场发射扫描电镜购置

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场发射扫描电镜的样品制备和操作步骤

场发射扫描电镜的样品制备和操作步骤场发射扫描电镜（Field Emission Scanning Electron Microscopy）是一种高分辨率的电子显微镜技术，可用于观察和分析各种材料的表面形貌和微观结构。

为了获得清晰的显微图像，样品制备和操作步骤非常重要。

一、样品制备1. 样品的选择：场发射扫描电镜适用于不同种类的材料，如金属、陶瓷、聚合物等。

选择合适的样品很关键，它应具备研究对象的特性，并且能够承受电子束的辐照。

2. 样品的固定：为了保持样品的形状和结构不变，通常需要将其进行固定。

对于固态材料，可以使用金属夹片或导电胶进行固定。

对于液态材料，可以将其冷冻或凝胶化，以保持其形状。

3. 样品的切割和打磨：有时候，需要将样品切割成适当的尺寸，以便放入样品架中。

这可以通过使用金刚石切割机、电解或机械研磨仪器等设备来完成。

4. 样品的真空处理：在将样品放入场发射扫描电镜前，通常需要将其进行真空处理。

这可以通过将样品放入真空干燥器中、在低压下进行加热或冷冻干燥来完成。

真空处理有助于去除空气中的水分和气体，以减小背景干扰。

二、操作步骤1. 打开电镜系统：在开始操作前，需要将场发射扫描电镜系统打开并进行预热。

预热时间通常需要几十分钟，以保证系统内部达到稳定的工作温度。

2. 放置样品：将样品放置在样品架上，并确保其良好接触。

对于粉末状样品，可以使用导电胶将其固定在样品支架上。

对于固态样品，可以使用金属夹片固定在样品架上。

3. 调整显微镜参数：通过调整电子束能量、聚焦、工作距离等参数，来优化扫描电子显微镜的成像质量。

这些参数的选择取决于样品的特性和所需的分辨率。

4. 开始观察：一切准备就绪后，可以开始观察样品。

通过控制电子束的扫描和探测系统，可以获得样品的表面形貌和微观结构的信息。

在观察过程中，要注意避免样品表面的污染和损坏。

5. 数据分析：场发射扫描电镜获得的图像可以进一步进行数据分析。

可以通过对图像进行增强、测量尺寸和形状、进行结构分析等手段，来得到更详细的样品信息。

热场发射扫描电镜

1
华南上扬子区下奥陶统红花园组顶界的穿时性
古生物学报 2013
18-34
2
Polystage deformation of the Gaoligong metamorphic zone: Structures, 40Ar/39Ar mica ages, and tectonic implications
Journal of Structural Geology
2012
37 （1）
1-18
3
Detrital quartz and quartz cement in Upper Triassic reservoir sandstones of the Sichuan basin: Characteristics and Sedimentary 2012 267-268 mechanisms of formation based on cathodoluminescence and Geology EBSD analysis The Biluoxueshan transpressive deformation zone monitored by synkinematic plutons, around the Eastern Himalayan Tectonophysics 2012 Syntaxis
人才培养相关科研信息学术论文
指导硕士研究生12名，协助博士研究生3名；本科生毕业论文13人，本科生校长基金4人。三年内利用该仪器作为主要科研手段发表学术论文（三大检索） 12 序号作者（前三名）廖翰卿，刘建波，吴荣昌 Zhang, B.， Zhang, J.J.， Zhong, D.L. Zhang, B.， Zhang, J.J.， Yan, S.Y. Zhang, B.， Zhang, J.J.， Chang, Z.F. 论文题目篇，其中代表论文：期刊名年卷（期）起止页码 52 （1）

场发射扫描电镜招标文件

一、招标公告1. 招标编号：[招标编号]2. 招标项目名称：场发射扫描电镜采购项目3. 招标内容：场发射扫描电镜及相关配件、软件等4. 招标人：[招标人名称]5. 招标代理机构：[招标代理机构名称]6. 招标方式：公开招标7. 招标地点：[招标地点]8. 招标时间：[招标时间]二、项目背景随着我国科学技术的快速发展，场发射扫描电镜在材料科学、生物医学、地质勘探等领域得到了广泛应用。

