电子级氯化氢、氯气项目建议书

电子级氯化氢、氯气产品项目建议书

一、项目背景：

目前，我国大宗化学品大都过剩，而相应的高纯电子级化学品却长期依赖进口，随着国内电子行业的发展，电子级化学品在国内有较大缺口。电子级产品主要应用在大规模集成电路、液晶屏、光电半导体、光导纤维等方面、太阳能多晶硅电池、太阳能薄膜电池等领域。目前微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向飞速发展，对广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的5.0N电子级氯化氢也有了新的要求。除了应具有99.999%以上的纯度，还要求THC、H2O和金属离子等有机杂质的含量越低越好。5.0N 电子级氯化氢气体主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀，清除钠离子。也用于金属表面化学处理，激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。过去我国大多从美、日等国进口，但近年来，我国电子工业所需的化学气体的研制，在技术上已有不少突破。大宗化学品价格低迷，而电子级产品附加值高，利润丰厚，目前国内仅有极少数厂家生产。电子级产品所需检测手段要求高，金属离子检测要求达到ppb级（即十亿分之一）。

半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。

电子级气体分类如下

二、技术来源

中昊光明化工研究设计院始建于1964年，是原化工部直属科研院所，目前隶属于中国昊华化工集团总公司，是我国目前唯一以特种气体为主要专业研究方向的科研单位。

集科研生产、开发设计、技术服务、质量检定于一体的综合性研究机构，成为我国重要的特种气体研究、生产基地之一，是承担国家特种气体科研项目时间最早、研制品种最多的研究单位。山东新龙集团的高纯氯化氢、高纯氯气即为该院设计，取得了良好的效益。目前新龙集团高纯氯化氢已经部分取代美国占市场份额的60%，目前正计划筹建高纯氯气，以期取代日本公司。

中昊光明化工研究设计院部分业绩

三、项目规模

1000吨/年高纯氯化氢气体

1000吨/年高纯氯气

四、资金投入

单套装置750万元，两套共计1500万元。

五、效益分析

以电子级氯化氢为例，目前国内电子产品生产厂家一般使用美国、德国产品，价格为13万元/吨，而国内山东新龙公司生产成本仅为3万元/吨，销售价格为9万元/吨，以1000吨/年规模计，每年可新增利润6000万元。

高纯氯气99.999%（5N）目前价格180000元/吨，是普通液氯的200倍左右，大都为日本产品，生产成本需调研。

六、市场容量

以下是河南省著名电子企业，市场情况需逐家调研、逐家开拓。

河南省电子行业著名企业列表（来自河南省工信厅官网）

七、结论

高纯气体属精细化学品，投资少，技术含量高，市场容量小，但效益可观，随着国家光伏行业的回暖，以及河南省新能源汽车的大力发展，电子级氯化氢、氯气、四氯化硅、三氯氢硅等电子级化学品需求将呈增长趋势。因此，建议立项考察和调研后做决定。