pvd镀膜机的结构

pvd镀膜机的结构
PVD镀膜机的结构主要包括以下几个部分：
1. 真空腔体：镀膜过程需要在高真空条件下进行，真空腔体是保持腔体内高真空状态的关键部分。

通常由不锈钢或其他耐腐蚀材料制成，内部经过特殊处理以避免气体泄漏。

2. 靶材供应系统：靶材是用来产生蒸发物或离子束的来源。

靶材供应系统通常由加热器、靶材支架和传感器等组成，用于控制靶材温度和靶材表面的蒸发速率。

3. 辅助加热系统：在一些特殊情况下，需要额外的加热来提高镀膜效果。

辅助加热系统一般由加热器和加热控制装置组成，能够提供额外的加热能量。

4. 基板夹具：用于固定待镀膜的基板，通常由夹具架和夹具组成。

夹具要具有良好的热传导性能，以便将加热能量均匀传递至基板。

5. 抽气系统：用于将真空腔体中的气体抽除，维持高真空度。

一般包括机械泵、分子泵和扩散泵等多个泵的组合。

6. 控制系统：用于监测和控制整个镀膜过程。

包括温度控制、真空度监测、靶材蒸发速率控制等。

有些高级的PVD镀膜机还配备了自动化控制系统，能够实现自动化生产。

以上是一般PVD镀膜机的基本结构，不同型号和用途的镀膜机可能会有所不同。