为满足科研需求，提高科研水平，我单位拟采购一台高性能场发射扫描电镜。

三、招标范围1. 场发射扫描电镜主机及配件2. 场发射扫描电镜相关软件3. 场发射扫描电镜安装、调试及售后服务四、招标要求1. 招标人要求投标人具备场发射扫描电镜生产、销售及售后服务能力。

2. 投标人须为场发射扫描电镜制造商或授权代理商。

3. 投标人须提供场发射扫描电镜产品合格证、质量保证书等相关证明材料。

4. 投标人须具备良好的信誉和售后服务体系。

5. 投标人须承诺在合同期内提供完善的售后服务，包括但不限于：设备安装、调试、维修、保养等。

6. 投标人须按照招标文件要求，提供详细的技术方案和报价。

五、招标文件内容1. 投标人须知2. 招标文件3. 投标人资格要求4. 投标文件编制要求5. 投标文件递交要求6. 开标、评标及定标办法7. 合同签订及履约要求8. 其他需要说明的事项六、投标文件编制要求1. 投标文件应按照招标文件要求编制，包括但不限于以下内容：（1）投标函（2）法定代表人身份证明或授权委托书（3）投标人资格证明文件（4）场发射扫描电镜产品相关证明材料（5）技术方案及报价（6）售后服务承诺2. 投标文件应装订整齐，封面、目录、页码清晰，字体规范。

3. 投标文件份数：正本1份，副本[副本份数]份。

4. 投标文件递交截止时间：[递交截止时间]七、开标、评标及定标办法1. 开标时间：[开标时间]2. 开标地点：[开标地点]3. 评标委员会由招标人代表、技术专家、经济专家等组成，负责对投标文件进行评审。

扫描电镜的网上预约及使用办法.

扫描电镜的网上预约及使用办法本办法包括了XL30环境扫描电镜和Sirion场发射扫描电镜的网上预约及使用办法，开放运行时的开放时段和限定时间将视预约情况增减。

各课题组至少可获得一个“用户名/密码”，可随时查询或预约。

机组实际操作人员必须通过考核获得上岗证，严禁无证人员独立操作机组。

应至少提前3个工作日预约，最多可预约到第三周，每1小时为一个预约基本单元。

每个用户每次预约时间不得低于1小时，但不得超过限定值（大、中、小用户的限定值分别由管理员设定）；在可预约资源紧张时（即忙时），每个用户（大、中、小）每周预约时间不得超过限定值，且均需在一天内安排。

在完成预约、管理员确认前，委托人应填写“扫描电镜预约使用确认单”（在中心首页“下载区域”），经指导老师或其委托人签名确认后，交中心网管人员，网管人员在收到“预约使用确认单”后的1个工作日内完成预约的网上审核确认；确认后的预约不得随意撤除，若需撤销已经确认的上机时间，应提前1个工作日通知中心网管人员，否则认定为违约，违约金按已确认预约时间的50%收取。

拟上机人员应在预约时间的前1个工作日前将老师签名后的“预约使用确认单”交中心网管人员。

若逾期未交，原预约时间将被取消。

应严格按照预约时间进行上机操作。

上机人员应提前做好制样、表面处理等样品前处理工作，按时进出机组，不得延时以免影响后续人员使用；在后面无人上机的情况下，确需延时继续使用，应征得设备管理人员同意。

上机时间结束后由设备管理人员确认并记录实际使用时间和违约时间。

如因预约人员原因迟到，仍按原约定时间开始计费；如预约时间比实际使用时间多30分钟以上，则余下时间收取50%的违约金。

各用户使用费用的统计结果可实时进行网上查询。

因设备或设备管理人员原因需取消有关上机预约，应提前通知委托人。

中心网管人员及联系方式：苏兴武，52090660东南大学分析测试中心2009年2月制定，2010年3月修订关于大型仪器设备的独立操作使用管理办法为了更好地满足人才培养、学科发展的迫切需要，最大程度地发挥大型仪器设备的使用效益，现对扫描电镜、高真空电弧炉、F-T显微硬度计、磨损试验机、电子万能试验机等大型仪器设备实行可独立操作的开放使用管理办法，其它大型仪器待条件成熟后再逐步纳入本管理办法。

