传输线脉冲测试系统1套

传输线脉冲测试系统 1套

技术要求

一、设备的组成及配置清单

1.1 传输线脉冲发生器

1.2 示波器

1.3 漏电监测单元

1.4 自动化测试硬件系统（传输线脉冲波形注入的波形控制，被测器件的瞬态电

压和电流波形、IV曲线测试）

1.5 预装了自动化测试、记录软件的电脑台式主机(配置:i7处理器,8G内存,1T

硬盘),国内采购19英寸显示器、鼠标、键盘

1.6 探针台及测试配件(包含:体视显微镜(最高放大倍率90倍,国内采购)，微距

探针座，探针臂，探针，测试配套的连接线缆，以及电压和电流探头)

二、系统各部分的技术规范要求

* 2.1 传输线脉冲脉冲发生器：

开路最大输出电压：±1.25 kV

短路最大输出电流：±25 A

系统阻抗：50Ω

上升沿时间： 0.1ns, 0.3ns, 0.6ns, 1ns，内置程控可选

传输线脉冲脉冲宽度：0.5ns, 1ns，5ns，100 ns，内置程控可选

* 2.2 数字源表：

电压量程：±200V 电压精度：≤±100nV

流量程：±1A 电流精度：≤±1pA

* 2.3 示波器：带宽≥13GHz，采样率≥40Gsa/s, 四个模拟通道

2.4 测试电脑和测试软件

能通过USB接口、GPIB接口或者网口控制示波器、SMU 传输线脉冲发生器；

能够设置五段或以上传输线脉冲测试电压序列、能够调整脉冲间隔、测量窗口和电压步长；

能够设置五个或以上DC测试点进行直流漏电测试；

系统校准包括电压、电流瞬态波形的起始时间校准，以及SOZL四步校准，校准完成后在软件中自动计算校正参数；

能够启用或禁用漏电测量；

能够保存测试结果（包括IV曲线图、IV曲线数据表格、每个瞬态电压、电流测试波形数据）；

能够支持多种数据结果分析: IV 曲线, IVT 3D 图, 动态电阻, R-t的曲线及DUT 端能量积分功能；

能够调用四个或以上测试结果进行对比分析。

2.5探针测试装置:

可进行两线和四线的传输线脉冲探针测试，装置包括探针台、体视显微镜(最高放大倍率90倍,国内采购),探针座和探针臂，探针，测试配套的连接线缆，以及电压和电流探头。

2.6 双向开关模块: 用于传输线脉冲测试与漏电测试之间的切换

2.7 电流测量配件:

配备传输线脉冲测试电流探头

配备快速传输线脉冲TDR-S方式的电流测量低损传输线

* 2.8支持TDR-O方法的标准传输线脉冲测试和TDR-S方法的超快传输线脉冲测试，TDR-S测试方法需配备电压、电流测试通道的S参数频域补偿算法。

三、质保要求:验收合格后2年

显微高速成像系统1套

1.工作温度-10℃～50℃

2. 满幅分辨率不低于1280×800

3. 满幅拍摄速率不低于5200帧/秒

4. 分辨率为256×256时拍摄速率不低于50000帧/秒

5. 分辨率256×128时拍摄速率不低于100000帧/秒

* 6. 最高拍摄速率不低于55万帧/秒

7. 像元尺寸不小于20um

8. 黑白图像传感器,灵敏度不低于40000 ISO/ASA(12232SAT标准)

* 9. 最小曝光时间不大于1us

10. 内存容量不小于18G

11. 分辨率连续可调(64×8)

* 12. 具备基于图像的自动触发功能

13. 具备1us级二次曝光功能和自动曝光功能

* 14. 内置机械快门

15. 具备千兆以太网控制接口

16. 具备HD-SDI视频输出功能

17. 重量不大于2.5KG

18. 体积不大于12.7 cm×12.7 cm×12.7cm

19. 与现有Nikon设备匹配

20. 图像格式必须具备CINE、MOV、AVI、MP4等视频格式和BMP、TIFF、JPG等图片

格式，支持内存独立分段记录功能，不低于63段

21. 具备可编程输入输出接口

22. 配备分析处理软件，具备摄像机设置、分析回放、运动分析、图像处理、文件

管理及各式转换

23. 配备专用光源、标配电缆

* 24. 需提供生产厂家或总代理授权书、售后服务承诺书及技术证明材料（含彩页）

可调谐激光器1台

1.步进波长调谐，波长设置精度，±200 pm，步长分辨率：±10 pm

2.波长扫描范围覆盖1490-1610 nm

3.输出光功率 >+3 dBm @（全波段），输出功率 > ﹢6dBm @ （1520-1590 nm）

4.线宽 < 150 kHz(相干性控制开启），边模抑制比≥ 45dB

5.扫描速度：可达10 nm/s

6.输出：单模光纤输出，FC/APC接头

配置：可调激光器主机1台，电脑1台。

* 需提供生产厂家或总代理授权书、售后服务承诺书及技术证明材料（含彩页）

数字源表1台

1.用于高速直流参数测度

* 2. 提供宽动态范围10pA-10A,1uV-1100V,20w-1000w 3. 四象限工作

* 4. 0.012%精确度，5½的分辨率

5.可程控电流驱动和电压测量钳位的6位线电阻测量

6.内置快速失败/通过测试比较器

7.可选式接触检查功能

8.数字1/0提供快速分选与机械手连接，

9.达1700读数/秒（4位半分辨率），至GPIB总线