激光清洗技术

的废料是固体粉末状，体积小，易于存放，基本上 不污染环境。
二、 激光清洗的方法一般有四种：
（1）激光干洗法，即采用脉冲激光直接辐射去污；
（2 ）激光+液膜的方法，即首先沉积一层液膜于基 体表面，然后用激光使液膜发生爆炸去污；
（3 ）激光+惰性气体的方法，即激光辐射的同时， 用惰性气体吹向工件表面，当污物从表面剥离后， 就被气体远远吹离表面，避免清洁表面再次污染 和氧化；
（1）它是一种“干式”清洗，不需要清洁液或其他 化学溶液，且清洁度远远高于化学清洗工艺；
（2）清除污物的范围和适用的基材范围十分广； （3）通过调控激光工艺参数，可以在不损伤基材表
面的基础上，有效去除污染物，使表面复旧如新； （4）激光清洗可以方便地实现自动化操作； （5）激光去污设备可以长期使用，运行成本低； （6）激光清洗技术是一种“绿色”清洗工艺，消除
主要应用
激光清洗石材、激光清洗古代文献、激光清洗 武器、模具的清洗、飞机旧漆的清除 、楼 宇外墙的清洗 、电子工业中的清洗 、精密 机械工业中的精确去酯清洗 、核电站反应 堆内管道清洗 。。。
综上所述，激光清洗在很多领域发挥着重要作 用，并且在汽车制造、半导体晶圆片清洗、 精密零件加工制造、军事装备清洗、建筑物 外墙清洗、文物保护、电路板清洗、精密零 件加工制造、液晶显示器清洗、口香糖残迹 去除等领域均可发挥重要作用。
展望
• 激光清洗技术近两年发展很快，不论是对激光清洗的工艺 参数和清洗机理、清洗对象的研究或是应用方面的研究都 取得了很大的进展。然而激光清洗技术在经过大量理论方 面的研究后，其研究重心正不断偏向于应用方面的研究， 并在应用方面取得了可喜的成果。由于激光器及其配套硬 件的费用较高，使激光清洗技术的应用范围受到极大的限 制，特别在低成本对象的清洗中还难以承受。今后激光清 洗技术在文物和艺术品的保护方面将得到更广泛的应用， 其市场前景非常广阔。随着科学技术的发展，如果激光器 及其硬件的成本不断下降，该项技术在工业中的应用也将 成为现实，其应用范围也会随之拓宽。
（4）用激光使污物松散后，再用非腐蚀性的化学方 法去污。目前在工业生产中主要采用前面三种清 洗方法，其中激光干洗法取激光＋液膜清洗方法 用得最多；第四种方法仅见于艺术品的清洗保护 中。
激光器的选择Leabharlann Baidu
目前激光器的种类比较多，如CO2激光器、YAG （钇铝石榴石） 激光器和准分子激光器等
一般来说，在高精度的要求高于大体积清除或成本的要求 时，准分子激光器是较为合适的工具；在其他情况下则以 CO2和固体激光器为佳。对于微电子工业来说，一般选用 准分子激光器，如KrF准分子；对于模具的清洗则采用 CO2或YAG激光器比较好；而对于激光敷层的清除，CO2 激光器的效果最好，特别是TEA CO2激光器在这一领域 极具发展前途；由于CO2激光器不能用光纤传送，远程清 洗应用受到很大限制，这为YAG激光器的应用提供了广阔 的空间。
激光清洗技术的机理
• 激光清洗的机理主要是基于物体表面污染物吸收 激光能量后，或汽化挥发，或瞬间受热膨胀而克 服表面对粒子的吸附力，使其脱离物体表面，进 而达到清洗的目的。
• 大致概括为： • 1.激光汽化分解；2.激光剥离；3.污物粒子热膨胀；
4.基体表面振动和粒子振动四个方面
一、与传统清洗工艺相比，激光清洗技术具有以下 特征：