2021年山东省省级政府采购进口产品目录

音频信号放大器
硬盘XX
Ａ10
消防设备
消防头盔
消防手套
消防员灭火防护靴
正压式消防空气呼吸器
抢险XX头盔
抢险XX手套
抢险XX靴
二级化学防护服
一级化学防护服
特级化学防护服
核沾染防护服
防爆服
电绝缘装具
防高温手套
防化手套
正压式消防氧气呼吸器
强制送风呼吸器
潜水装具
消防员呼救器后场接收装置
无线XX传输系统
无线通信装置
XX:
2021年XX省省级XX采购进口产品XX
品目编码
品目名称
进口产品设备名称
备注
A02
计算机设备及软件
负载均衡设备
小型机
光盘库
存储区域网络设备SAＮ
网络附属存储设备ＮAS
直接附属存储设备ＤAS
移动存储设备
磁带机
磁带库
磁盘库
磁盘阵列
不间断电源（ＵPＳ）
专用光盘机
A03
办公设备
打印机
速印机
扫描仪
微单相机
机动链锯
无齿锯
气动切割刀
重型支撑套具
冲击钻
凿岩机
玻璃破碎器
手持式钢筋速断器
多功能刀具
混凝土液压破拆工具组
便携式汽油金属切割器
手动破拆工具组
便携式防盗门破拆工具组
毁锁器
内封式堵漏袋
外封式堵漏袋
XX式堵漏袋
金属堵漏套管
堵漏XX
阀门堵漏套具
注入式堵漏工具
强磁堵漏工具
粘贴式堵漏工具
电磁式堵漏工具
气动吸盘式堵漏器
二氧化硫分析仪
氮氧化物分析仪

场发射环境扫描电镜 - 北京大学实验室与设备管理部

Nano Lett.
2011
11
734-739
知名用户共享信息备注是否对外开放联系人
陈清，彭练矛，徐洪起，李彦，黄如，王玮，陈兢，清华大学郑泉水，魏飞等是魏贤龙服务对象电子邮件本校教学科研 weixl@ 收费标准联系电话 62755317 校内350元每小时开放时间每周数天
973， 863，国家自然科学基金
有专利多项毕业有多名博士生和硕士生三年内利用该仪器作为主要科研手段发表学术论文（三大检索） 10 序号作者（前三名）论文题目篇，其中代表论文：期刊名年卷（期）起止页码
1
X. L. Wei， D. Golberg， Q. Chen
Phonon-assisted e Nhomakorabeaectron emission from individual carbon nanotubes
场发射环境扫描电镜
院系：信科学院
仪器编号制造商国别经费来源责任教授
200912731 美国 211工程陈清
所属实验室制造厂商单价存放地点
纳米器件物理与化学教育部重点实验室 FEI 177.37万元型号 FEI Quanta 600 购置日期 2008年08月
理科2号楼2003
298
基本信息
技术指标及功能简介
热场发射电子枪，5轴马达台，3个二次电子探测器， BSE 检测器， 52 针电气接口，加速电压： 200V-30kV。高真空模式下30kV下分辨率1.2nm。
场发射环境扫描电镜主要研究方向在研或曾承担重大项目奖项专利人才培养相关科研信息学术论文材料表征

场发射扫描电镜

FEI Quanta 250FEG 场发射扫描电镜的原理及操作发射扫描电镜的原理及操作目录场发描电镜的原理一、射扫二、Quanta 250 FEG的基本操作二一、场发射扫描电镜的原理111.1场发射扫描电镜的原理一、场发射扫描电镜的原理电子枪的种类一、场发射扫描电镜的原理热场场发射扫描电镜束流大较为稳定，亮度高，其常用工作电压5-10kV，一般适合于导电导热性能好的样品般适合于导电导热性能好的样品另配有BSE探头冷场场发射扫描电镜束流小，其常用工作电压（4-15kV），分辨率高，适合导电性较弱，颗粒较小的样品高适合导电性较弱颗粒较小的样品一、场发射扫描电镜的原理电子激发样品可获得多种物理信号一、场发射扫描电镜的原理二次电子SE二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。

携带有样品的表面形貌信息,通常来自样品表面5-50 nm的区域，能量为0-50 eV。

由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射，因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多大区别。

