硅材料生产技术
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硅材料生产技术
1、硅元素原子序数14,三种同位素分别是Si28、Si29、Si30,分别占92.23%、4.67%、3.40,
硅的原子量为28.025,价电子排布 3s23p2 。
2、硅晶体是原子晶体,是深灰色而带有金属光泽的晶体,它的熔点为1420℃,沸点为2355℃,
莫氏硬度为6.5.。硅晶体为脆性,密度为2.329g/cm3,比热为0.7J/(g·K)。
3、硅的分类及其应用有哪些?
答:<1>.按杂质含量:粗硅(95%-99%)和高纯硅(一般要求纯度达到小数点后面6个“9至8个“9”),一般用作半导体和太阳电池;
<2>.根据高纯硅掺入杂质不同:P型硅半导体(掺3价原子)和N型硅半导体(掺价
原子);
<3>.高纯硅根据晶型不同:单晶硅、多晶硅和无定型硅;<各自的定义>
<4>.用途不同:太阳能级硅,SG,硅含量99.9999%(6个9),用于太阳电池芯片的
生产制造;电子级硅,EG,硅含量99.999999999%(11个9),用于半导体芯片
制造
4、二氧化硅
在地球上分布最广的是低温石英,一般直接称为石英。
5、四氯化硅
水解作用会产生烟雾:
SiCl4 + 3H2O = H2SiO3 + 4HCl
6、三氯氢硅(硅氯仿)是无色透明液体,熔点-128℃,沸点31.5℃:
Si + 3HCl = SiHCl3 +H2
7、甲硅烷
8、几种典型的晶胞结构:简单立方、体心立方、面心立方、密排六方
9、共价键的两个重要性质:饱和性和方向性
10、区熔生长属于固相生长,直拉生长属于液相生长
11、相平衡条件:单元系相平衡条件和多元复相系平衡条件
12、过饱和:溶液中溶质的含量已大于饱和度,依然没有晶体析出的现象
13、过冷度:结晶温度T与两相平衡温度Tm的差
14、成核分为原生成核(一次成核)辅助成核(二次成核),原生成核又包括均匀成
核和非均匀成核;
均匀成核:新相在母相的整个体积内均匀地成核
非均匀成核:新相择优在母相的不均匀处形成
15、临界晶核:新相胚芽可以与母相达到平衡,从而可以稳定存在的晶核
16、要是一个新相达到平衡,必须同时满足三个条件:①母相压强等于外压强,②新
相压强大于外压强,③三个相得化学势相等
17、通过温度场改变驱动力场,借以控制生长系统中的成核率,这是晶体生长工艺中
经常应用的方法。(干锅、杂质、挥发物)
18、最典型的晶体界面结构模型:①完整突变光滑面生长模型
②非完整突变光滑面生长模型
实际晶体表面存在着大量的空位、杂质原子、位错等
19、化学法提纯高纯多晶硅的生产方法大多数为三个步骤:①中间化合物的合成,②
中间化合物的分离提纯,中间产物被还原或者是被分解成高纯硅
20、吸附剂需满足的要求:①具有较大的内表面,②选择性高,吸附剂对不同的吸附
质具有不用的吸附能力,其差异越显著,分离效果越好,③具有一定
的机械强度,抗磨损,④有良好的物理及化学性能,耐热冲击,耐腐
蚀,⑤容易再生,⑥易得,廉价
21、吸附的操作可分为:①间歇操作,②半连续操作,③连续操作
22、冶金级硅一般用于三个方面:
①杂质较高,生产合金,这部分消耗了硅总量55%以上
②杂质较低,一般用来生产冶金硅,占40%
③进一步提纯后的,一般用来生产光纤、多晶硅、单晶硅等通讯、半导体器件
和太阳能电池,占5%
23、铸造多晶硅方法:①布里曼法(加热体不动,坩埚动)
②热交换法(加热体动,坩埚不动)<坩埚和热源在熔化及凝
固整个过程中均无相对位移
24、