真空烧结炉说明书

真空高温烧结炉

说明书

1 前言 (4)

2 设备的工作原理 (4)

3 技术指标 (4)

4 设备构成 (5)

4.1 炉体总成 (5)

4.2 保温套 (5)

4.3 感应圈总成 (6)

4.4 集电装置 (6)

4.5 真空系统 (6)

4.6 水冷系统 (6)

4.7 电控系统 (6)

4.8 辅助系统...................................................... 错误!未定义书签。

5 安装调试 (7)

6 使用操作 (7)

6.1 真空操作 (7)

6.2 加热升温操作 (7)

6.3 水路系统操作 (8)

6.4 充气系统操作 (8)

6.5 破真空操作 (8)

6.6 炉盖升降操作 (8)

7 注意事项 (8)

8 设备的保养 (9)

/ 、八—

1 前言

在使用本设备前，要充分阅读本说明书的各项要求及注意事项，熟悉设备的性能、功能及使用要求

高温烧结炉是在真空或特定气氛条件下进行高温烧结的设备，能够满足特定的工艺需求，适用科研单位或生产单位使用。

设备具有结构紧凑、操作简单、易于维护等特点。

2 设备的工作原理

本高温烧结炉的加热方式采用石墨电阻加热，在真空或特定气氛条件下利用石墨电阻发热，对物料进行加热来达到工艺要求。

3 技术指标

极限真空度：6.6 X10-4 Pa ;

系统漏率：停泵关机后残余气体压力w 0.66Pa/h ;

工作区尺寸：立式加热区？280 X450mm (H)

均温区尺寸：？ 180 X220mm (H)

工作区温度：最高加热温度2200 C;

工作区加热温度速率范围：w 35 C/Min ;

4 设备构成

设备构成包括：炉体总成、保温套、石墨发热体、集电装置、真空系统、水冷系统、变压器、电控系统及充气等辅助设备组成。

4.1 炉体总成

炉体采用圆形上开盖结构，炉体材质采用内、外层不锈钢（304 ）结构。炉盖上设有视察；炉体侧面设有真空管道、充气阀、排气阀、进电法兰等接口，炉体底部留有安装等用的法兰接口。

测温采用钨铼热偶作为测温热偶，热偶通过气缸推进，温度低于1000 C时采用钨铼测温，高于1000 C气缸退出，红外测温显示温度。

4.2 石墨发热体

保温套侧面由三层石墨碳毡围成筒形，碳毡外有2 层硅酸铝纤维毡，外面有不锈钢壳组成。底面由多层石墨碳毡，碳毡上面用石墨板做支撑组成，整体放在炉腔内能完成保温功能。

4.3 石墨发热体

石墨发热体放在保温层内，它是右12 根石墨棒通过上下石墨圈组合而成，石墨棒下端通过三根石墨电极引入三相电。通过低电压大电流使石墨发热。

4.4 集电装置

集电装置由法兰板、进电铜管、铜排及附属零部件组成，其作用主要满足将变压

器与石墨发热体连接在一起完成电和水的供给。

4.5 真空系统

真空系统由KT-400 扩散泵、2X-70 旋片泵和相应的真空阀门、管道组成。主要满足炉腔所需的真空度要求。且管路各段设置必要的检漏接口。

4.6 水冷系统

水冷系统由水排、各分水路、阀门、压力表等组成。

4.7 电控系统

控制方式：具备自动和手动控制功能。自动控温仪表，可设定多条升降温曲线。采用日本岛电公司FP93 温控器进行程序加热控温，可编写12 组工艺曲线，每级工艺曲线包括20 段工序；采用进口红外测温仪进行测温和钨铼热偶测温。

5 安装调试

5.1 安装调试前先按设备的总图、地基图、水电气系统图正确恢复安装。

5.2 连接好内部和外部供给的水、电、气。

5.3 进一步核对确认各个部位的连接关系及正确性。

5.4 设备使用前各个控制开关均处在关闭或指定的位置，启动供水供电供气系统，保证设备的水电气供给。

6 使用操作

设备此时满足安装调试后的待工作条件。

6.1 真空操作

先关闭放气、充气阀、盖上炉盖、关闭所有的真空阀门，启动机械泵并开启对应的阀门，对炉体进行抽真空，当真空度达到小于等于10Pa 时开启扩散泵，直至炉腔内真空度满足要求为止。

6.2 加热升温操作

中频电源通电前检查水路是否正常，先将电源功率调节旋钮旋至最小，做合主控开关、启动控制电源等准备工作，按启动电源按钮启

动电源，通过调节功率调节旋钮改变输出功率的大小来控制炉内温度满足手动升温要求；另外将电源控制打到自动控制工位，通过温控表的PID 调节实现自动控温的目的。

6.3 水路系统操作

水路系统由设备的循环水系统与用户的循环水系统对接组成完整的水路循环系统，其操作是非经常性的，在设备正常工作条件下无需对其进行操作。

6.4 充气系统操作

按照具体工艺要求控制执行。

6.5 破真空操作

在关闭真空阀门且炉腔需破真空的条件下，打开放气阀对炉腔放气至炉内外大气压力平衡。

6.6 炉盖升降操作

在炉腔内破真空且炉内外压力平衡的条件下，启动炉盖升降按钮实现炉盖升降。

7 注意事项

7.1 为保证设备正常运行，工作中决不允许循环水中断。

7.2 在设备出现真空度急剧降低等各种异常现象时，按要求进行停机检修和排除故障。

7.3 设备运行过程中不可靠近和触摸带电部位，以防触电。

7.4 长时间停炉不工作，真空室内要保持真空状态。

7.5 用户循环水量不低于设备的总用水量。

7.6 真空压力表压力达到最低时开启真空计。

7.7 确保通入炉内的气体在安全纯度的比例范围内。

8 设备的保养

8.1 设备安装场地要通风良好，无腐蚀性气体。