所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50-100 Å。

扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。

二次电子产额随原于序数的变化不明要取决于表面形貌额随原于序数的变化不明显，它主要取决于表面形貌。

一、场发射扫描电镜的原理背散射电子BSE背散射电子是指入射电子与试样相互作用经过多次散射后，重新逸出试样表面的高能电子。

背散射电子的产生范围在1000 Å到1 m深，由于背散射电子的产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征也可用来显示原子序数衬度成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成分分析。

MgO MgO SrTiO 3SrTiO 3（a）image of SE （b）image of BSE一、场发射扫描电镜的原理X-特征射线特征X射线：原子内壳层电子被电离后，由较外层电子向内壳层跃迁产生的具有特征能量的电磁辐射光子。

场发射扫描电镜原理

场发射扫描电镜原理场发射扫描电镜（Field Emission Scanning Electron Microscopy，FE-SEM）是一种高分辨率、高清晰度的电镜技术。

其原理是在极细的钨（W）尖端处实现高强度的电场，这个电场可以帮助电子从钨尖端跃迁到样品上，形成高能的电子束，用来扫描和成像样品表面。

FE-SEM主要包括场致发射和电子透镜系统两个关键部分。

其中，场致发射是产生高强度电场的过程，通常采用极细的钨尖作为阴极，在其表面施加高电压，使钨尖表面的电子能够克服表面张力势垒跃出，并且形成高强度的电场。

在这种条件下，钨尖表面的电子被聚集在针尖旁边近似球形区域内，形成一种被称为“自发致密区”（Self-Assembled Dense Region，SADR）的结构。

这个结构在钨尖表面周围，造成高强度电场，在这个电场中，靠近钨尖表面的电子通过场致发射跃迁到样品表面，形成高能的电子束。

电子透镜系统由磁场和电场组成，用来引导和聚焦电子束。

其中，强壮的磁场和透镜系统是FE-SEM的一个关键组件，用于弯曲桥架射束中的电子，确定电子束扫描的方向和位置。

另一方面，电子透镜由多组电极组成，根据网格的配置和设计，可以对电子束进行聚焦。

这个过程可以在聚焦点上产生高度聚焦的电子束，使得电子束与样品表面的距离减小，进而在样品表面上产生高分辨率图像。

在FE-SEM中，电子束的扫描和成像过程是快速的。

电子束的聚焦和聚焦所花费的时间和贡献非常小。

因此，它可以在高速、高解析度和高图像质量的条件下对不同样品进行成像和分析。

其图像质量和解析度可以达到亚纳米级别，可以对大量的材料、结构和器件进行微观结构表征和研究。

尤其对于材料科学、纳米科学、生物医学和材料工程领域，FE-SEM已经成为一种不可或缺的研究手段。

扫描电镜调研经验分享

扫描电镜调研及使用经验分享本人刚进入博士阶段，近期课题组买了一台台式场发射扫描电镜，整个过程纠结万分，现分享我们的经验以及各种扫描电镜的使用对比。

目前扫描电镜作为研究材料形貌的基础表征，每个组都会用的上，且使用频率很高，如果课题组没有，样品拿到外面测，还需要排队就很影响实验进度。

我的导师最近拿了一些不大不小的项目，经费还比较充足，于是让我调研一下扫描电镜的厂家，然后最终选择一家，购买一台。

我本科实验室有日立扫描电镜，当时自己没法上手操作，但是使用也是很频繁的；飞纳呢，由于我们在外面开会有看到了关于飞纳电镜的介绍；而日本电子是老牌扫描电镜公司，之前课题组去其他课题组拍摄电镜时所用的就是这个品牌，所以我们同样进行了调研。

这三家在上海都有办事处，于是我主要调研的是这三家。

最终我们买了飞纳的台式扫描电镜，当然不是主流老牌公司产品不行，而是我们结合自身实验室情况出发买了飞纳。

自我感觉买电镜有两个最主要的要点：买电镜要结合自身实验室的情况以及自己上手去操作扫描电镜的拍摄。

实验室制备的材料都是纳米级别的材料，所以基本上只考虑场发射的扫描电镜，场发射又分为冷场和热场，冷场扫描电镜清晰度要高于热场扫描电镜，当然也看实际需求。

对比过多个产品之后，最终锁定在日立S4800和SU5000、日本电子IT200以及飞纳Pharos，以下是部分产品的图（S4800比其他的贵太多了，很早就被导师给毙掉了，给大家做个参考吧）：样品：S4800的是冷场扫描电镜，其他的是热场扫描电镜。

