性支持多种气体的测量，允许客户对某些特殊气体进行现场标定 响应速度快输出方式灵活，提供LCD现场显示，也可提供RS485通讯接口由上位机查询输出数据 可通过按键配置参数 具有超量程报警指示功能便携式设计，电池供电和外部供电方式可以任意切换NPT或BSPT连接方式，易于安装与使用也可根据客户需求定制其他接口，食品行业化工行业科研院校机电行业玻璃行业分析仪器行业MF5700系列气体质量流量计是基于矽翔微机电系统有限公司自主研制的MEMS流量传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。
该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。
当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的温度场分布。
一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。
微机电系统流量计芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。
由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同，因而能测量气体的质量流量或总流量。
下图为该系列流量计的原理框图。
P i n 3)V C CR S 485AR S 485BP i n 4)G N D (3.6～9)VDC选配线缆注：1）按照箭头指示方向接入气流，如果反接，则显示的流量将始终为0;2）产品可以选配一根0.5m长带MiniUSB插头的连接通讯电缆，该线缆可以实现外部供电和通讯；其引线定义见8.1。
气体质量流量计常见的影响因素
气体质量流量计常见的影响因素气体质量流量计是用于测量气体质量流量的一种仪器。
它包括许多零部件，包括传感器、转换器、计算器和管道。
这些部件之间的不同组合将导致气体质量流量计测量的准确性有所不同。
本文将探讨一些常见的影响因素，这些因素需要在使用气体质量流量计时加以考虑。
1. 管道设计气体质量流量计工作的管道是影响其准确性的重要因素。
当管道直径太大（即供气量过大）时，气体将流经管道的中心。
这将导致气体较高的流速，而气体沿管道壁面的流速则非常低。
在这种情况下，气体质量流量计可能会在不同时间测量到不同的气体流量。
相反，当管道直径太小时，会出现气体的“压缩”现象，导致气体流动速度变慢，这样也会影响测量准确性。
因此，正确的管道设计非常重要。
2. 测量介质气体质量流量计在不同的气体介质中的准确性是不同的，这是由于气体介质的物理状态和热性能不同。
例如，相对湿度、压力、温度和粘度都对气体流量测量的准确性产生影响。
因此，在测量过程中，必须保持气体介质的稳定状态，以获得准确的测量结果。
3. 温度效应气体质量流量计是一个基于热量测量的仪器，因此气体温度对它的测量准确性有重要影响。
当温度升高时，气体扩张，气密性变差，从而降低了气体的密度以及气体流量测量的准确性。
因此，在使用气体质量流量计时必须考虑到环境温度的变化。
同时，还需要对仪器的温度感应器进行检查，以确保它没有出现失效、偏差或磨损等现象。
4. 压力效应气体压力也对气体质量流量计的测量准确性产生影响。
当压力过高或过低时，气体的密度、粘度等物理性质也会发生变化，这会导致气体的流量与质量发生变化。
为了保证气体质量流量计的测量准确性，需要根据实际情况调节气体的压力。
5. 仪器校准气体质量流量计的准确性取决于其校准。
在安装前和运行过程中，为了确保气体质量流量计的准确性，通常需要对其进行定期的校准。
校准可以通过与标准测量设备的比较来完成，以确定气体质量流量计测量值的准确性。
如果仪器出现了偏差或误差，可以对其进行校正或调整，以确保测量结果的准确性。
塞尔瑟斯仪表 TF100热式气体质量流量计 说明书
３
一体化安装有三种接口方式 1） 材质为 316L 的锁紧头 2） 材质为 316L 的法兰 3） 带球阀不断流安装
在安装时可根据实际情况自主 选择，在定货时注明。
右图所示为带锁紧头的安装事
90
例
除非有声明，标准皆为：探杆
2.4 传感器安装方向 1）流量方向应与探杆上焊接的指示方向相同 2）流量方向应与探杆上焊接的指示方向的平行度应小于±10℃
3.带测量管式安装
注意：在流速非常低的情况下（0.2m/s），来自长探头的对流热量将对短探 头产生影响，在这种情况下，建议选择其他安装形式（水平安装 3.1 一体式安装
４
一体化安装有三种接口方式： 1）材质为 316L 螺纹 2）材质为 316L 的法兰 3）直接焊接
７
THERMAL MASS FLOWMETER
●设置用户满量程 ●进入报警参数设置 ●调整 K 系数 1.3 使用 PC 机完成功能 除具备键盘完成的功能外，还具备下述功能 ●温度和流量通道的 AD、DA 校准 ●监测实时介质温度和瞬时流量 ●记录功能 2.按键位置及定义
DEC: 减一 SHIFT;功能键 INC :加一
THERMAL MASS FLOWMETER
设定模式功能分配
因为产品系列多，具体产品请参见 所附的随机说明书
６
