镀膜机操作规程

镀膜机操作规程

RDBL/WJ-7.5.1-01

1概述:本指导书对镀膜机的起动、生产、关机及进气的操作做了比较具体的规定，用以指导微机岗工艺控制员对镀膜机的操作；

2 适用范围: 镀膜机的操作

3 操作步骤:

3.1设备起动

3.1.1 说明:

设备起动即为生产做准备，包括真空泵的起动及各仓室抽气到工作压力。各起动步骤可在自动和手动方式下实现。

3.1.2 设备准备:

a 检查下列单元的可靠性：真空泵的油位（应保持2/3的油位）、阴极冷却水白罐应保持一半以上的水位；外循环泵供水泵开启，且供水压力值在0.5～0.75Mpa范围内，供水温度＜30℃；压缩空气（压力值在0.6～0.8Mpa）；

b 开设备总电源开关、开启PLC；

c 检查PLC中央控制器及扩展单元的缓冲寄存装置电池，此电池只能由受过培训的人员更换，更换电池前应开启电源，如电源已关，应在外部电池插孔中接入一外部电源（电压3.4V）；

d 按“急停复位”按钮；

e 检查信号灯（所有信号灯必须亮）

f 开启温控单元，水压0.4 ～0.7MPa, 水温40℃；

g 开启下列真空测量仪:TM210S、IM110D、IM210，其中IM110D、IM210要在传输室TM210S显示值小于5×10-2mbar时才能开启。

h 手动方式下的起动过程见第3节，自动方式下起动过程见第4节

3.1.3 手动方式下起动

3.1.3.1 在大气压状态（1bar）下起动

此方式只用于维修、维护或换靶后设备进大气的情况下。

a 开启“手动方式”；

b 关入口室锁阀, 开传输室１的锁阀；

c 开启各室的泵单元及过渡抽气的泵单元；

d 入口室开始抽气；

e 溅射室通过入口室抽气, 等待溅射室压力小于或等于8×10-2mbar,溅射室开始抽气, 起动分子泵并升速到额定速度。

f 分子泵进入正常工作, 关闭传输室１的锁阀；

g 进入“生产”一节

3.1.3.2 溅射室P＝30mbar...1bar时的起动

溅射室压力在P＝30mbar...1bar之间，不能直接开始抽气，长时间停机后，溅射室内的压力可能会有一定的升高，检测设备泄漏率，并与标准值比较(见“维护”一章中“真空检测”一节)如实际值与标准值有较大差值，应进行检漏。

a 选定手动方式

b 入口室进气,待入口室充满气体, 溅射室开始进气，待溅射室充满气体, 开启传输室锁阀;

c 开启各室的泵单元, 开启过渡抽气的泵单元, 入口室开始抽气

e 溅射室通过入口室抽气, 等待溅射室压力小于或等于8×10-2mbar,溅射室开始抽气, 起动分子泵并升速到额定速度.

f 分子泵进入正常工作, 关闭传输室１的锁阀

g 现在进入“生产”一节

3.1.3.3 溅射室P＝8×10-2mbar...30mbar时的起动

a 选"手动方式"

b 开启各室的泵单元及过渡抽气的泵单元

c 入口室开始抽气, 当入口室压力小于30mbar时,打开传输室的锁阀

d 溅射室通过入口室抽气, 等待溅射室压力小于或等于8×10-2mbar,溅射室开始抽气, 起动分子泵并升速到额定速度.

e 分子泵进入正常工作, 关闭传输室１的锁阀

f 现在进入“生产”一节

3.1.3.4 溅射室P≤8×10-2mbar时的起动

a 选"手动方式" ；

b 开启各室的泵单元及过渡抽气的泵单元

c 入口室开始抽气

d 溅射室开始抽气, 等待溅射室压力小于或等于8×10-2mbar,溅射室开始抽气, 起动分子泵并升速到额定速度.

e 分子泵进入正常工作；

f 现在进入“生产”一节

3.1.4 自动方式下起动

a 选"自动"方式；

b 开"自动准备", 进入自动准备状态

不同设备状态下的准备程序如下：

3.1.