清晰度上来说的话，冷场扫描电镜确实要占优，而且，S4800拍摄拥有立体形貌的样品能用BSD模式拍出较为立体的形貌。

当然我们去实地考察后发现，其实这几个电镜拍出的照片都很清晰，S4800就只是略胜一筹（这个图丢失了，但是大抵上也如此）。

实验室情况：我们实验室主要研究的都是二维片层材料，这些照片的清晰度我们都是可以接受的。

测试：除了拍摄材料形貌图片以外，当然缺不了检测，如EDS等。

超高分辨率场发射扫描电子显微镜JSM-7800F介绍

加速电压：1.5kV 工作距离(WD)：2mm 过滤器电压：-1400V 探测器：UED
背散射电子为主
19
Copyright (C) JEOL Ltd., All Rights Reserved.
SHL
②最适合于磁性材料和EBSD分析的电子光学设计
〈应用实例〉
1. 磁性材料分析：Fe3O4 纳米颗粒集合体 2. EBSD晶体取向分析：钕铁硼 3. EBSD晶体取向分析：碳钢
0.25 μm
应用实例3. 碳钢 EBSD 图像
1000倍IQ（图像质量）图像 1000倍 ND方向图像
也适合于磁性材料的高精度晶体取向分析
加速电压：20 kV WD：20mm 探针电流：8 nA 100 nm 步长样品：碳钢（S25C）直径：32 mm 高度：20 mm 样品制备：金刚石砂轮研磨、胶体二氧化硅抛光
应用实例1. 碳上的镀金颗粒
极低加速电压图像 80 V JEOL Only
JSM-7800在80V的电压下也能观察高品质的图像通过观察样品表面可以进行纳米结构的分析
8万倍
12万倍
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应用实例2.
石墨烯
极低加速电压图像 80 V
out-lens
稳定度・重现性高加速分辨率
观察磁性材料
EBSD EDS/WDS
低加速分辨率
低倍率观察
低倍率观察
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超级混合式物镜(SHL)的功能评估
超级混合式物镜 semi-in-lens

场发射环境扫描电镜配置及技术规格表

––与能谱联合使用，具备图像采集系统：具有SEM成像功能，可支持多种SEM图像类型，图片尺寸不低于4096×4096；具备EBSD花样自由采集，无标样自动系统校准功能，拥有极图与反极图，取向分布，相区分与鉴定，能够分析晶界织构，以及EDS和EBSD的同步分析，离线数据再处理等软件包；标书需详细提供产品功能的软件特点。
––网络打印机：最大打印幅面：A4；打印速度：A4：达到14ppm；最高分辨率：600×600dpi；耗材类型：鼓粉一体；硒鼓寿命：2000页；首页打印时间：小于10秒；月打印负荷：达到5000页；进纸盒容量：150页手动进纸器；内存：2MB。
2.2电子束背散射衍射仪（EBSD）系统（可与EDS实现一体化）
––样品台移动重复精度：2um（X/Y方向）
––样品室尺寸：≥250mm；兼容性高，预留EDS、EBSD、波谱仪以及其他标准扩展接口。
1.6检测器
––高真空模式，E-T二次电子探头；
––低真空模式，大视场低真空气体二次电子探头(LFD)
––环境真空下模式，气体二次电子探头(GSED)
––高灵敏度，低电压固体背散射电子检测器
1.9冷却系统
––配有循环水冷却器
1.10其他配件或易损件
––配置相关配件或易损件（备用灯丝+光阑3套）。
2附件
2.1X射线能谱仪（EDS）
1）探测器
––探头类型：电制冷硅漂移（SDD）探测器，采用场效应管（FET）集成设计的高速SDD芯片，有效探测器面积≥30mm2
––能量分辨率：在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV，轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV
可观察和检测非均相有机和无机材料样品的表面微观形貌观察及成分分析。它可以进行二次电子形貌分析和背散射电子衬度成像分析。能谱分析能够实现点分析、面分析、线扫描和面扫描，背散射电子衍射分析可以进行晶体取向成像、显微织构、晶界等分析。