THERMAL MASS FLOWMETER
4～20mA
高报警 COM
低报警 ＋流量 －地 ＋温度 大地 电源－ 电源＋
接线时注意： 1）流量报警输出地
点平有效，无源 光隔输出容量为 50V/150mADC 2）电流输出最大负 载 500 欧 姆 （24VDC） 3）电源额定消耗功 率小于 3W 4）使用串口时，应 避免带电插拔， 否则易损害仪表 本身串口及计算 机串口
气体质量流量计安装要求
气体质量流量计安装要求
安装气体质量流量计时，应遵循以下要求：
1. 安装位置选择：应选择在流量计测量点附近的直管段上安装。
安装点应远离弯头、收缩段、膨胀段和其他可能影响流动稳定性的地方。
2. 安装方向：气体流向应与流量计的设计流向一致，通常流量计上会标有箭头指示。
3. 安装距离：在流量计前后应保留足够的直管段，通常要求在流量计前保留5倍直径的直管长度，在流量计后保留3倍直径的直管长度，以确保流动稳定。
4. 安装方式：常见的安装方式有法兰连接、螺纹连接和插入式安装。
安装时要确保连接处紧固可靠，密封良好。
5. 清洁程度：安装前应仔细清洁管道内部，避免杂物和污物进入流量计。
6. 避免振动：安装过程中要避免产生过大的振动，因为振动可能影响流量计的测量准确性。
7. 密封性能：在安装过程中应注意保持良好的密封性，避免气体泄漏，以保证测量的准确性。
8. 排水处理：需要采取相应的措施排除气体中的液体和固体杂
质，防止对流量计的影响。
请注意，以上是一般性的安装要求，在具体情况下可能会有一些特殊要求，安装前应参考设备的安装手册或咨询相关专业人士。
e+h热式气体质量流量计说明书
e+h热式气体质量流量计说明书e+h热式气体质量流量计是一种高精度的流量测量仪器，通过热敏电阻传感器来实现气体质量流量的测量。
它在工业生产中具有广泛的应用，可以用于测量各种气体的流量，如空气、氮气、氧气等。
本文将对e+h热式气体质量流量计的工作原理、特点和使用注意事项等进行详细介绍。
首先，我们来了解一下e+h热式气体质量流量计的工作原理。
该流量计利用热敏电阻传感器来测量气体的质量流量，其工作原理基于传热定律。
当气体流经热敏电阻传感器时，气体会带走传感器表面的热量，导致传感器温度降低。
通过测量传感器表面的温度变化，可以确定气体的流量。
e+h热式气体质量流量计具有高灵敏度和稳定性，能够实现对气体质量流量的准确测量。
其次，e+h热式气体质量流量计具有许多特点。
首先，它具有高精度和高可靠性，能够满足工业生产对流量测量的严格要求。
其次，该流量计具有良好的抗干扰能力，不受环境因素的影响，可以在各种恶劣的工作环境中稳定运行。
此外，e+h热式气体质量流量计还具有快速响应速度和广泛的测量范围，适用于多种气体的流量测量需求。
在使用e+h热式气体质量流量计时，需要注意以下几点。
首先，要保持流量计的清洁和整洁，定期清洁传感器表面，以确保测量的准确性。
其次，需要定期校准流量计，以确保其测量结果的准确性和稳定性。
另外，在安装和使用过程中，要避免将流量计暴露在高温、高湿或腐蚀性气体中，以防止对其造成损坏。
总的来说，e+h热式气体质量流量计是一种高精度、高可靠性的流量测量仪器，具有广泛的应用前景。
使用者在使用和维护该流量计时，需要注意以上几点，以确保其正常运行和准确测量气体质量流量的能力。
希望本文对读者对e+h热式气体质量流量计有所帮助，谢谢阅读。
美国AALBORG原装进口DFM多参数气体质量流量计
流量计的所有功能都能够通过本地的四个按键和LCD 操作。数字接口RS485（可选 RS232）提供可操作的参 数包括：流量、温度、压力读数，自动零点调整，累积器 和报警设置，气体列表，转换系数和工程单位选择，动态 响应补偿和线性修正。模拟信号提供流量、温度、压力的 0-5VDC、 0-10 VDC或者4-20 mA输出。
累积器
气体总量是利用气体瞬时流量和时间进行积分计 算的，通过按键和数字接口指令提供：
累积值清零 按预先设定的流量开始累积 按预先设定的累积流量执行控制 开始/停止累积流量 读出累积值
当累积值读数和“总量停止”的值一致的时候， 累积器可执行预设控制。
流量报警
通过按键或者远程的数字接口编程，可以设定流 量上下限报警点。当瞬时流量值相等或稍高/稍低 于相应设定的上下限报警点时，将产生报警。在 预先调整好的延迟间隔（0-3600秒）内，将触发 继电器动作（独立上下限报警）。
压力报警
通过按键或者远程的数字接口编程，可以设定压力 上下限报警点。当瞬时压力值相等或稍高/稍低于相应设 定的上下限报警点时，将产生报警。在预先调整好的延 迟间隔（0-3600秒）内，将触发继电器动作（独立上下 限报警）。
温度报警
通过按键或者远程的数字接口编程，可以设定温度 上下限报警点。当瞬时温度值相等或稍高/稍低于相应设 定的上下限报警点时，将产生报警。在预先调整好的延 迟间隔（0-3600秒）内，将触发继电器动作（独立上下 限报警）。
工程单位
测量气体流量和相关的累积器数据，可以通过前面板 按键或者数字接口指令直接设置工程单位。支持下列测量 单位：百分比、mL/min、mL/hr、 scfm、scfh、 sL/min、 sL/hr、 lbs/hr、 bs/min以及一个用户定义的测量单位。