4.1 P=1bar时启动

a 开各室泵单元, 开过渡抽气泵单元

b 开传输室锁阀, 关入口室锁阀, 入口室抽气

c 溅射室通过入口室抽气, 溅射室压力P≤30mbar时,溅射室开始抽气

d 溅射室压力P≤8×10-2mbar时,分子泵起动(升速)

e 分子泵进入正常工作状态, 传输室1锁阀关闭

3.1.

4.2 溅射室压力P＝30mbar...1bar时的起动

a 入口室进气至压力P=1bar；

b 开各室泵单元, 开过渡抽气泵单元；

c 开传输室锁阀, 关入口室锁阀, 入口室抽气

d 溅射室通过入口室抽气, 溅射室压力P≤30mbar时,溅射室开始抽气

e 溅射室压力P≤8×10-2mbar时,分子泵起动(升速)

f 分子泵进入正常工作状态, 传输室锁阀关闭

3.1.

4.3 溅射室P＝8×10-2mbar...30mbar时的起动

a 开各室泵单元, 开过渡抽气泵单元

b 入口室开始抽气至入口室压力≤传输室压力,传输室锁阀打开;

c 溅射室通过入口室抽气,压力P≤30mbar时, 溅射室开始抽气

d 溅射室压力P≤8×10-2mbar时,分子泵起动(升速)

e 分子泵进入正常工作状态, 传输室锁阀关闭

3.1.

4.4 溅射室P≤8×10-2mbar时的起动

a 开各室泵单元, 开过渡抽气泵单元；

b 溅射室开始抽气

c 溅射室压力P≤8×10-2mbar时,分子泵起动(升速)

d 分子泵进入正常工作状态, 传输室锁阀关闭

3.2生产

3.2.1 生产准备

a 起动设备；

b 起动入口室泵群抽气至少1小时(开气镇)

c 传输室压力≤5×10-3mbar；

e 检查溅射气体系统

(1) 气瓶中的气体压力大于10bar

(2) 流量阀入口压力2-3bar

(3) 所有手动阀开启

f 开启温控单元；

g 检查阴极及阴极环境的冷却水温（T=40-50℃）

h 设定溅射气体流量，检查气体流量偏差(在设备起动一小时后进行) I 设定／修正阴极溅射功率值

j 开启中央驱动控制, 进行“生产开始”阶段；k 生产开始(3.2.2)

3.2.2 生产开始

a 执行第１部分的生产准备;

b 等到工作压力满足(高真空指示灯亮), 设备改为自动模式;

c 开始自动方式的准备阶段, 设备进入自动准备阶段;

d 自动准备完成;

e 检查基础气压,溅射室压力≤4×10-5mbar

f 检查溅射室前级管道压力

g 溅射室传输系统开启、开工作气体、开阴极，进行预溅和工艺调试h上玻璃开始生产

3.2.3 停止镀膜

a 上料台上不要再放玻璃

b 等到最后一片玻璃离开传输室１,关全部阴极和溅射气流控制器

c 最后一片玻璃到达下料台

d 设备改为手动方式，长时间停机应关中央控制计算机；

e 阴极C4和C5，应先关流量计开关，然后才能控制计算机

此时，设备处于待机状态，直到生产重新开始，生产可如第１部分生产准备中所描述的那样直接起动；如需停机见关机一节；如需进气见进气一节。

3.3 关机与进气

3.3.1 关机

a 设备进入待机状态（见“生产”一节第３部分）;

b 设备抽气最少一小时后停止抽气，停泵单元，关过渡抽气的泵单元c关温控单元; d 关掉水、压缩空气、工作气体; e 关总电源

3.3.2 整机进气

a 设备进入待机状态（见“生产”一节第３部分）;

b 检查阴极及阴极环境的水温（Ｔ＝４０℃）;

c 停止抽气，停泵单元，关过渡抽气的泵单元;

d入／出口室开始进气, 等待入口室充分进气(DE11亮), 溅射室开始进气, 等待溅射室充分进气(DE11亮)

3.3.3 其他操作按照《A2540型镀膜机技术说明书》进行。

4、每班填写一次《镀膜玻璃操作日志》。

5、发现设备异常，及时报告，及时处理。

6、在外部设备传达室输玻璃时，总控人员负责指挥及监控。

7、当班控制员在换靶时做好换靶记录。

8、相关记录及表格

《镀膜玻璃操作日志》RDBL/JL-6.3-04