ZEISS ULTRA 55场发射扫描电镜的使用及常见故障处理

2020年第11期广东化工第47卷总第421期 · 195 · ZEISS ULTRA 55场发射扫描电镜的使用及常见故障处理王丹*，孙峰，余红华，江丹，林国辉，曾丽珍，汪一聪(华南师范大学分析测试中心，广东广州510006)[摘要]以ZEISS ULTRA 55场发射扫描电镜为例，详细阐述了扫描电镜的基本结构、工作原理与操作技巧，为扫描电镜的初学者和相关从业者提供一定的技术参考；同时介绍了在日常使用中遇到的故障及解决方法，强调了规范使用、细心维护与及时处理故障是保证扫描电镜正常运行、延长使用寿命和节约维修费用的关键。

[关键词]场发射扫描电镜；使用；故障处理[中图分类号]TN16；TG115.21+5.3 [文献标识码]A [文章编号]1007-1865(2020)11-0195-02 Usage and Common Troubleshooting Methods of ZEISS ULTRA 55 Field EmissionScanning Electron MicroscopeWang Dan*, Sun Feng, Yu Honghua, Jiang Dan, Lin Guohui, Zeng Lizhen, Wang Yicong(Analysis & Testing Center, South China Normal University, Guangzhou 510006, China) Abstract: In this paper, ZEISS ULTRA 55 field emission scanning electron microscope (FESEM, Carl Zeiss, Germany) is taken as an example, elaborating on its constituent components, working principle and operation techniques, and providing some technical references for the SEM learner and relevant operator. Additionally, some common failures and corresponding troubleshooting methods of SEM in daily use have been summarized. Particularly, we emphasize that standard use, careful routine maintenance and in-time troubleshooting of SEM are of significance to ensure SEM well performed, lengthen the operating life and save the maintenance cost.Keywords: field emission scanning electron microscope；usage；troubleshooting场发射扫描电镜(Field Emission Scanning ElectronMicroscope，FESEM)因具有分辨率高、景深长、立体感强和细节丰富等特点，已成为固体表面形貌和微观结构分析的重要工具，因而被广泛应用于材料学、物理学、化学、地质学、生物学以及医学等各个领域[1,2]。

[机械仪表]日立S-4700场发射扫描电镜介绍

一、扫描电镜的基本结构和工作原理： 1、电子光学部分介绍及工作原理：
电子枪聚光镜物镜
样品室
冷场发射电子枪
2、真空系统介绍
电镜样品的处理和制备
• 样品要干燥、洁净，没有挥发性和腐蚀性物质。
• 不要用裸手去接触样品和样品台，含有溶剂的样品要充分去除溶剂。
• 样品导电性良好。 • 样品在电子束照射下稳定。 • 样品要牢固地固定在样品台上。
的粉末吹走，以免污染电镜。 • 镀金膜。
其它
• 薄膜样品应将待观察面向上粘在样品台上，观察面不能沾染灰尘或有其它污染。
• 有微孔的薄膜不要用导电胶固定。 • 要观察表面结构的纤维样品，必须两端都
固定在样品台上。 • 要进行能谱分析的样品，不能镀金膜，对
于不导电的样品，为使其导电，应镀碳膜。
S-4700的操作及注意事项
调节样品台位置的五个轴
高调节（Z轴）
样品室旋转调节（R）倾斜调节（T）纵向调节（Y轴）
横向调节（X轴）
更换样品时五个轴的位置
X
12.5mm
Y
12.5mm
Z
12.0mm
R
0°
T
0°
样品预抽室
预抽室阀门顺时针为关逆时针为开
预抽室
样品更换杆
注意！不要用手握杆来打开预抽室，以免损坏或弯曲。
样品的放置和更换
• 必须戴干净手套更换样品。 • 必须使用高度规调整好样品的高度。 • 导电胶的溶剂必须完全挥发掉才可以将
样品放入样品室。 • 用导电胶带容易引起样品漂移，并带有
挥发性物质，应尽可能用最少量以减少对镜筒的污染。
测量样品高度的高度规
注意！样品顶面超过规的标定高度底线不能大于0.5mm, 否则在小工作距离和高倾斜角时易碰物镜。

场发射扫描电镜各厂家对比表(1)

工作室：样品室尺 330mm(φ)× 寸 270mm(h)
工作室： 330mm(φ)× 270mm(h)
5轴试样载物台： X=125mm Y=125mm 样品行程 Z=50mm T=0-90° R=360° (continuous)
5轴试样载物台： X=130mm Y=130mm Z=50mm T=-3-70° R=360° (continuous)
蔡司
品牌及型号光学系统 1.0 nm at 15 kV 1.8 nm at 1 kV 0.8 nm at 30 kV (Low-vacuum) 1.5 nm at 10 kV 1.8 nm at 3 kV ΣIGMA SUPAR40/40VP SUPAR55/55VP N00
分辨率
1.5nm@20KV 1.7nm@15KV 3.0nm@1KV 4.5nm@30KV(VP)
1.0nm@20KV 1.3nm@15KV 2.1nm@1KV 5.0nm@0.2KV 2.0nm@30KV(VP)
1.0nm@15KV 1.7nm@1KV 3.5nm@0.2KV 4.0nm@0.1KV 2.0nm@30KV(VP)
0.5 to 30 kV
0.1KV-30kV
冷场发射
冷场发射电子源
热场 1pA-100nA
冷场发射电子枪：10-8冷场发射电子枪 10-13到2X10-9 10-13到2X10-9
X：±3.5mm, Y: ±2.0mm; Z: ± 0.3mm, T: ±40°
l型: X: 0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+70° R:360° 驱动:手动(可选3轴驱动) ll型: X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70° R: 360°驱动:PC机控制5 轴驱动

江苏省(沙钢)钢铁研究院简介

龙源期刊网江苏省（沙钢）钢铁研究院简介作者：来源：《焊接》2013年第05期江苏省（沙钢）钢铁研究院于2006年12月经江苏省科技厅批准成立，沙钢集团承建，总投资超过8亿元，已投入专项建设资金4亿多元，建成研发大楼建筑面积约9 000 m2、试验工场约7 000 m2，配套研究员公寓、家庭公寓都已投入使用；先后投入1.6亿元购置了场发射透射电镜、场发射扫描电镜、聚焦离子束扫描电镜、电子探针、X射线衍射仪、疲劳试验机、热模拟机等70余台/套当今世界最先进的研发分析设备；累计投入460余万元购买中外文图书、期刊和各类文献资源、行业资讯、专利和标准等，方便研究人员及时掌握世界先进技术经验，了解国内外钢铁行业发展动态。

目前，研究院实行管理委员会领导下的院长负责制，采取扁平化矩阵式管理模式，注重构建以高端人才为核心的组织体系和梯次结构，配套合理的科研人才团队，特聘请国际著名冶金专家江见俊彦教授、原东北大学赫冀成教授出任名誉院长，成立了由4名中国工程院院士、7名教授或教授级高工组成的技术委员会以及管理委员会，建立了包括棒线、板材、热轧带材、冷轧与硅钢等产品研究室，炼铁环境、炼钢连铸、压延加工、焊接等工艺研究室以及自动化控制研究室等9个研究室，企划管理办、分析测试研究室及试验工场作为研发工作统筹管理和技术支持部分，辅助整个研发工作。

其中，分析测试中心已通过CNAS实验室认可。

沙钢钢铁研究院将人才团队建设列为重中之重，坚持面向海内外，广纳高端人才，以港城一流的生态环境、和谐的企业氛围和优厚的薪酬待遇，吸引优秀人才加盟。

现有员工150余人，其中外籍人士5人，海归5人，博士20余人，硕士70余人。

并多次获得国家、省市各级人才荣誉及资助。

研究院各类人才先后获得中华人民共和国国际科学技术合作奖、国家友谊奖、江苏省“六大人才高峰”、江苏省海欧计划、江苏省“企业博士集聚计划”、江苏省“333高层次人才培养工程”、江苏省友谊奖、江苏省引进国外智力示范单位、江苏省高层次创新创业人才引进计划、苏州市优秀外国专家、张家港市领军型创新人才引进计划、张家港市科学技术合作贡献奖、苏州市科学技术合作贡献奖等各类荣誉。